文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業では、民間企業や大学の若手研究者などが独創的な研究開発を行うことを支援し、スマート社会に貢献するナノテクノロジーの発展を推進します。
微細構造解析プラットフォーム
微細加工プラットフォーム
分子・物質合成プラットフォーム
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| 種別 | 設備ID | 設備名 | 更新日時 | 機関名 | プラットフォーム |
|---|---|---|---|---|---|
| 更新 | F-AT-078 | ワイヤーボンダー | 2020/02/21 10:54:38 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-AT-139 | ワイヤーボンダー(2F) | 2020/02/21 10:54:03 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-AT-143 | 自動塗布現像装置 | 2020/02/20 11:22:41 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-AT-140 | RF・DCスパッタ堆積装置(芝浦) | 2020/02/20 07:36:29 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-AT-141 | 単波長エリプソメータ | 2020/02/20 07:34:26 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-AT-137 | イオンコーター(FIB付帯) | 2020/02/18 16:49:19 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-AT-138 | マニュアルウェハープローバー(2F) | 2020/02/18 16:49:07 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-AT-142 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | 2020/02/18 16:47:57 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-071 | 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） | 2020/02/18 14:46:40 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-088 | 集束イオン・電子ビーム観察加工装置（FIB-SEM) | 2020/02/18 14:16:24 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-129 | RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC) | 2020/02/18 14:15:37 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-073 | スパッタ成膜装置（芝浦） | 2020/02/18 14:14:10 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-111 | 反転露光用全面UV照射装置 | 2020/02/18 14:12:52 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-118 | 全焦点顕微鏡 | 2020/02/18 14:10:16 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-106 | ECRスパッタリング装置 | 2020/02/18 13:44:24 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-153 | 精密二次元NC加工装置 | 2020/02/18 13:23:29 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-154 | 高出力レーザーカッター | 2020/02/18 13:22:48 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-100 | マスク・ウエーハ自動現像装置群 | 2020/02/18 12:15:12 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-130 | 電子顕微鏡 | 2020/02/18 12:13:01 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-152 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 2020/02/18 11:25:00 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-151 | 高精細電子顕微鏡 | 2020/02/18 11:14:04 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-100 | 3次元光学プロファイラーシステム | 2020/02/04 13:26:23 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-093 | マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き | 2020/02/04 13:25:45 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-131 | オペランド多目的Ｘ線回析 | 2020/01/23 14:09:06 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | A-KU-124 | 直交型FIB-SEM | 2020/01/16 10:14:34 | 九州大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-034 | モノクロメーター搭載超高分解能収差補正型分析電子顕微鏡 | 2019/12/20 15:33:33 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | F-OS-310 | リアクティブイオンエッチング装置 | 2019/12/20 13:25:24 | 大阪大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-227 | 酸化・拡散炉 | 2019/12/07 18:38:45 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-226 | 蛍光りん光分光光度計 | 2019/12/07 18:33:29 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-225 | 原子層体積装置 | 2019/12/07 18:26:46 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-224 | マスクレス露光装置 | 2019/12/07 18:23:16 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-223 | ラジカル注入型プラズマCVD装置 | 2019/12/07 18:19:06 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | A-UT-071 | 環境制御マニュアルプローブステーション（東陽テクニカ等） | 2019/12/05 16:56:22 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-070 | 極限環境下電磁物性計測装置PPMS-14LHattt（日本カンタム・デザイン） | 2019/12/05 16:56:13 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-089 | 走査型プローブ顕微鏡 L-trace II | 2019/12/05 16:40:50 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-073 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡（JSM-7800 Prime） | 2019/12/05 16:18:20 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-091 | ナノミル Model 1040 | 2019/12/05 16:10:30 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-090 | クライオイオンスライサー IB -09060CIS | 2019/12/05 16:09:49 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-068 | 超精密三次元構造解析装置SuperLab（リガク） | 2019/12/05 15:57:24 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-066 | 微小結晶構造解析装置VariMax Dual(（株）リガク) | 2019/12/05 15:54:11 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-UT-054 | 走査透過型分析電子顕微鏡（TEM/STEM）JEM-2800(日本電子) | 2019/12/05 15:50:52 | 東京大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-035 | 超高分解能分析電子顕微鏡 | 2019/11/29 10:02:06 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | S-MS-130 | 電界放出形透過電子顕微鏡 | 2019/11/25 12:59:19 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-095 | 機能性材料バンド構造顕微分析システム | 2019/11/20 11:44:16 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-082 | 顕微ラマン分光 | 2019/11/20 11:43:35 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-119 | ピコ秒レーザー | 2019/11/20 11:42:29 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-107 | SQUID型磁化測定（MPMS-XL7） | 2019/11/18 13:30:33 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-106 | SQUID型磁化測定(MPMS-7） | 2019/11/18 13:29:55 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-129 | 機器センター長協力研究 | 2019/11/18 13:10:35 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-117 | 高磁場NMR(600MHz溶液) | 2019/11/18 11:43:32 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-086 | 高磁場NMR(600MHz固体) | 2019/11/18 11:42:38 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-085 | 高磁場NMR(800MHz溶液) | 2019/11/18 11:41:53 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-115 | 円二色性分散 | 2019/11/18 11:40:20 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-116 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 2019/11/18 11:39:22 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-114 | 蛍光分光 | 2019/11/18 11:38:30 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-083 | FT遠赤外分光 | 2019/11/18 11:37:46 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-112 | MALDI-TOF質量分析 | 2019/11/18 11:33:19 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-123 | 熱分析（固体、粉末） | 2019/11/18 11:29:47 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-122 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 2019/11/18 11:15:19 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-111 | 熱分析（示差走査型カロリメーター/溶液） | 2019/11/18 11:13:56 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-105 | 電子スピン共鳴（Bruker E500） | 2019/11/15 17:07:30 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-104 | 電子スピン共鳴（Bruker EMX Plus） | 2019/11/15 17:06:26 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-103 | 電子スピン共鳴（Bruker E680 ） | 2019/11/15 17:05:10 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-079 | X線光電子分光 | 2019/11/15 17:03:07 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-113 | 蛍光X線分析 | 2019/11/15 17:01:14 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-096 | X線溶液散乱計測システム | 2019/11/15 17:00:09 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-110 | 粉末X線回折 | 2019/11/15 16:59:16 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-128 | 結晶スポンジ法を用いた分子構造解析 | 2019/11/15 16:58:39 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-121 | 単結晶X線回折（微小結晶） | 2019/11/15 16:56:12 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-126 | 単結晶X線回析(CCD-2) | 2019/11/15 16:55:28 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-109 | 単結晶X線回折(CCD-1) | 2019/11/15 16:53:58 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-094 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 2019/11/15 16:53:00 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-101 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 2019/11/15 16:50:34 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-127 | 生体分子システム | 2019/11/15 16:48:24 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-108 | 無機材料 | 2019/11/15 16:47:18 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-099 | 金属錯体 | 2019/11/15 16:46:15 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-097 | 磁性薄膜作製評価 | 2019/11/15 16:43:25 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-091 | 大規模量子化学計算 | 2019/11/15 16:42:18 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-090 | 有機合成 | 2019/11/15 16:41:37 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-088 | 有機FET | 2019/11/15 16:40:20 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-087 | 太陽電池 | 2019/11/15 16:38:58 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-118 | 装置開発 | 2019/11/15 16:36:03 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-075 | X線磁気円二色性 | 2019/11/15 16:30:24 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NI-116 | 特型透過電子顕微鏡装置 | 2019/10/25 14:41:38 | 名古屋工業大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NI-130 | 質量分析装置（ESI-MS) | 2019/10/25 14:39:43 | 名古屋工業大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NI-129 | 単結晶X線構造解析装置 | 2019/10/25 14:38:20 | 名古屋工業大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NU-145 | MALDI TOF 型質量分析装置 | 2019/10/10 11:33:38 | 名古屋大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-TT-233 | イオンミリング装置 | 2019/10/08 09:18:03 | 豊田工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-NI-121 | ＰＬスペクトル・ＰＬ寿命測定装置 | 2019/09/27 11:44:33 | 名古屋工業大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NI-123 | ３次非線形感受率測定装置 | 2019/09/27 11:39:02 | 名古屋工業大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-GA-332 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 2019/09/17 13:22:57 | 香川大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-GA-328 | ダイシングマシン | 2019/09/06 11:39:46 | 香川大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-GA-329 | 電子測定器 | 2019/09/06 11:38:24 | 香川大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-GA-324 | 触針式表面形状測定器 | 2019/09/06 11:37:34 | 香川大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-GA-317 | 電子線描画装置 | 2019/09/06 11:35:57 | 香川大学 | 微細加工 |
| 更新 | A-TU-033 | 薄膜断面試料作製装置 | 2019/08/21 12:06:45 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-032 | 透過電子顕微鏡 | 2019/08/08 15:05:52 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-031 | 分析電子顕微鏡 | 2019/08/08 14:59:46 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | S-OS-124 | パルスレーザーMBE装置（PLD) | 2019/07/12 10:08:03 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | A-KU-119 | 試料作製装置群 | 2019/07/04 09:12:23 | 九州大学 | 微細構造解析 |
Vol. 12, No. 6, 2019年12月26日発行
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
平成30年度技術スタッフ表彰
プロセスソリューションを実現するドライエッチング技術
技術支援貢献賞
受賞者 物質・材料研究機構 微細加工プラットフォーム 大里 啓孝氏に聞く
企画特集 ナノテクノロジーPicUp
～新展開をもたらすナノテクノロジープラットフォーム～
＜第26回＞
水溶性ポリマーを用いたフィルムによる立体，複雑形状表面の微細加工
株式会社アイセロ 斉藤 誠法氏，豊田工業大学 微細加工PF 佐々木 実氏に聞く
企画特集 10-9 INNOVATIONの最先端
～Life & Green Nanotechnologyが培う新技術～
＜第72回＞
夢の新材料セルムスーパーポリマーの開発
アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 壷内 幹彦氏，野田 結実樹氏，富山 良孝氏に聞く
＜第73回＞
クスリを使わずナノデバイスでがんをやっつける新低侵襲療法
メディギア・インターナショナル株式会社 田中 武雄氏に聞く
