文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業では、民間企業や大学の若手研究者などが独創的な研究開発を行うことを支援し、スマート社会に貢献するナノテクノロジーの発展を推進します。
微細構造解析プラットフォーム
微細加工プラットフォーム
分子・物質合成プラットフォーム
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| 種別 | 設備ID | 設備名 | 更新日時 | 機関名 | プラットフォーム |
|---|---|---|---|---|---|
| 更新 | F-NM-112 | 触針式プロファイラ | 2021/09/09 11:35:40 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-332 | ラザフォード後方散乱 （RBS）測定装置 | 2021/08/27 08:35:33 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-CT-040 | 液体クロマトグラフ質量分析器（LC-MS） | 2021/08/19 09:42:03 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NM-038 | 生体分子分離装置群 | 2021/07/29 10:46:57 | 物質・材料研究機構 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-NM-111 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 | 2021/07/26 16:33:25 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | S-OS-129 | フーリエ変換赤外分光光度計 | 2021/07/20 11:07:03 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-UT-105 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 2021/06/28 14:59:51 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-145 | 簡易電子顕微鏡 | 2021/06/28 14:44:31 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-172 | 60W CO2 NC レーザーカッター | 2021/06/28 14:42:34 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-171 | 樹脂３Dプリンタ | 2021/06/28 14:38:41 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-170 | 金属三次元NC加工装置 | 2021/06/28 14:33:49 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-169 | クロスセッションポリッシャー | 2021/06/28 14:29:46 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-168 | UVレーザープリント基板加工装置 | 2021/06/28 14:26:16 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-167 | 精密フリップチップボンダー | 2021/06/28 14:20:06 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-166 | 8元電子線蒸着装置 | 2021/06/28 14:15:04 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-JI-085 | 大気中原子間力顕微鏡･AFM | 2021/05/28 09:40:42 | 北陸先端科学技術大学院大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-TT-235 | ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム | 2021/05/24 12:30:57 | 豊田工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TT-218 | 走査型プローブ顕微鏡 | 2021/05/17 13:41:57 | 豊田工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-134 | プラズマ活性化装置 | 2021/05/14 20:46:49 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-133 | JEOL FE-SEM | 2021/05/14 20:42:45 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-132 | ECRロングスロースパッタ | 2021/05/14 20:40:52 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-131 | SPPテクノロジーズ TEOS PECVD | 2021/05/14 20:39:05 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-130 | コータデベロッパ | 2021/05/14 20:37:12 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-129 | i線ステッパ | 2021/05/14 20:35:18 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-096 | ウエハRTA装置 | 2021/05/14 13:31:11 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | S-CT-028 | 触針式表面形状測定器 | 2021/05/10 10:13:46 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-001 | NMR（核磁気共鳴装置） | 2021/05/10 10:07:10 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-039 | クロスセクションポリシャ | 2021/05/10 10:06:02 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-NM-110 | 顕微式自動膜厚測定システム | 2021/04/22 10:29:47 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-109 | 赤外線ランプ加熱装置 | 2021/04/22 10:29:22 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-108 | 多機能型原子層堆積装置 | 2021/04/22 10:29:05 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-107 | ６連自動蒸着装置 | 2021/04/22 10:28:46 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-089 | 多目的エッチング装置（ICP-RIE） | 2021/04/09 17:11:14 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-131 | 化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE) | 2021/04/09 17:10:13 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-IT-164 | クライオ共焦点顕微鏡 | 2021/04/02 17:42:20 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-IT-163 | マイクロ波プラズマCVD装置 | 2021/04/02 17:39:49 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-IT-162 | リアクティブイオンエッチング装置 | 2021/04/02 17:32:11 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-111 | 熱分析（示差走査型カロリメーター/溶液） | 2021/04/01 11:17:30 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-122 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 2021/04/01 11:17:10 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-117 | 高磁場NMR(600MHz溶液) | 2021/04/01 11:16:43 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | A-NM-112 | 精密イオン研磨装置（PIPS） | 2021/03/30 13:44:59 | 物質・材料研究機構 | 微細構造解析 |
| 更新 | S-MS-134 | X線光電子分光 | 2021/03/29 10:20:43 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-133 | 絶対PL量子収率測定装置 | 2021/03/29 10:19:12 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-132 | 走査プローブ顕微鏡 | 2021/03/29 10:18:21 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-115 | 円二色性分散 | 2021/03/26 15:36:13 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-112 | MALDI-TOF質量分析 | 2021/03/26 15:23:57 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-095 | 機能性材料バンド構造顕微分析システム | 2021/03/26 15:18:56 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-088 | 有機FET | 2021/03/26 13:41:41 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-100 | 3次元光学プロファイラーシステム | 2021/03/26 13:36:02 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-093 | マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き | 2021/03/26 13:35:03 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NM-067 | 卓上SEM TM-4000 | 2021/03/25 13:37:05 | 物質・材料研究機構 | 分子・物質合成 |
| 更新 | A-NM-075 | HRTEM解析システム | 2021/03/23 10:04:54 | 物質・材料研究機構 | 微細構造解析 |
| 更新 | F-OS-322 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | 2021/02/19 12:18:10 | 大阪大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-145 | ECRスパッタ成膜・ミリング装置 | 2020/12/01 13:15:11 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-144 | 原子層堆積装置〔AD-100LP〕 | 2020/12/01 12:23:06 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | S-OS-144 | 走査型電子顕微鏡 | 2020/11/19 21:21:15 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-136 | RFスパッタ装置 | 2020/11/19 21:17:57 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-IT-161 | 共焦点ラマン顕微鏡 | 2020/10/29 14:11:53 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-083 | FT遠赤外分光 | 2020/10/27 15:58:12 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-082 | 顕微ラマン分光 | 2020/10/27 15:56:45 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-123 | 熱分析（固体、粉末） | 2020/10/27 15:55:06 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-107 | SQUID型磁化測定（MPMS-XL7） | 2020/10/27 15:51:37 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-106 | SQUID型磁化測定(MPMS-7） | 2020/10/27 15:50:27 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-105 | 電子スピン共鳴（Bruker E500） | 2020/10/27 15:49:01 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-104 | 電子スピン共鳴（Bruker EMX Plus） | 2020/10/27 15:47:47 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-103 | 電子スピン共鳴（Bruker E680 ） | 2020/10/27 15:46:10 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-RO-378 | ICP - CVD装置 | 2020/10/09 14:23:31 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-379 | CCP - CVD装置 | 2020/10/09 14:23:14 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-380 | リモートPECVD装置 | 2020/10/09 14:23:02 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-381 | EBSD解析装置 | 2020/10/09 14:22:40 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-382 | 連続発振レーザアニール装置 （レーザ結晶化装置） | 2020/10/09 14:22:19 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-385 | ウェル拡散炉 | 2020/10/09 14:20:19 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-350 | インプラ後アニール炉 | 2020/10/09 14:13:12 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-383 | Rapid Thermal Anneal装置(RTA) | 2020/10/06 13:46:32 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-119 | ピコ秒レーザー | 2020/10/05 14:30:43 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-116 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 2020/10/05 14:29:16 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-121 | 単結晶X線回折（微小結晶） | 2020/10/05 13:41:40 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-130 | 電界放出形透過電子顕微鏡 | 2020/10/05 13:36:57 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-094 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 2020/10/05 13:26:38 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-035 | 示差走査熱量計(DSC) | 2020/10/05 13:16:28 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-099 | 金属錯体 | 2020/10/05 12:56:54 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-087 | 太陽電池 | 2020/10/05 12:02:53 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-118 | 装置開発 | 2020/10/05 11:36:12 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-RO-384 | ホール効果測定装置 | 2020/09/25 10:11:25 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-CT-002 | 透過型電子顕微鏡（TEM） | 2020/09/24 13:02:48 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-004 | 紫外可視近赤外分光計 | 2020/09/24 13:02:24 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-005 | 走査型近接場光学顕微分光システム（SNOM） | 2020/09/24 13:02:04 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-006 | 薄膜形成支援装置群 | 2020/09/24 13:01:44 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-007 | 高分子計測装置群 | 2020/09/24 12:58:16 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-008 | FZ炉（赤外線加熱単結晶製造装置） | 2020/09/24 12:57:27 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-009 | 機能性分子・高分子合成 | 2020/09/24 12:56:51 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-010 | 3D測定レーザ顕微鏡 | 2020/09/24 12:53:21 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-011 | 顕微ラマン分光 | 2020/09/24 12:52:21 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-012 | 走査型プローブ顕微鏡 | 2020/09/24 12:51:16 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-013 | クロマトグラフィー装置群 | 2020/09/24 12:50:38 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-014 | FTIR | 2020/09/24 12:49:51 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-015 | 分光蛍光光度計 | 2020/09/24 12:49:29 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-020 | 顕微赤外測定システム | 2020/09/24 12:48:21 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-021 | X線回折装置 | 2020/09/24 12:48:03 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-CT-022 | 表面分析装置（大気下光電子分光装置） | 2020/09/24 12:47:35 | 千歳科学技術大学 | 分子・物質合成 |
Vol. 14, No. 4, 2021年8月27日発行
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
令和2年度秀でた利用成果
InP埋め込み再成長によるフォトニック結晶の形成
～面発光型量子カスケードレーザの開発～
株式会社東芝 橋本 玲，斎藤 真司
東京工業大学 微細加工プラットフォーム 高橋 直樹，宮本 恭幸
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
令和2年度技術スタッフ表彰
観察から周辺装置作製まで総合的な技術支援
令和2年度技術支援貢献賞
受賞者 九州大学 微細構造解析プラットフォーム 工藤 昌輝氏に聞く
企画特集 ナノテクノロジーPick Up
～新展開をもたらすナノテクノロジープラットフォーム～
＜第35回＞
新規室温マルチフェロイック薄膜材料の作製と結晶構造解析
～多値メモリ応用に向けた材料開発～
東京工業大学 安井 伸太郎氏と東北大学 今野 豊彦氏に聞く
企画特集 10-9 INNOVATIONの最先端
～Life & Green Nanotechnologyが培う新技術～
＜第81回＞
単層カーボンナノチューブZEONANO®G101の大量合成技術と応用展開
日本ゼオン株式会社 CNT事業推進部部長 兼 CNT研究所所長 上島 貢氏に聞く
