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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ!
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最近の装置更新履歴

種別設備ID設備名更新日時機関名プラットフォーム
更新F-AT-078ワイヤーボンダー2020/02/21 10:54:38産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-139ワイヤーボンダー(2F)2020/02/21 10:54:03産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-143自動塗布現像装置2020/02/20 11:22:41産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-140RF・DCスパッタ堆積装置(芝浦)2020/02/20 07:36:29産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-141単波長エリプソメータ2020/02/20 07:34:26産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-137イオンコーター(FIB付帯)2020/02/18 16:49:19産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-138マニュアルウェハープローバー(2F)2020/02/18 16:49:07産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-142高圧ジェットリフトオフ装置2020/02/18 16:47:57産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-071集束イオンビーム加工観察装置(FIB)2020/02/18 14:46:40産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-088集束イオン・電子ビーム観察加工装置(FIB-SEM)2020/02/18 14:16:24産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-129RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)2020/02/18 14:15:37産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-073スパッタ成膜装置(芝浦)2020/02/18 14:14:10産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-111反転露光用全面UV照射装置2020/02/18 14:12:52産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-118全焦点顕微鏡2020/02/18 14:10:16産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-106ECRスパッタリング装置2020/02/18 13:44:24産業技術総合研究所微細加工
新規F-UT-153精密二次元NC加工装置2020/02/18 13:23:29東京大学微細加工
新規F-UT-154高出力レーザーカッター2020/02/18 13:22:48東京大学微細加工
更新F-UT-100マスク・ウエーハ自動現像装置群2020/02/18 12:15:12東京大学微細加工
更新F-UT-130電子顕微鏡2020/02/18 12:13:01東京大学微細加工
新規F-UT-152枚葉式ZEP520自動現像装置2020/02/18 11:25:00東京大学微細加工
新規F-UT-151高精細電子顕微鏡2020/02/18 11:14:04東京大学微細加工
更新S-MS-1003次元光学プロファイラーシステム2020/02/04 13:26:23分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-093マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き2020/02/04 13:25:45分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-131オペランド多目的X線回析2020/01/23 14:09:06分子科学研究所分子・物質合成
更新A-KU-124直交型FIB-SEM2020/01/16 10:14:34九州大学微細構造解析
更新A-TU-034モノクロメーター搭載超高分解能収差補正型分析電子顕微鏡2019/12/20 15:33:33東北大学微細構造解析
更新F-OS-310リアクティブイオンエッチング装置2019/12/20 13:25:24大阪大学微細加工
更新F-NU-227酸化・拡散炉2019/12/07 18:38:45名古屋大学微細加工
更新F-NU-226蛍光りん光分光光度計2019/12/07 18:33:29名古屋大学微細加工
更新F-NU-225原子層体積装置2019/12/07 18:26:46名古屋大学微細加工
更新F-NU-224マスクレス露光装置2019/12/07 18:23:16名古屋大学微細加工
更新F-NU-223ラジカル注入型プラズマCVD装置2019/12/07 18:19:06名古屋大学微細加工
更新A-UT-071環境制御マニュアルプローブステーション(東陽テクニカ等)2019/12/05 16:56:22東京大学微細構造解析
更新A-UT-070極限環境下電磁物性計測装置PPMS-14LHattt(日本カンタム・デザイン)2019/12/05 16:56:13東京大学微細構造解析
更新A-UT-089走査型プローブ顕微鏡 L-trace II2019/12/05 16:40:50東京大学微細構造解析
更新A-UT-073高分解能走査型分析電子顕微鏡(JSM-7800 Prime)2019/12/05 16:18:20東京大学微細構造解析
更新A-UT-091ナノミル Model 10402019/12/05 16:10:30東京大学微細構造解析
更新A-UT-090クライオイオンスライサー IB -09060CIS2019/12/05 16:09:49東京大学微細構造解析
更新A-UT-068超精密三次元構造解析装置SuperLab(リガク)2019/12/05 15:57:24東京大学微細構造解析
更新A-UT-066微小結晶構造解析装置VariMax Dual((株)リガク)2019/12/05 15:54:11東京大学微細構造解析
更新A-UT-054走査透過型分析電子顕微鏡(TEM/STEM)JEM-2800(日本電子)2019/12/05 15:50:52東京大学微細構造解析
更新A-TU-035超高分解能分析電子顕微鏡2019/11/29 10:02:06東北大学微細構造解析
更新S-MS-130電界放出形透過電子顕微鏡2019/11/25 12:59:19分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-095機能性材料バンド構造顕微分析システム2019/11/20 11:44:16分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-082顕微ラマン分光2019/11/20 11:43:35分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-119ピコ秒レーザー2019/11/20 11:42:29分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-107SQUID型磁化測定(MPMS-XL7)2019/11/18 13:30:33分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-106SQUID型磁化測定(MPMS-7)2019/11/18 13:29:55分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-129機器センター長協力研究2019/11/18 13:10:35分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-117高磁場NMR(600MHz溶液)2019/11/18 11:43:32分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-086高磁場NMR(600MHz固体)2019/11/18 11:42:38分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-085高磁場NMR(800MHz溶液)2019/11/18 11:41:53分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-115円二色性分散2019/11/18 11:40:20分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-116紫外・可視・近赤外分光光度計2019/11/18 11:39:22分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-114蛍光分光2019/11/18 11:38:30分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-083FT遠赤外分光2019/11/18 11:37:46分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-112MALDI-TOF質量分析2019/11/18 11:33:19分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-123熱分析(固体、粉末)2019/11/18 11:29:47分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-122熱分析(等温滴定型カロリメーター/溶液)2019/11/18 11:15:19分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-111熱分析(示差走査型カロリメーター/溶液)2019/11/18 11:13:56分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-105電子スピン共鳴(Bruker E500)2019/11/15 17:07:30分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-104電子スピン共鳴(Bruker EMX Plus)2019/11/15 17:06:26分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-103電子スピン共鳴(Bruker E680 )2019/11/15 17:05:10分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-079X線光電子分光2019/11/15 17:03:07分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-113蛍光X線分析2019/11/15 17:01:14分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-096X線溶液散乱計測システム2019/11/15 17:00:09分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-110粉末X線回折2019/11/15 16:59:16分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-128結晶スポンジ法を用いた分子構造解析2019/11/15 16:58:39分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-121単結晶X線回折(微小結晶)2019/11/15 16:56:12分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-126単結晶X線回析(CCD-2)2019/11/15 16:55:28分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-109単結晶X線回折(CCD-1)2019/11/15 16:53:58分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-094低真空分析走査電子顕微鏡2019/11/15 16:53:00分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-101電界放出形走査電子顕微鏡2019/11/15 16:50:34分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-127生体分子システム2019/11/15 16:48:24分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-108無機材料2019/11/15 16:47:18分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-099金属錯体2019/11/15 16:46:15分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-097磁性薄膜作製評価2019/11/15 16:43:25分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-091大規模量子化学計算2019/11/15 16:42:18分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-090有機合成2019/11/15 16:41:37分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-088有機FET2019/11/15 16:40:20分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-087太陽電池2019/11/15 16:38:58分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-118装置開発2019/11/15 16:36:03分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-075X線磁気円二色性2019/11/15 16:30:24分子科学研究所分子・物質合成
更新S-NI-116特型透過電子顕微鏡装置2019/10/25 14:41:38名古屋工業大学分子・物質合成
更新S-NI-130質量分析装置(ESI-MS)2019/10/25 14:39:43名古屋工業大学分子・物質合成
更新S-NI-129単結晶X線構造解析装置2019/10/25 14:38:20名古屋工業大学分子・物質合成
更新S-NU-145MALDI TOF 型質量分析装置2019/10/10 11:33:38名古屋大学分子・物質合成
更新F-TT-233イオンミリング装置2019/10/08 09:18:03豊田工業大学微細加工
更新S-NI-121PLスペクトル・PL寿命測定装置2019/09/27 11:44:33名古屋工業大学分子・物質合成
更新S-NI-1233次非線形感受率測定装置2019/09/27 11:39:02名古屋工業大学分子・物質合成
更新F-GA-332デュアルイオンビ-ムスパッタ装置2019/09/17 13:22:57香川大学微細加工
更新F-GA-328ダイシングマシン2019/09/06 11:39:46香川大学微細加工
更新F-GA-329電子測定器2019/09/06 11:38:24香川大学微細加工
更新F-GA-324触針式表面形状測定器2019/09/06 11:37:34香川大学微細加工
更新F-GA-317電子線描画装置2019/09/06 11:35:57香川大学微細加工
更新A-TU-033薄膜断面試料作製装置2019/08/21 12:06:45東北大学微細構造解析
更新A-TU-032透過電子顕微鏡2019/08/08 15:05:52東北大学微細構造解析
更新A-TU-031分析電子顕微鏡2019/08/08 14:59:46東北大学微細構造解析
更新S-OS-124パルスレーザーMBE装置(PLD)2019/07/12 10:08:03大阪大学分子・物質合成
更新A-KU-119試料作製装置群2019/07/04 09:12:23九州大学微細構造解析

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日本全体の研究や企業の動向を俯瞰するレビュー記事などを刊行するWebマガジンです.

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連載中の企画特集

▶ 秀でた利用成果

▶ 卓越した技術スタッフ

▶ ナノテクノロジーPickUp

▶ 10-9 INNOVATIONの最先端

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最新号

Vol. 12, No. 6, 2019年12月26日発行

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
平成30年度技術スタッフ表彰

プロセスソリューションを実現するドライエッチング技術
技術支援貢献賞
受賞者 物質・材料研究機構 微細加工プラットフォーム 大里 啓孝氏に聞く


企画特集 ナノテクノロジーPicUp
~新展開をもたらすナノテクノロジープラットフォーム~

<第26回>
水溶性ポリマーを用いたフィルムによる立体,複雑形状表面の微細加工
株式会社アイセロ 斉藤 誠法氏,豊田工業大学 微細加工PF 佐々木 実氏に聞く

<第27回>
生体鉱化作用を模倣したリン酸カルシウムと異種素材のナノ複合体の創製
長岡技術科学大学 大学院工学研究科 エネルギー・環境工学専攻 山田 翔太,
長岡技術科学大学 大学院工学研究科 物質材料工学専攻 山田 伊織,多賀谷 基博
名古屋大学 林 育生,坂口 佳充


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企画特集 10-9 INNOVATIONの最先端
~Life & Green Nanotechnologyが培う新技術~

<第72回>
夢の新材料セルムスーパーポリマーの開発
アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 壷内 幹彦氏,野田 結実樹氏,富山 良孝氏に聞く

<第73回>
クスリを使わずナノデバイスでがんをやっつける新低侵襲療法
メディギア・インターナショナル株式会社 田中 武雄氏に聞く