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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ!
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最近の装置更新履歴

種別設備ID設備名更新日時機関名プラットフォーム
更新F-RO-378ICP - CVD装置2020/10/09 14:23:31広島大学微細加工
更新F-RO-379CCP - CVD装置2020/10/09 14:23:14広島大学微細加工
更新F-RO-380リモートPECVD装置2020/10/09 14:23:02広島大学微細加工
更新F-RO-381EBSD解析装置2020/10/09 14:22:40広島大学微細加工
更新F-RO-382連続発振レーザアニール装置 (レーザ結晶化装置)2020/10/09 14:22:19広島大学微細加工
新規F-RO-385ウェル拡散炉2020/10/09 14:20:19広島大学微細加工
更新F-RO-350インプラ後アニール炉2020/10/09 14:13:12広島大学微細加工
新規F-RO-383Rapid Thermal Anneal装置(RTA)2020/10/06 13:46:32広島大学微細加工
更新S-MS-119ピコ秒レーザー2020/10/05 14:30:43分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-116紫外・可視・近赤外分光光度計2020/10/05 14:29:16分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-083FT遠赤外分光2020/10/05 14:27:41分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-082顕微ラマン分光2020/10/05 14:26:35分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-123熱分析(固体、粉末)2020/10/05 14:24:58分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-107SQUID型磁化測定(MPMS-XL7)2020/10/05 14:23:02分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-106SQUID型磁化測定(MPMS-7)2020/10/05 14:22:36分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-105電子スピン共鳴(Bruker E500)2020/10/05 14:19:07分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-104電子スピン共鳴(Bruker EMX Plus)2020/10/05 14:11:24分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-103電子スピン共鳴(Bruker E680 )2020/10/05 13:52:01分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-121単結晶X線回折(微小結晶)2020/10/05 13:41:40分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-130電界放出形透過電子顕微鏡2020/10/05 13:36:57分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-094低真空分析走査電子顕微鏡2020/10/05 13:26:38分子科学研究所分子・物質合成
更新S-CT-035示差走査熱量計(DSC)2020/10/05 13:16:28千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-MS-099金属錯体2020/10/05 12:56:54分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-087太陽電池2020/10/05 12:02:53分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-118装置開発2020/10/05 11:36:12分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-1003次元光学プロファイラーシステム2020/10/05 11:34:32分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-093マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き2020/10/05 11:33:31分子科学研究所分子・物質合成
新規F-RO-384ホール効果測定装置2020/09/25 10:11:25広島大学微細加工
更新S-CT-001NMR(核磁気共鳴装置)2020/09/24 15:38:37千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-028触針式表面形状測定器2020/09/24 15:35:37千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-002透過型電子顕微鏡(TEM)2020/09/24 13:02:48千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-004紫外可視近赤外分光計2020/09/24 13:02:24千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-005走査型近接場光学顕微分光システム(SNOM)2020/09/24 13:02:04千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-006薄膜形成支援装置群2020/09/24 13:01:44千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-007高分子計測装置群2020/09/24 12:58:16千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-008FZ炉(赤外線加熱単結晶製造装置)2020/09/24 12:57:27千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-009機能性分子・高分子合成2020/09/24 12:56:51千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-0103D測定レーザ顕微鏡2020/09/24 12:53:21千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-011顕微ラマン分光2020/09/24 12:52:21千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-012走査型プローブ顕微鏡2020/09/24 12:51:16千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-013クロマトグラフィー装置群2020/09/24 12:50:38千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-014FTIR2020/09/24 12:49:51千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-015分光蛍光光度計2020/09/24 12:49:29千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-020顕微赤外測定システム2020/09/24 12:48:21千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-021X線回折装置2020/09/24 12:48:03千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-022表面分析装置(大気下光電子分光装置)2020/09/24 12:47:35千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-024X線小角散乱装置2020/09/24 12:47:02千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-026電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)2020/09/24 12:17:33千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-029ラマンイメージング2020/09/24 12:16:18千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-030スピンコーター2020/09/24 12:15:18千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-034熱重量測定装置(TGA)2020/09/24 12:14:36千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-033表面物性測定装置群2020/09/24 12:13:47千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-037ジェットミル2020/09/24 12:12:01千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-038あわとり練太郎2020/09/24 12:09:57千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-039クロスセクションポリシャ2020/09/24 12:09:39千歳科学技術大学分子・物質合成
更新F-RO-375ダイサー2020/09/23 11:56:31広島大学微細加工
更新F-RO-370X線光電子分光装置(XPS)2020/09/20 14:59:50広島大学微細加工
更新F-RO-354蛍光X線分析装置2020/09/20 14:57:37広島大学微細加工
更新F-RO-353薄膜構造評価X線回析装置2020/09/20 14:54:44広島大学微細加工
更新F-RO-332ラザフォード後方散乱 (RBS)測定装置2020/09/20 14:52:59広島大学微細加工
更新F-RO-369表面段差計2020/09/20 14:51:44広島大学微細加工
更新F-RO-368分光エリプソメーター2020/09/20 14:50:28広島大学微細加工
更新F-RO-367干渉式膜厚計2020/09/20 14:49:18広島大学微細加工
更新F-RO-352原子間力顕微鏡(AFM)2020/09/20 14:47:53広島大学微細加工
更新F-RO-376真空蒸着装置2020/09/20 14:45:11広島大学微細加工
更新F-RO-337常圧SiO2CVD装置2020/09/20 14:43:17広島大学微細加工
更新F-RO-372プラズマCVD(PECVD)装置2020/09/20 14:34:23広島大学微細加工
更新F-RO-336LPCVD装置(SiO2用)2020/09/20 14:33:06広島大学微細加工
更新F-RO-335LPCVD装置(SiN用)2020/09/20 14:32:03広島大学微細加工
更新F-RO-334LPCVD装置(poly-Si用)2020/09/20 14:31:06広島大学微細加工
更新F-RO-348スパッタ装置(汎用)2020/09/20 14:30:03広島大学微細加工
更新F-RO-349スパッタ装置(Cu用)2020/09/20 14:28:57広島大学微細加工
更新F-RO-339スパッタ装置(Al用)2020/09/20 14:27:49広島大学微細加工
更新F-RO-344イオン注入装置2020/09/20 14:26:37広島大学微細加工
更新F-RO-366ポストメタライゼーションアニール(PMA)炉2020/09/20 14:25:27広島大学微細加工
更新F-RO-371汎用熱処理装置2020/09/20 14:22:37広島大学微細加工
更新F-RO-343燐拡散炉2020/09/20 14:21:39広島大学微細加工
更新F-RO-333酸化炉2020/09/20 14:19:22広島大学微細加工
更新F-RO-342エッチング装置(Si 深掘用)2020/09/20 14:17:02広島大学微細加工
更新F-RO-365エッチング装置(汎用)2020/09/20 14:15:25広島大学微細加工
更新F-RO-363エッチング装置(レジスト Ashing用)2020/09/20 14:14:19広島大学微細加工
更新F-RO-362エッチング装置(CDE SiN用)2020/09/20 14:13:27広島大学微細加工
更新F-RO-364エッチング装置(ICP Poly-Siゲート用)2020/09/20 14:12:07広島大学微細加工
更新F-RO-361エッチング装置(ICP Al用)2020/09/20 14:11:07広島大学微細加工
更新F-RO-340エッチング装置(RIE SiO2用)2020/09/20 14:09:26広島大学微細加工
更新F-RO-341汎用プラズマ処理装置2020/09/20 14:08:10広島大学微細加工
更新F-UT-152枚葉式ZEP520自動現像装置2020/09/11 14:42:34東京大学微細加工
更新A-NM-043極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡2020/09/10 09:40:28物質・材料研究機構微細構造解析
更新A-NM-104低温走査型トンネル顕微鏡2020/09/10 09:39:36物質・材料研究機構微細構造解析
更新S-NU-148NMR(500MHz)装置2020/09/08 13:16:05名古屋大学分子・物質合成
更新S-NU-146NMR(400MHz)装置2020/09/08 11:55:22名古屋大学分子・物質合成
更新S-NU-147蛍光X線分析装置2020/09/08 11:55:04名古屋大学分子・物質合成
更新F-UT-139サンドブラスト2020/09/07 14:19:06東京大学微細加工
更新F-UT-132イナートガスオーブン2020/09/07 14:18:03東京大学微細加工
更新F-UT-131電子線顕微鏡観察用コーター2020/09/07 14:14:10東京大学微細加工
更新F-UT-156スプレーコーター2020/09/07 14:13:41東京大学微細加工
更新F-UT-165小型原子間力顕微鏡 2020/09/07 13:59:17東京大学微細加工
更新F-UT-164アクアプラズマ表面改質装置2020/09/07 13:50:43東京大学微細加工
更新F-UT-123汎用高品位ICPエッチング装置2020/09/04 15:09:58東京大学微細加工
更新F-UT-134超高真空蒸着装置(ベルジャー)2020/09/04 14:46:09東京大学微細加工

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