文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業では、民間企業や大学の若手研究者などが独創的な研究開発を行うことを支援し、スマート社会に貢献するナノテクノロジーの発展を推進します。
微細構造解析プラットフォーム
微細加工プラットフォーム
分子・物質合成プラットフォーム
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| 種別 | 設備ID | 設備名 | 更新日時 | 機関名 | プラットフォーム |
|---|---|---|---|---|---|
| 新規 | F-RO-375 | ダイサー | 2019/01/16 10:01:00 | 広島大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-RO-377 | レイアウト設計ツール | 2019/01/15 16:25:16 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-347 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 2019/01/15 14:46:42 | 広島大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-RO-376 | 真空蒸着装置 | 2019/01/15 14:42:35 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-360 | エッチング装置(ECR Si用) | 2019/01/15 14:42:22 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-357 | 電子ビーム露光装置(JBX-5D） | 2019/01/15 14:41:47 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | A-NM-111 | 試料自動交換システム付放射光硬Ｘ線光電子分光装置 | 2018/11/26 13:06:52 | 物質・材料研究機構 | 微細構造解析 |
| 更新 | S-MS-094 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 2018/11/06 14:43:37 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-101 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 2018/11/06 14:43:01 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-102 | 集束イオンビーム加工機 | 2018/11/02 16:28:40 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-AT-095 | プラズマCVD薄膜堆積装置（TEOS/SiO2） | 2018/10/15 10:08:59 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | A-TU-026 | 電子顕微鏡観察試作作製設備群 | 2018/10/09 14:46:35 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-027 | 核磁気共鳴装置 | 2018/10/09 14:13:06 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-028 | ICP発光分光分析装置 | 2018/10/09 14:12:13 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-029 | 熱分析装置 | 2018/10/09 14:11:26 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-030 | 小角・広角X線回折装置 | 2018/10/09 14:10:57 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | S-TU-023 | 小角・広角X線回折装置 | 2018/10/05 16:03:54 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-018 | 有機デバイス作成装置群 | 2018/10/05 15:58:18 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-015 | ICP発光分光分析装置 | 2018/10/05 15:54:52 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-014 | 核磁気共鳴装置 | 2018/10/05 15:53:21 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-022 | 光励起キャリア移動度測定装置 | 2018/10/05 15:45:04 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-021 | 大気中光電子分光測定装置 | 2018/10/05 15:44:52 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-020 | 絶対PL量子収率測定装置 | 2018/10/05 15:44:37 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-019 | 半導体デバイス・アナライザ | 2018/10/05 15:44:23 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-016 | 分子合成装置群 | 2018/10/05 15:44:07 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-128 | 結晶スポンジ法を用いた分子構造解析 | 2018/09/25 10:22:05 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-AT-088 | 集束イオン・電子ビーム観察加工装置（FIB-SEM) | 2018/09/25 09:16:05 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-115 | 円二色性分散 | 2018/09/21 11:47:26 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-132 | ICP-RFスパッタ装置 | 2018/09/20 10:50:26 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-127 | 薄膜X線回折装置 | 2018/09/20 10:45:53 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-129 | フーリエ変換赤外分光光度計 | 2018/09/11 12:00:05 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-131 | 位相変調型分光エリプソメーター | 2018/09/11 11:59:34 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-130 | ナノ粒子解析装置 （ゼーターサイザー） | 2018/09/11 11:58:55 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-128 | テラヘルツ分光装置 | 2018/09/11 11:58:00 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-125 | 有機蒸着装置 | 2018/09/11 11:57:09 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-124 | パルスレーザーMBE装置（PLD) | 2018/09/11 11:56:45 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-134 | 紫外可視分光光度計 | 2018/09/11 11:51:29 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-136 | RFスパッタ装置 | 2018/09/11 11:50:30 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-138 | 走査型プローブ顕微鏡 | 2018/09/11 11:49:45 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-142 | レーザーラマン顕微鏡 | 2018/09/11 11:47:15 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-140 | 接触式膜厚測定器 | 2018/09/11 11:43:39 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-186 | マイクロ構造観察電子顕微鏡システム | 2018/09/11 09:04:22 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NI-106 | 原子分解能分析電子顕微鏡 | 2018/09/10 10:47:53 | 名古屋工業大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | A-KU-123 | 収差補正高分解能電子顕微鏡 （JEM-ARM200F） | 2018/08/22 09:52:10 | 九州大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | F-UT-136 | 銅メッキ装置 | 2018/07/26 13:44:08 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-KU-143 | UV-Vis-NIR分光光度計 | 2018/07/26 12:39:08 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-UT-144 | ブレードダイサー | 2018/07/25 09:31:28 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-145 | SEM | 2018/07/19 15:04:25 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-KU-148 | 近赤外蛍光分光装置 | 2018/07/19 10:25:47 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-154 | 三次元SEM画像測定解析システム | 2018/07/19 10:21:45 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-FA-367 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 16:23:34 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-371 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 16:12:38 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-369 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 16:11:06 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-368 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 16:09:43 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-366 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 16:07:59 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-365 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 15:41:00 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-361 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:36:26 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-360 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:35:50 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-359 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:34:53 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-358 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:33:43 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-357 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:32:55 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-383 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 15:22:50 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-381 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 15:19:14 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-374 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 15:04:36 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-373 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 14:59:52 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-083 | FT遠赤外分光 | 2018/07/10 11:32:24 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-107 | SQUID型磁化測定（MPMS-XL7） | 2018/07/10 11:31:52 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-106 | SQUID型磁化測定(MPMS-7） | 2018/07/10 11:31:34 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-075 | X線磁気円二色性 | 2018/07/10 11:30:52 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-164 | 全自動水平型多目的Ｘ線回折装置 | 2018/07/09 11:45:21 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-184 | 電子状態測定システム | 2018/07/09 11:42:12 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-180 | 超高分解能走査電子顕微鏡 | 2018/07/09 11:16:11 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-185 | 中赤外・遠赤外吸収測定装置 | 2018/07/06 14:48:26 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-142 | レーザーラマン分光光度計 | 2018/07/05 17:04:58 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-108 | 無機材料 | 2018/07/05 13:32:40 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-097 | 磁性薄膜作製評価 | 2018/07/05 13:31:54 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-090 | 有機合成 | 2018/07/05 13:30:47 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-117 | 高磁場NMR(600MHz溶液) | 2018/07/05 13:28:34 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-086 | 高磁場NMR(600MHz固体) | 2018/07/05 13:27:20 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-085 | 高磁場NMR(800MHz溶液) | 2018/07/05 13:26:31 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-125 | ナノ秒フッ素系エキシマ-レーザー | 2018/07/05 13:24:09 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-124 | ナノ秒Nd:YAG励起OPOレーザー | 2018/07/05 13:23:52 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-120 | ナノ秒エキシマー励起色素レーザー | 2018/07/05 13:23:28 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-119 | ピコ秒レーザー | 2018/07/05 13:23:04 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-116 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 2018/07/05 13:21:29 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-114 | 蛍光分光 | 2018/07/05 13:13:29 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-082 | 顕微ラマン分光 | 2018/07/05 13:10:18 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-112 | MALDI-TOF質量分析 | 2018/07/05 13:09:30 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-123 | 熱分析（固体、粉末） | 2018/07/05 11:55:09 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-122 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 2018/07/05 11:41:58 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-111 | 熱分析（示差走査型カロリメーター/溶液） | 2018/07/05 11:40:51 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-105 | 電子スピン共鳴（Bruker E500） | 2018/07/05 11:37:50 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-104 | 電子スピン共鳴（Bruker EMX Plus） | 2018/07/05 11:36:53 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-103 | 電子スピン共鳴（Bruker E680 ） | 2018/07/05 11:35:58 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-079 | X線光電子分光 | 2018/07/05 11:35:03 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-095 | 機能性材料バンド構造顕微分析システム | 2018/07/05 11:33:50 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-113 | 蛍光X線分析 | 2018/07/05 11:32:20 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-096 | X線溶液散乱計測システム | 2018/07/05 11:23:06 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-110 | 粉末X線回折 | 2018/07/05 11:21:50 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-121 | 単結晶X線回折（微小結晶） | 2018/07/05 11:19:44 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
Vol. 11, No. 6, 2018年12月26日発行
企画特集 ナノテクノロジーPicUp
～新展開をもたらすナノテクノロジープラットフォーム～
＜第18回＞
走査型透過電子顕微鏡観察によるコヒーレントα-Al2O3/Ga2O3超格子の断面観察
佐賀大学 大島 孝仁，加藤 勇次
物質・材料研究機構 竹口 雅樹，中山 佳子，古川 晃士
