文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業では、民間企業や大学の若手研究者などが独創的な研究開発を行うことを支援し、スマート社会に貢献するナノテクノロジーの発展を推進します。
微細構造解析プラットフォーム
微細加工プラットフォーム
分子・物質合成プラットフォーム
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| 種別 | 設備ID | 設備名 | 更新日時 | 機関名 | プラットフォーム |
|---|---|---|---|---|---|
| 更新 | F-UT-152 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 2020/09/11 14:42:34 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | A-NM-043 | 極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡 | 2020/09/10 09:40:28 | 物質・材料研究機構 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-NM-104 | 低温走査型トンネル顕微鏡 | 2020/09/10 09:39:36 | 物質・材料研究機構 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-NM-101 | 800MHz固体高分解能NMRシステム | 2020/09/08 16:17:25 | 物質・材料研究機構 | 微細構造解析 |
| 新規 | S-NU-148 | NMR(500MHz)装置 | 2020/09/08 13:16:05 | 名古屋大学 | 分子・物質合成 |
| 新規 | S-NU-146 | NMR(400MHz)装置 | 2020/09/08 11:55:22 | 名古屋大学 | 分子・物質合成 |
| 新規 | S-NU-147 | 蛍光X線分析装置 | 2020/09/08 11:55:04 | 名古屋大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-UT-139 | サンドブラスト | 2020/09/07 14:19:06 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-132 | イナートガスオーブン | 2020/09/07 14:18:03 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-131 | 電子線顕微鏡観察用コーター | 2020/09/07 14:14:10 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-156 | スプレーコーター | 2020/09/07 14:13:41 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-165 | 小型原子間力顕微鏡 | 2020/09/07 13:59:17 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-164 | アクアプラズマ表面改質装置 | 2020/09/07 13:50:43 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-123 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 2020/09/04 15:09:58 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-134 | 超高真空蒸着装置(ベルジャー) | 2020/09/04 14:46:09 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-140 | 超臨界銅成膜装置 | 2020/09/02 12:44:28 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-153 | 薄膜X線回折装置 | 2020/08/31 20:19:19 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-163 | エキシマ手動レーザーカッター | 2020/08/31 11:03:27 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-162 | 電子顕微鏡 | 2020/08/31 10:56:22 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-161 | 樹脂三次元NC加工装置 | 2020/08/31 10:52:20 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-160 | 金属二次元NC加工装置 | 2020/08/28 14:47:24 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-159 | Elite300 附属電気特性測定装置 | 2020/08/28 14:43:36 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-158 | UVオゾンクリーナー | 2020/08/28 14:11:13 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-157 | 12インチプローバー | 2020/08/28 14:04:08 | 東京大学 | 微細加工 |
| 新規 | F-UT-155 | 汎用NLDエッチング装置 | 2020/08/28 12:05:44 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-154 | 高出力NCレーザーカッター | 2020/08/28 12:00:12 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-153 | 精密二次元NC加工装置 | 2020/08/28 11:58:43 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-142 | NCプリント基板加工装置 | 2020/08/28 11:50:31 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-149 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 2020/08/28 11:49:56 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-IT-160 | デジタル顕微鏡 | 2020/07/16 11:46:19 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-IT-159 | C-Vプロファイラ | 2020/07/16 11:43:59 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-069 | 熱CVD | 2020/06/29 20:24:26 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-128 | XRD | 2020/06/29 16:00:57 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-127 | マスクレスアライナ | 2020/06/29 16:00:43 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-125 | アルバックICP-RIE#2 | 2020/06/29 16:00:24 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-124 | ウォーターレーザ | 2020/06/29 16:00:13 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-123 | アルバックICP-RIE | 2020/06/29 15:59:59 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-122 | ケミカルドライエッチャー（CDE） | 2020/06/29 15:59:42 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-121 | プラズマクリーナー | 2020/06/29 15:59:30 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-120 | Vapor HFエッチング装置 | 2020/06/29 15:59:08 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-117 | 球面スパッタ装置 | 2020/06/29 15:58:50 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-119 | 多元材料原子層堆積（ALD）装置 | 2020/06/29 15:58:36 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-118 | 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 | 2020/06/29 15:58:23 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TU-116 | 球面露光装置 | 2020/06/29 15:58:11 | 東北大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-NM-022 | ナノサーチ顕微鏡（レーザー顕微鏡のみ） | 2020/06/19 14:06:56 | 物質・材料研究機構 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-RO-378 | ICP - CVD装置 | 2020/06/11 10:29:40 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-379 | CCP - CVD装置 | 2020/06/11 10:28:32 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-380 | リモートPECVD装置 | 2020/06/11 10:26:52 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-381 | EBSD解析装置 | 2020/06/11 10:23:57 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-382 | 連続発振レーザアニール装置 （レーザ結晶化装置） | 2020/06/11 10:13:49 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TT-234 | 走査型電子顕微鏡 | 2020/05/26 11:20:09 | 豊田工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-YA-364 | 振動試料型磁力計 | 2020/04/28 13:25:32 | 山口大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-OS-322 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | 2020/04/28 12:55:56 | 大阪大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-OS-312 | EB蒸着装置 | 2020/04/27 15:21:24 | 大阪大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-YA-363 | マスクレス露光装置 | 2020/04/24 16:47:36 | 山口大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-OS-143 | レーザー照射励起電流測定装置 | 2020/04/21 09:19:12 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-132 | ICP-RFスパッタ装置 | 2020/04/20 16:28:53 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-NM-106 | ICP原子層エッチング装置 | 2020/04/03 14:30:42 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-128 | 結晶スポンジ法を用いた分子構造解析 | 2020/04/02 12:11:34 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-126 | 単結晶X線回析(CCD-2) | 2020/04/02 12:10:14 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-109 | 単結晶X線回折(CCD-1) | 2020/04/02 12:09:27 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-099 | 金属錯体 | 2020/04/02 12:05:38 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-090 | 有機合成 | 2020/04/02 12:04:58 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-088 | 有機FET | 2020/04/02 12:01:08 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-100 | 3次元光学プロファイラーシステム | 2020/04/02 11:57:54 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-093 | マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き | 2020/04/02 11:57:16 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-131 | オペランド多目的Ｘ線回析 | 2020/04/02 11:55:49 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-NM-097 | プラズマアッシャー | 2020/03/24 11:27:30 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-098 | UVオゾンクリーナー | 2020/03/24 11:27:19 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-099 | 多元スパッタ装置 (i-miller) | 2020/03/24 11:27:09 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-100 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | 2020/03/24 11:26:58 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-101 | 自動エリプソメータ | 2020/03/24 11:26:46 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-102 | 触針式表面段差計 | 2020/03/24 11:26:35 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-103 | イオンスパッタ | 2020/03/24 11:26:23 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-104 | 薄膜応力測定装置 | 2020/03/24 11:26:11 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-NM-105 | 液体窒素プローバーシステム | 2020/03/24 11:24:41 | 物質・材料研究機構 | 微細加工 |
| 更新 | S-OS-133 | 電気炉 | 2020/03/05 19:22:17 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-AT-078 | ワイヤーボンダー | 2020/02/21 10:54:38 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-139 | ワイヤーボンダー(2F) | 2020/02/21 10:54:03 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-143 | 自動塗布現像装置 | 2020/02/20 11:22:41 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-140 | RF・DCスパッタ堆積装置(芝浦) | 2020/02/20 07:36:29 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-141 | 単波長エリプソメータ | 2020/02/20 07:34:26 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-137 | イオンコーター(FIB付帯) | 2020/02/18 16:49:19 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-138 | マニュアルウェハープローバー(2F) | 2020/02/18 16:49:07 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-142 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | 2020/02/18 16:47:57 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-071 | 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） | 2020/02/18 14:46:40 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-129 | RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC) | 2020/02/18 14:15:37 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-073 | スパッタ成膜装置（芝浦） | 2020/02/18 14:14:10 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-111 | 反転露光用全面UV照射装置 | 2020/02/18 14:12:52 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-AT-118 | 全焦点顕微鏡 | 2020/02/18 14:10:16 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-100 | マスク・ウエーハ自動現像装置群 | 2020/02/18 12:15:12 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-151 | 高精細電子顕微鏡 | 2020/02/18 11:14:04 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | A-KU-124 | 直交型FIB-SEM | 2020/01/16 10:14:34 | 九州大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-034 | モノクロメーター搭載超高分解能収差補正型分析電子顕微鏡 | 2019/12/20 15:33:33 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | F-OS-310 | リアクティブイオンエッチング装置 | 2019/12/20 13:25:24 | 大阪大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-227 | 酸化・拡散炉 | 2019/12/07 18:38:45 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-226 | 蛍光りん光分光光度計 | 2019/12/07 18:33:29 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-225 | 原子層体積装置 | 2019/12/07 18:26:46 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-224 | マスクレス露光装置 | 2019/12/07 18:23:16 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-223 | ラジカル注入型プラズマCVD装置 | 2019/12/07 18:19:06 | 名古屋大学 | 微細加工 |
Vol. 13, No. 4, 2020年8月31日発行
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
令和元年度秀でた利用成果
BiFe1-xCoxO3薄膜のスピン構造変化
～電場による磁化の反転に成功，次世代低消費電力磁気メモリ実現の道拓く～
東京工業大学 東 正樹，重松 圭
九州大学 北條 元
名古屋工業大学 壬生 攻
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
令和元年度技術スタッフ表彰
微細加工技術を用いた材料開発支援
令和元年度度技術支援貢献賞
受賞者 北海道大学 微細加工プラットフォーム 大西 広氏，中野 和佳子氏に聞く
