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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ!
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最近の装置更新履歴

種別設備ID設備名更新日時機関名プラットフォーム
新規F-AT-145ECRスパッタ成膜・ミリング装置2020/12/01 13:15:11産業技術総合研究所微細加工
新規F-AT-144原子層堆積装置〔AD-100LP〕2020/12/01 12:23:06産業技術総合研究所微細加工
更新S-OS-144走査型電子顕微鏡2020/11/19 21:21:15大阪大学分子・物質合成
更新S-OS-136RFスパッタ装置2020/11/19 21:17:57大阪大学分子・物質合成
更新F-IT-161共焦点ラマン顕微鏡2020/10/29 14:11:53東京工業大学微細加工
更新S-MS-083FT遠赤外分光2020/10/27 15:58:12分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-082顕微ラマン分光2020/10/27 15:56:45分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-123熱分析(固体、粉末)2020/10/27 15:55:06分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-107SQUID型磁化測定(MPMS-XL7)2020/10/27 15:51:37分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-106SQUID型磁化測定(MPMS-7)2020/10/27 15:50:27分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-105電子スピン共鳴(Bruker E500)2020/10/27 15:49:01分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-104電子スピン共鳴(Bruker EMX Plus)2020/10/27 15:47:47分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-103電子スピン共鳴(Bruker E680 )2020/10/27 15:46:10分子科学研究所分子・物質合成
更新F-RO-378ICP - CVD装置2020/10/09 14:23:31広島大学微細加工
更新F-RO-379CCP - CVD装置2020/10/09 14:23:14広島大学微細加工
更新F-RO-380リモートPECVD装置2020/10/09 14:23:02広島大学微細加工
更新F-RO-381EBSD解析装置2020/10/09 14:22:40広島大学微細加工
更新F-RO-382連続発振レーザアニール装置 (レーザ結晶化装置)2020/10/09 14:22:19広島大学微細加工
更新F-RO-385ウェル拡散炉2020/10/09 14:20:19広島大学微細加工
更新F-RO-350インプラ後アニール炉2020/10/09 14:13:12広島大学微細加工
更新F-RO-383Rapid Thermal Anneal装置(RTA)2020/10/06 13:46:32広島大学微細加工
更新S-MS-119ピコ秒レーザー2020/10/05 14:30:43分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-116紫外・可視・近赤外分光光度計2020/10/05 14:29:16分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-121単結晶X線回折(微小結晶)2020/10/05 13:41:40分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-130電界放出形透過電子顕微鏡2020/10/05 13:36:57分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-094低真空分析走査電子顕微鏡2020/10/05 13:26:38分子科学研究所分子・物質合成
更新S-CT-035示差走査熱量計(DSC)2020/10/05 13:16:28千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-MS-099金属錯体2020/10/05 12:56:54分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-087太陽電池2020/10/05 12:02:53分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-118装置開発2020/10/05 11:36:12分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-1003次元光学プロファイラーシステム2020/10/05 11:34:32分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-093マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き2020/10/05 11:33:31分子科学研究所分子・物質合成
更新F-RO-384ホール効果測定装置2020/09/25 10:11:25広島大学微細加工
更新S-CT-001NMR(核磁気共鳴装置)2020/09/24 15:38:37千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-028触針式表面形状測定器2020/09/24 15:35:37千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-002透過型電子顕微鏡(TEM)2020/09/24 13:02:48千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-004紫外可視近赤外分光計2020/09/24 13:02:24千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-005走査型近接場光学顕微分光システム(SNOM)2020/09/24 13:02:04千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-006薄膜形成支援装置群2020/09/24 13:01:44千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-007高分子計測装置群2020/09/24 12:58:16千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-008FZ炉(赤外線加熱単結晶製造装置)2020/09/24 12:57:27千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-009機能性分子・高分子合成2020/09/24 12:56:51千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-0103D測定レーザ顕微鏡2020/09/24 12:53:21千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-011顕微ラマン分光2020/09/24 12:52:21千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-012走査型プローブ顕微鏡2020/09/24 12:51:16千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-013クロマトグラフィー装置群2020/09/24 12:50:38千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-014FTIR2020/09/24 12:49:51千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-015分光蛍光光度計2020/09/24 12:49:29千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-020顕微赤外測定システム2020/09/24 12:48:21千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-021X線回折装置2020/09/24 12:48:03千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-022表面分析装置(大気下光電子分光装置)2020/09/24 12:47:35千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-024X線小角散乱装置2020/09/24 12:47:02千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-026電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)2020/09/24 12:17:33千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-029ラマンイメージング2020/09/24 12:16:18千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-030スピンコーター2020/09/24 12:15:18千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-034熱重量測定装置(TGA)2020/09/24 12:14:36千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-033表面物性測定装置群2020/09/24 12:13:47千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-037ジェットミル2020/09/24 12:12:01千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-038あわとり練太郎2020/09/24 12:09:57千歳科学技術大学分子・物質合成
更新S-CT-039クロスセクションポリシャ2020/09/24 12:09:39千歳科学技術大学分子・物質合成
更新F-RO-375ダイサー2020/09/23 11:56:31広島大学微細加工
更新F-RO-370X線光電子分光装置(XPS)2020/09/20 14:59:50広島大学微細加工
更新F-RO-354蛍光X線分析装置2020/09/20 14:57:37広島大学微細加工
更新F-RO-353薄膜構造評価X線回析装置2020/09/20 14:54:44広島大学微細加工
更新F-RO-332ラザフォード後方散乱 (RBS)測定装置2020/09/20 14:52:59広島大学微細加工
更新F-RO-369表面段差計2020/09/20 14:51:44広島大学微細加工
更新F-RO-368分光エリプソメーター2020/09/20 14:50:28広島大学微細加工
更新F-RO-367干渉式膜厚計2020/09/20 14:49:18広島大学微細加工
更新F-RO-352原子間力顕微鏡(AFM)2020/09/20 14:47:53広島大学微細加工
更新F-RO-376真空蒸着装置2020/09/20 14:45:11広島大学微細加工
更新F-RO-337常圧SiO2CVD装置2020/09/20 14:43:17広島大学微細加工
更新F-RO-372プラズマCVD(PECVD)装置2020/09/20 14:34:23広島大学微細加工
更新F-RO-336LPCVD装置(SiO2用)2020/09/20 14:33:06広島大学微細加工
更新F-RO-335LPCVD装置(SiN用)2020/09/20 14:32:03広島大学微細加工
更新F-RO-334LPCVD装置(poly-Si用)2020/09/20 14:31:06広島大学微細加工
更新F-RO-348スパッタ装置(汎用)2020/09/20 14:30:03広島大学微細加工
更新F-RO-349スパッタ装置(Cu用)2020/09/20 14:28:57広島大学微細加工
更新F-RO-339スパッタ装置(Al用)2020/09/20 14:27:49広島大学微細加工
更新F-RO-344イオン注入装置2020/09/20 14:26:37広島大学微細加工
更新F-RO-366ポストメタライゼーションアニール(PMA)炉2020/09/20 14:25:27広島大学微細加工
更新F-RO-371汎用熱処理装置2020/09/20 14:22:37広島大学微細加工
更新F-RO-343燐拡散炉2020/09/20 14:21:39広島大学微細加工
更新F-RO-333酸化炉2020/09/20 14:19:22広島大学微細加工
更新F-RO-342エッチング装置(Si 深掘用)2020/09/20 14:17:02広島大学微細加工
更新F-RO-365エッチング装置(汎用)2020/09/20 14:15:25広島大学微細加工
更新F-RO-363エッチング装置(レジスト Ashing用)2020/09/20 14:14:19広島大学微細加工
更新F-RO-362エッチング装置(CDE SiN用)2020/09/20 14:13:27広島大学微細加工
更新F-RO-364エッチング装置(ICP Poly-Siゲート用)2020/09/20 14:12:07広島大学微細加工
更新F-RO-361エッチング装置(ICP Al用)2020/09/20 14:11:07広島大学微細加工
更新F-RO-340エッチング装置(RIE SiO2用)2020/09/20 14:09:26広島大学微細加工
更新F-RO-341汎用プラズマ処理装置2020/09/20 14:08:10広島大学微細加工
更新F-UT-152枚葉式ZEP520自動現像装置2020/09/11 14:42:34東京大学微細加工
更新A-NM-043極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡2020/09/10 09:40:28物質・材料研究機構微細構造解析
更新A-NM-104低温走査型トンネル顕微鏡2020/09/10 09:39:36物質・材料研究機構微細構造解析
更新S-NU-148NMR(500MHz)装置2020/09/08 13:16:05名古屋大学分子・物質合成
更新S-NU-146NMR(400MHz)装置2020/09/08 11:55:22名古屋大学分子・物質合成
更新S-NU-147蛍光X線分析装置2020/09/08 11:55:04名古屋大学分子・物質合成
更新F-UT-139サンドブラスト2020/09/07 14:19:06東京大学微細加工
更新F-UT-132イナートガスオーブン2020/09/07 14:18:03東京大学微細加工
更新F-UT-131電子線顕微鏡観察用コーター2020/09/07 14:14:10東京大学微細加工

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ナノテクノロジープラットフォームの研究成果を紹介するほか,
日本全体の研究や企業の動向を俯瞰するレビュー記事などを刊行するWebマガジンです.

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連載中の企画特集

▶ 秀でた利用成果

▶ 卓越した技術スタッフ

▶ ナノテクノロジーPickUp

▶ 10-9 INNOVATIONの最先端

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最新号

Vol. 13, No. 6, 2020年12月2日発行

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
平成30年度技術スタッフ表彰

高精度FIB加工技術を用いた微細構造観察
技術支援貢献賞
受賞者 名古屋大学 微細構造解析プラットフォーム 中尾 知代氏に聞く

 

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
令和元年度技術スタッフ表彰

電子スピン共鳴装置による研究支援
技術支援貢献賞
受賞者 自然科学研究機構 分子科学研究所 分子・物質合成プラットフォーム 藤原 基靖氏,浅田 瑞枝氏,伊木 志成子氏に聞く

単結晶X線構造解析による技術支援
技術支援貢献賞
受賞者 奈良先端科学技術大学院大学 分子・物質合成プラットフォーム 片尾 昇平氏に聞く

 


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企画特集 10-9 INNOVATIONの最先端
~Life & Green Nanotechnologyが培う新技術~

<第77回>
高スループット微細加工を実現した電子ビーム加工装置の開発
株式会社エリオニクス 七野 実氏,伊藤 高臣氏,永井 佐利氏,弓削 昌豊氏に聞く

<第78回>
IoT社会に貢献する環境発電など,太陽電池の多面的応用
~固体型色素増感太陽電池,フレキシブル環境発電デバイス,ペロブスカイト太陽電池~
株式会社リコー Energy Harvesting 事業センター 笠原 俊秀氏,三澤 太輔氏,田中 裕二氏,新居 遼太氏,堀内 保氏に聞く

<第79回>
金属やセラミック,樹脂などありとあらゆる素材の表面に厚さ最小数nmのめっきを施す最先端技術を開発
清川メッキ工業株式会社 清川 肇氏,児玉 清人氏,福岡 清人氏に聞く