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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ!
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最近の装置更新履歴

種別設備ID設備名更新日時機関名プラットフォーム
更新F-UT-152枚葉式ZEP520自動現像装置2020/09/11 14:42:34東京大学微細加工
更新A-NM-043極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡2020/09/10 09:40:28物質・材料研究機構微細構造解析
更新A-NM-104低温走査型トンネル顕微鏡2020/09/10 09:39:36物質・材料研究機構微細構造解析
更新A-NM-101800MHz固体高分解能NMRシステム2020/09/08 16:17:25物質・材料研究機構微細構造解析
新規S-NU-148NMR(500MHz)装置2020/09/08 13:16:05名古屋大学分子・物質合成
新規S-NU-146NMR(400MHz)装置2020/09/08 11:55:22名古屋大学分子・物質合成
新規S-NU-147蛍光X線分析装置2020/09/08 11:55:04名古屋大学分子・物質合成
更新F-UT-139サンドブラスト2020/09/07 14:19:06東京大学微細加工
更新F-UT-132イナートガスオーブン2020/09/07 14:18:03東京大学微細加工
更新F-UT-131電子線顕微鏡観察用コーター2020/09/07 14:14:10東京大学微細加工
新規F-UT-156スプレーコーター2020/09/07 14:13:41東京大学微細加工
新規F-UT-165小型原子間力顕微鏡 2020/09/07 13:59:17東京大学微細加工
新規F-UT-164アクアプラズマ表面改質装置2020/09/07 13:50:43東京大学微細加工
更新F-UT-123汎用高品位ICPエッチング装置2020/09/04 15:09:58東京大学微細加工
更新F-UT-134超高真空蒸着装置(ベルジャー)2020/09/04 14:46:09東京大学微細加工
更新F-UT-140超臨界銅成膜装置2020/09/02 12:44:28東京大学微細加工
更新F-NU-153薄膜X線回折装置2020/08/31 20:19:19名古屋大学微細加工
新規F-UT-163エキシマ手動レーザーカッター2020/08/31 11:03:27東京大学微細加工
新規F-UT-162電子顕微鏡2020/08/31 10:56:22東京大学微細加工
新規F-UT-161樹脂三次元NC加工装置 2020/08/31 10:52:20東京大学微細加工
新規F-UT-160金属二次元NC加工装置 2020/08/28 14:47:24東京大学微細加工
新規F-UT-159Elite300 附属電気特性測定装置 2020/08/28 14:43:36東京大学微細加工
新規F-UT-158UVオゾンクリーナー2020/08/28 14:11:13東京大学微細加工
新規F-UT-15712インチプローバー 2020/08/28 14:04:08東京大学微細加工
新規F-UT-155汎用NLDエッチング装置 2020/08/28 12:05:44東京大学微細加工
更新F-UT-154高出力NCレーザーカッター2020/08/28 12:00:12東京大学微細加工
更新F-UT-153精密二次元NC加工装置2020/08/28 11:58:43東京大学微細加工
更新F-UT-142NCプリント基板加工装置2020/08/28 11:50:31東京大学微細加工
更新F-UT-149LL式高密度汎用スパッタリング装置2020/08/28 11:49:56東京大学微細加工
更新F-IT-160デジタル顕微鏡2020/07/16 11:46:19東京工業大学微細加工
更新F-IT-159C-Vプロファイラ2020/07/16 11:43:59東京工業大学微細加工
更新F-TU-069熱CVD2020/06/29 20:24:26東北大学微細加工
更新F-TU-128XRD2020/06/29 16:00:57東北大学微細加工
更新F-TU-127マスクレスアライナ2020/06/29 16:00:43東北大学微細加工
更新F-TU-125アルバックICP-RIE#22020/06/29 16:00:24東北大学微細加工
更新F-TU-124ウォーターレーザ2020/06/29 16:00:13東北大学微細加工
更新F-TU-123アルバックICP-RIE2020/06/29 15:59:59東北大学微細加工
更新F-TU-122ケミカルドライエッチャー(CDE)2020/06/29 15:59:42東北大学微細加工
更新F-TU-121プラズマクリーナー2020/06/29 15:59:30東北大学微細加工
更新F-TU-120Vapor HFエッチング装置2020/06/29 15:59:08東北大学微細加工
更新F-TU-117球面スパッタ装置2020/06/29 15:58:50東北大学微細加工
更新F-TU-119多元材料原子層堆積(ALD)装置2020/06/29 15:58:36東北大学微細加工
更新F-TU-118酸素加圧RTA付高温スパッタ装置2020/06/29 15:58:23東北大学微細加工
更新F-TU-116球面露光装置2020/06/29 15:58:11東北大学微細加工
更新S-NM-022ナノサーチ顕微鏡(レーザー顕微鏡のみ)2020/06/19 14:06:56物質・材料研究機構分子・物質合成
更新F-RO-378ICP - CVD装置2020/06/11 10:29:40広島大学微細加工
更新F-RO-379CCP - CVD装置2020/06/11 10:28:32広島大学微細加工
更新F-RO-380リモートPECVD装置2020/06/11 10:26:52広島大学微細加工
更新F-RO-381EBSD解析装置2020/06/11 10:23:57広島大学微細加工
更新F-RO-382連続発振レーザアニール装置 (レーザ結晶化装置)2020/06/11 10:13:49広島大学微細加工
更新F-TT-234走査型電子顕微鏡2020/05/26 11:20:09豊田工業大学微細加工
更新F-YA-364振動試料型磁力計2020/04/28 13:25:32山口大学微細加工
更新F-OS-322高速大面積電子ビームリソグラフィー装置2020/04/28 12:55:56大阪大学微細加工
更新F-OS-312EB蒸着装置2020/04/27 15:21:24大阪大学微細加工
更新F-YA-363マスクレス露光装置2020/04/24 16:47:36山口大学微細加工
更新S-OS-143レーザー照射励起電流測定装置2020/04/21 09:19:12大阪大学分子・物質合成
更新S-OS-132ICP-RFスパッタ装置2020/04/20 16:28:53大阪大学分子・物質合成
更新F-NM-106ICP原子層エッチング装置2020/04/03 14:30:42物質・材料研究機構微細加工
更新S-MS-128結晶スポンジ法を用いた分子構造解析2020/04/02 12:11:34分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-126単結晶X線回析(CCD-2)2020/04/02 12:10:14分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-109単結晶X線回折(CCD-1)2020/04/02 12:09:27分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-099金属錯体2020/04/02 12:05:38分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-090有機合成2020/04/02 12:04:58分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-088有機FET2020/04/02 12:01:08分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-1003次元光学プロファイラーシステム2020/04/02 11:57:54分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-093マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き2020/04/02 11:57:16分子科学研究所分子・物質合成
更新S-MS-131オペランド多目的X線回析2020/04/02 11:55:49分子科学研究所分子・物質合成
更新F-NM-097プラズマアッシャー2020/03/24 11:27:30物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-098UVオゾンクリーナー2020/03/24 11:27:19物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-099多元スパッタ装置 (i-miller)2020/03/24 11:27:09物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-100高圧ジェットリフトオフ装置2020/03/24 11:26:58物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-101自動エリプソメータ2020/03/24 11:26:46物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-102触針式表面段差計2020/03/24 11:26:35物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-103イオンスパッタ2020/03/24 11:26:23物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-104薄膜応力測定装置2020/03/24 11:26:11物質・材料研究機構微細加工
更新F-NM-105液体窒素プローバーシステム2020/03/24 11:24:41物質・材料研究機構微細加工
更新S-OS-133電気炉2020/03/05 19:22:17大阪大学分子・物質合成
更新F-AT-078ワイヤーボンダー2020/02/21 10:54:38産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-139ワイヤーボンダー(2F)2020/02/21 10:54:03産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-143自動塗布現像装置2020/02/20 11:22:41産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-140RF・DCスパッタ堆積装置(芝浦)2020/02/20 07:36:29産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-141単波長エリプソメータ2020/02/20 07:34:26産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-137イオンコーター(FIB付帯)2020/02/18 16:49:19産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-138マニュアルウェハープローバー(2F)2020/02/18 16:49:07産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-142高圧ジェットリフトオフ装置2020/02/18 16:47:57産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-071集束イオンビーム加工観察装置(FIB)2020/02/18 14:46:40産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-129RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)2020/02/18 14:15:37産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-073スパッタ成膜装置(芝浦)2020/02/18 14:14:10産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-111反転露光用全面UV照射装置2020/02/18 14:12:52産業技術総合研究所微細加工
更新F-AT-118全焦点顕微鏡2020/02/18 14:10:16産業技術総合研究所微細加工
更新F-UT-100マスク・ウエーハ自動現像装置群2020/02/18 12:15:12東京大学微細加工
更新F-UT-151高精細電子顕微鏡2020/02/18 11:14:04東京大学微細加工
更新A-KU-124直交型FIB-SEM2020/01/16 10:14:34九州大学微細構造解析
更新A-TU-034モノクロメーター搭載超高分解能収差補正型分析電子顕微鏡2019/12/20 15:33:33東北大学微細構造解析
更新F-OS-310リアクティブイオンエッチング装置2019/12/20 13:25:24大阪大学微細加工
更新F-NU-227酸化・拡散炉2019/12/07 18:38:45名古屋大学微細加工
更新F-NU-226蛍光りん光分光光度計2019/12/07 18:33:29名古屋大学微細加工
更新F-NU-225原子層体積装置2019/12/07 18:26:46名古屋大学微細加工
更新F-NU-224マスクレス露光装置2019/12/07 18:23:16名古屋大学微細加工
更新F-NU-223ラジカル注入型プラズマCVD装置2019/12/07 18:19:06名古屋大学微細加工

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