文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業では、民間企業や大学の若手研究者などが独創的な研究開発を行うことを支援し、スマート社会に貢献するナノテクノロジーの発展を推進します。
微細構造解析プラットフォーム
微細加工プラットフォーム
分子・物質合成プラットフォーム
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キーワード検索
| 種別 | 設備ID | 設備名 | 更新日時 | 機関名 | プラットフォーム |
|---|---|---|---|---|---|
| 更新 | S-OS-124 | パルスレーザーMBE装置（PLD) | 2019/07/12 10:08:03 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | A-KU-119 | 試料作製装置群 | 2019/07/04 09:12:23 | 九州大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | F-NU-222 | マルチマテリアル3Dプリンタ | 2019/07/02 13:14:05 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-151 | 電気炉 | 2019/07/02 13:06:02 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-157 | ECR-SIMSエッチング装置 | 2019/07/02 13:05:40 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-156 | 8元MBE装置 | 2019/07/02 13:05:24 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-155 | 8元マグネトロンスパッタ装置 | 2019/07/02 13:05:08 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-166 | スパッタ絶縁膜作製装置 | 2019/07/02 13:04:41 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-170 | 段差計 | 2019/07/02 13:04:21 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-180 | 磁気特性評価システム群 | 2019/07/02 13:03:21 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-217 | デジタルマイクロスコープ一式 | 2019/07/02 13:02:32 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-208 | プラズマCVD装置 | 2019/07/02 13:00:31 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-219 | Deep Si Etcher | 2019/07/02 12:58:59 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-176 | 二周波励起プラズマエッチング装置 | 2019/07/02 12:57:36 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-NU-215 | 走査型イオン顕微鏡 | 2019/07/02 12:55:20 | 名古屋大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-150 | オージェ分光分析装置 | 2019/06/10 14:08:20 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-141 | UVレーザープリント基板加工装置 | 2019/06/10 11:15:36 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-119 | 機械特性評価装置 | 2019/06/10 11:12:26 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-105 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 2019/06/10 11:07:13 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-149 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 2019/06/07 15:04:29 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-148 | ニッケルめっき装置 | 2019/06/07 14:59:59 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-147 | パリレンコーター | 2019/06/07 13:48:51 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-146 | レーザー直接描画装置 | 2019/06/07 13:43:14 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-YA-354 | ガス放出速度測定装置 | 2019/06/04 14:24:35 | 山口大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-TT-232 | 絶対ＰＬ量子収率測定装置 | 2019/06/04 09:09:30 | 豊田工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-OS-143 | レーザー照射励起電流測定装置 | 2019/05/20 15:30:41 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-142 | レーザーラマン顕微鏡 | 2019/05/20 15:15:34 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-132 | ICP-RFスパッタ装置 | 2019/05/15 10:17:55 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-136 | RFスパッタ装置 | 2019/05/15 10:16:36 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-133 | 電気炉 | 2019/05/15 10:13:03 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-135 | 反応性イオンエッチング装置 | 2019/05/15 10:12:26 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-141 | イオン化エネルギー測定装置 | 2019/05/14 16:14:23 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-140 | 接触式膜厚測定器 | 2019/05/14 15:55:41 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-139 | SIMS付カウフマン型イオンミリング装置 | 2019/05/14 15:53:14 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-138 | 走査型プローブ顕微鏡 | 2019/05/14 15:50:17 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-144 | 走査型電子顕微鏡 | 2019/05/14 15:16:48 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-134 | 紫外可視分光光度計 | 2019/05/14 15:01:37 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-131 | 位相変調型分光エリプソメーター | 2019/05/14 14:39:59 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-130 | ナノ粒子解析装置 （ゼーターサイザー） | 2019/05/14 14:35:11 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-128 | テラヘルツ分光装置 | 2019/05/14 14:32:27 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-129 | フーリエ変換赤外分光光度計 | 2019/05/14 14:31:06 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-126 | 原子間力顕微鏡 | 2019/05/14 14:28:35 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-127 | 薄膜X線回折装置 | 2019/05/14 14:19:55 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-OS-125 | 有機蒸着装置 | 2019/05/14 10:33:58 | 大阪大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NU-144 | X線CT・蛍光ダブルモーダルin vivoイメージングシステム | 2019/04/15 11:30:33 | 名古屋大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-AT-136 | 解析用PC (CAD及び近接効果補正用) | 2019/02/28 15:49:49 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | S-KU-190 | ミクロトーム | 2019/02/25 15:53:07 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-IT-158 | 光導波路評価装置 | 2019/01/26 13:55:53 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-IT-157 | フォトルミネッセンス測定装置 | 2019/01/26 13:54:43 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-IT-156 | 薄膜評価用試料水平型Ｘ線回折装置 | 2019/01/26 13:52:50 | 東京工業大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-375 | ダイサー | 2019/01/16 10:01:00 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-377 | レイアウト設計ツール | 2019/01/15 16:25:16 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-347 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 2019/01/15 14:46:42 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-376 | 真空蒸着装置 | 2019/01/15 14:42:35 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-360 | エッチング装置(ECR Si用) | 2019/01/15 14:42:22 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-RO-357 | 電子ビーム露光装置(JBX-5D） | 2019/01/15 14:41:47 | 広島大学 | 微細加工 |
| 更新 | A-NM-111 | 試料自動交換システム付放射光硬Ｘ線光電子分光装置 | 2018/11/26 13:06:52 | 物質・材料研究機構 | 微細構造解析 |
| 更新 | S-MS-094 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 2018/11/06 14:43:37 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-101 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 2018/11/06 14:43:01 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-102 | 集束イオンビーム加工機 | 2018/11/02 16:28:40 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-AT-095 | プラズマCVD薄膜堆積装置（TEOS/SiO2） | 2018/10/15 10:08:59 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | A-TU-026 | 電子顕微鏡観察試作作製設備群 | 2018/10/09 14:46:35 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-027 | 核磁気共鳴装置 | 2018/10/09 14:13:06 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-028 | ICP発光分光分析装置 | 2018/10/09 14:12:13 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-029 | 熱分析装置 | 2018/10/09 14:11:26 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | A-TU-030 | 小角・広角X線回折装置 | 2018/10/09 14:10:57 | 東北大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | S-TU-023 | 小角・広角X線回折装置 | 2018/10/05 16:03:54 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-018 | 有機デバイス作成装置群 | 2018/10/05 15:58:18 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-015 | ICP発光分光分析装置 | 2018/10/05 15:54:52 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-014 | 核磁気共鳴装置 | 2018/10/05 15:53:21 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-022 | 光励起キャリア移動度測定装置 | 2018/10/05 15:45:04 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-021 | 大気中光電子分光測定装置 | 2018/10/05 15:44:52 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-020 | 絶対PL量子収率測定装置 | 2018/10/05 15:44:37 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-019 | 半導体デバイス・アナライザ | 2018/10/05 15:44:23 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-TU-016 | 分子合成装置群 | 2018/10/05 15:44:07 | 東北大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-MS-128 | 結晶スポンジ法を用いた分子構造解析 | 2018/09/25 10:22:05 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-AT-088 | 集束イオン・電子ビーム観察加工装置（FIB-SEM) | 2018/09/25 09:16:05 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 |
| 更新 | S-MS-115 | 円二色性分散 | 2018/09/21 11:47:26 | 分子科学研究所 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-186 | マイクロ構造観察電子顕微鏡システム | 2018/09/11 09:04:22 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-NI-106 | 原子分解能分析電子顕微鏡 | 2018/09/10 10:47:53 | 名古屋工業大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | A-KU-123 | 収差補正高分解能電子顕微鏡 （JEM-ARM200F） | 2018/08/22 09:52:10 | 九州大学 | 微細構造解析 |
| 更新 | F-UT-136 | 銅メッキ装置 | 2018/07/26 13:44:08 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-KU-143 | UV-Vis-NIR分光光度計 | 2018/07/26 12:39:08 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-UT-144 | ブレードダイサー | 2018/07/25 09:31:28 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | F-UT-145 | SEM | 2018/07/19 15:04:25 | 東京大学 | 微細加工 |
| 更新 | S-KU-148 | 近赤外蛍光分光装置 | 2018/07/19 10:25:47 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | S-KU-154 | 三次元SEM画像測定解析システム | 2018/07/19 10:21:45 | 九州大学 | 分子・物質合成 |
| 更新 | F-FA-367 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 16:23:34 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-371 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 16:12:38 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-369 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 16:11:06 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-368 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 16:09:43 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-366 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 16:07:59 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-365 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 15:41:00 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-361 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:36:26 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-360 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:35:50 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-359 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:34:53 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-358 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:33:43 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-357 | ケミカルプロセス装置群 | 2018/07/13 15:32:55 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-383 | 組立測定装置群 | 2018/07/13 15:22:50 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
| 更新 | F-FA-381 | リソグラフィ装置群 | 2018/07/13 15:19:14 | 北九州産業学術推進機構 | 微細加工 |
Vol. 12, No. 3, 2019年6月28日発行
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム
平成30年度秀でた利用成果
巨大誘電率を実現するAl2O3/TiO2積層膜の検討
aパナソニック株式会社，b大阪大学 辻田 卓司a,b，森田 幸弘a,b，西谷 幹彦b，北川 雅俊b
北海道大学 大西 広，中野 和佳子，平井 直美，松尾 保孝
企画特集 10-9 INNOVATIONの最先端
～Life & Green Nanotechnologyが培う新技術～
