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ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]によるシリコンフォトニクスデバイスの開発(2023年度)
装置・プロセス:
NM-615:ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
ファイル数:
8
ファイルサイズ:
108.78KB
課題番号:
JPMXP1223NM0001
課題名:
シリコンフォトニクスデバイスの開発
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
14
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スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]によるイオニクス型人工知能デバイスの研究(2023年度)
装置・プロセス:
NM-641:スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
ファイル数:
4
ファイルサイズ:
48.89KB
課題番号:
JPMXP1223NM5072
課題名:
イオニクス型人工知能デバイスの研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
11
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ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]による高温超伝導線材の実用化のための応用基盤研究(2023年度)
装置・プロセス:
NM-615:ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
ファイル数:
15
ファイルサイズ:
241.91KB
課題番号:
JPMXP1223NM5039
課題名:
⾼温超伝導線材の実⽤化のための応⽤基盤研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
8
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電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]による電子・レーザービーム描画を用いた微細デバイス加工技術開発(2023年度)
装置・プロセス:
NM-635:電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
ファイル数:
8
ファイルサイズ:
124.81KB
課題番号:
JPMXP1223NM0006
課題名:
電子・レーザービーム描画を用いた微細デバイス加工技術開発
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
7
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水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]によるイオニクス型人工知能デバイスの研究(2023年度)
装置・プロセス:
NM-638:水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
ファイル数:
23
ファイルサイズ:
274.94KB
課題番号:
JPMXP1223NM5072
課題名:
イオニクス型人工知能デバイスの研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
10
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スパッタ装置 [JSP-8000]によるダイヤモンドデバイスの研究_23NM5196
装置・プロセス:
NM-608:スパッタ装置 [JSP-8000]
ファイル数:
3
ファイルサイズ:
48.4KB
課題番号:
JPMXP1223NM5196
課題名:
ダイヤモンドデバイスの研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
10
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電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]による光メタ表面に関する研究
装置・プロセス:
NM-635:電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
ファイル数:
5
ファイルサイズ:
92.3KB
課題番号:
JPMXP1223NM5163
課題名:
光メタ表面に関する研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
17
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FE-SEM+EDX [SU8230]による半導体ナノ構造の形成制御と機能化_SEM(2023年度)
装置・プロセス:
NM-649:FE-SEM+EDX [SU8230]
ファイル数:
348
ファイルサイズ:
514.12MB
課題番号:
JPMXP1223NM5171
課題名:
半導体ナノ構造の形成制御と機能化
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
10
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thumbnail_f7278cd4-7aae-4f9f-8cb4-89a59db634f5
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]によるダイヤモンドデバイスの研究_23NM5196
装置・プロセス:
NM-610:電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
ファイル数:
4
ファイルサイズ:
44.42KB
課題番号:
JPMXP1223NM5196
課題名:
ダイヤモンドデバイスの研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
9
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電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]による絶縁膜形成技術の研究(2023年度)
装置・プロセス:
NM-635:電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
ファイル数:
9
ファイルサイズ:
183.76KB
課題番号:
JPMXP1223NM5089
課題名:
絶縁膜形成技術の研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
9
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電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]によるダイヤモンドデバイスの研究_23NM5196
装置・プロセス:
NM-635:電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
ファイル数:
14
ファイルサイズ:
276.39KB
課題番号:
JPMXP1223NM5196
課題名:
ダイヤモンドデバイスの研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
6
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ICP-RIE装置 [CE300I]によるスピントロニクス型人工知能デバイスの研究(2023年度)
装置・プロセス:
NM-645:ICP-RIE装置 [CE300I]
ファイル数:
6
ファイルサイズ:
96.39KB
課題番号:
JPMXP1223NM5518
課題名:
スピントロニクス型人工知能デバイスの研究
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
4
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FE-SEM+EDX [S-4800]によるナノ相分離材料の組織分析_SEM
装置・プロセス:
NM-647:FE-SEM+EDX [S-4800]
ファイル数:
851
ファイルサイズ:
339.17MB
課題番号:
JPMXP1223NM5363
課題名:
ナノ相分離材料の組織分析
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
7
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水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]による半導体ナノ構造の形成制御と機能化(2023年度)
装置・プロセス:
NM-605:水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
ファイル数:
5
ファイルサイズ:
59.97KB
課題番号:
JPMXP1223NM5171
課題名:
半導体ナノ構造の形成制御と機能化
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
3
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ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]による光デバイスの作製
装置・プロセス:
NM-615:ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
ファイル数:
9
ファイルサイズ:
144.61KB
課題番号:
JPMXP1223NM0047
課題名:
光デバイスの作製
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
1
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マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]による半導体ナノ構造の形成制御と機能化(2023年度)
装置・プロセス:
NM-604:マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
ファイル数:
6
ファイルサイズ:
119.1KB
課題番号:
JPMXP1223NM5171
課題名:
半導体ナノ構造の形成制御と機能化
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
2
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SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]による半導体量子構造を用いた電流注入型光源デバイス作製
装置・プロセス:
NM-633:SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
ファイル数:
3
ファイルサイズ:
44.05KB
課題番号:
JPMXP1223NM0164
課題名:
半導体量子構造を用いた電流注入型光源デバイス作製
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
4
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原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]によるGaNトポロジカル面発光レーザー実現に向けたデバイスプロセスの開発(2023年度)
装置・プロセス:
NM-618:原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
ファイル数:
3
ファイルサイズ:
48KB
課題番号:
JPMXP1223NM5484
課題名:
GaNトポロジカル面発光レーザー実現に向けたデバイスプロセスの開発
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
6
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Research on Single Crystal Growth of Oxides and Fluorides using Tabletop SEM+EDX [TM3000] in SEM mode(FY2023)
装置・プロセス:
NM-650:卓上電子顕微鏡 [TM3000]
ファイル数:
1911
ファイルサイズ:
1.02GB
課題番号:
JPMXP1223NM5337
課題名:
Single Crystal Growth of Oxides and Fluorides
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
3
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卓上電子顕微鏡 [TM3000]による熱電材料の開発(1)
装置・プロセス:
NM-650:卓上電子顕微鏡 [TM3000]
ファイル数:
38
ファイルサイズ:
5.42MB
課題番号:
JPMXP1223NM5114
課題名:
熱電材料の開発(1)
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.6.4
ページビュー:
2
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Level1:Open
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