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- 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]によるダイヤモンドデバイスの研究_23NM5196
- 装置・プロセス：
-
NM-605：水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
- ファイル数：
- 11
- ファイルサイズ：
- 126.19KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5196
- 課題名：
- ダイヤモンドデバイスの研究
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
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- 6
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- FE-SEM+EDX [SU8230]による熱電材料の開発（1）_EDX
- 装置・プロセス：
-
NM-649：FE-SEM+EDX [SU8230]
- ファイル数：
- 1677
- ファイルサイズ：
- 513.54MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5114
- 課題名：
- 熱電材料の開発（１）
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 3
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- スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]による水素透過計測のための試料表面処理に関する研究（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-607：スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
- ファイル数：
- 9
- ファイルサイズ：
- 145.66KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5219
- 課題名：
- 水素透過計測のための試料表面処理に関する研究
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
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- FE-SEM+EDX [S-4800]によるスマートポリマーの構造解析および生化学的評価（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-647：FE-SEM+EDX [S-4800]
- ファイル数：
- 187
- ファイルサイズ：
- 459.39MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5298
- 課題名：
- スマートポリマーの構造解析および生化学的評価
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 3
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- 固体イオニクス新材料・新機能_23NM5065_SU8230_SEM
- 装置・プロセス：
-
NM-649：FE-SEM+EDX [SU8230]
- ファイル数：
- 85
- ファイルサイズ：
- 105.9MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5065
- 課題名：
- 固体イオニクスに基づく新材料・新機能の創製
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 1
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- 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]による量子デバイス応用を目指した薄膜評価とナノ構造作製（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-609：電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
- ファイル数：
- 26
- ファイルサイズ：
- 332.48KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5159
- 課題名：
- 量子デバイス応用を目指した薄膜評価とナノ構造作製
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 1
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- CCP-RIE装置 [RIE-200NL]によるダイヤモンドデバイスの研究_23NM5214
- 装置・プロセス：
-
NM-614：CCP-RIE装置 [RIE-200NL]
- ファイル数：
- 3
- ファイルサイズ：
- 47.79KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5214
- 課題名：
- ダイヤモンドデバイスの研究
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
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- スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1]によるワイドバンドギャップ半導体の微細構造形成・デバイス応用
- 装置・プロセス：
-
NM-640：スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1]
- ファイル数：
- 2
- ファイルサイズ：
- 24.38KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5073
- 課題名：
- ワイドバンドギャップ半導体の微細構造形成・デバイス応用
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
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- Research on Ultra-High Surface Area Carbon Materials Design for Energy Storage using FE-SEM+EDX [SU8000] in EDX mode(FY2023)
- 装置・プロセス：
-
NM-648：FE-SEM+EDX [SU8000]
- ファイル数：
- 33
- ファイルサイズ：
- 3.54MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5195
- 課題名：
- Ultra-High Surface Area Carbon Materials Design for Energy Storage
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 0
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- 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]によるナノ相分離材料の組織分析
- 装置・プロセス：
-
NM-635：電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 123.02KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5363
- 課題名：
- ナノ相分離材料の組織分析
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 3
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- シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]による次世代インバータ応用に向けたダイヤモンドパワーデバイスの作製（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-616：シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 52.23KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM0011
- 課題名：
- 次世代インバータ応用に向けたダイヤモンドパワーデバイスの作製
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 2
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- SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]による電子ビームリソグラフィー装置を用いたGaN系材料の微細加工評価
- 装置・プロセス：
-
NM-633：SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 88.1KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5066
- 課題名：
- 電子ビームリソグラフィー装置を用いたGaN系材料の微細加工評価
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 2
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- マスクレス露光装置 [DL-1000]によるワイドバンドギャップ半導体の微細構造形成・デバイス応用
- 装置・プロセス：
-
NM-636：マスクレス露光装置 [DL-1000]
- ファイル数：
- 17
- ファイルサイズ：
- 327.37KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5073
- 課題名：
- ワイドバンドギャップ半導体の微細構造形成・デバイス応用
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 4
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- 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]によるダイヤモンド半導体用プロセスの開発（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-635：電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
- ファイル数：
- 71
- ファイルサイズ：
- 1.27MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5313
- 課題名：
- n型半導体ダイヤモンドを利用したFET回路開発
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 5
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- FE-SEM+EDX [S-4800]によるメカノバイオロジカル材料の開発（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-647：FE-SEM+EDX [S-4800]
- ファイル数：
- 5
- ファイルサイズ：
- 1.88MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5061
- 課題名：
- メカノバイオロジカル材料の開発
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 2
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- GaNのドライエッチング（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-618：原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
- ファイル数：
- 2
- ファイルサイズ：
- 24.41KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM0008
- 課題名：
- 希土類ドープ窒化ガリウムへのフォトニック結晶構造形成2
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 4
- ダウンロード数：
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Level5：Confidential
- 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]による原子層堆積技術の研究（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
NM-646：赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
- ファイル数：
- 31
- ファイルサイズ：
- 377.06KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5090
- 課題名：
- 原子層堆積技術の研究
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 2
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Level4：Restricted
Level5：Confidential
- 電子銃型蒸着装置 [MB-501010]による高機能性誘電体材料薄膜の創製
- 装置・プロセス：
-
NM-642：電子銃型蒸着装置 [MB-501010]
- ファイル数：
- 24
- ファイルサイズ：
- 353.84KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5139
- 課題名：
- 高機能性誘電体材料薄膜の創製
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 2
- ダウンロード数：
- 0
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Level1：Open
Level2：Sample
Level3：License
Level4：Restricted
Level5：Confidential
- FE-SEM+EDX [S-4800]によるナノ相分離材料の組織分析_EDX
- 装置・プロセス：
-
NM-647：FE-SEM+EDX [S-4800]
- ファイル数：
- 105
- ファイルサイズ：
- 40.55MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5363
- 課題名：
- ナノ相分離材料の組織分析
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 3
- ダウンロード数：
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Level1：Open
Level2：Sample
Level3：License
Level4：Restricted
Level5：Confidential
- 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]による薄膜評価技術の研究
- 装置・プロセス：
-
NM-646：赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
- ファイル数：
- 3
- ファイルサイズ：
- 41.96KB
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5093
- 課題名：
- 薄膜評価技術の研究
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.6.4
- ページビュー：
- 1
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