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doi複数の方法で合成したC-A-S-Hゲルの500MHz固体高分解能NMRシステムによる構造解析
装置・プロセス:
NM-102:500MHz固体高分解能NMRシステム
ファイル数:
96
ファイルサイズ:
25.22MB
課題番号:
JPMXP1223NM0098
課題名:
複数の方法で合成したC-A-S-HゲルのNMRによる構造解析
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.4.1
ページビュー:
80
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23NM0098_NM-102
doi煆焼アロフェン系セメントの800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステムによる構造解析(2023年度)
装置・プロセス:
NM-104:800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム
ファイル数:
18
ファイルサイズ:
4.44MB
課題番号:
JPMXP1223NM0054
課題名:
煆焼アロフェンを用いたCO2削減型セメントとカーボンニュートラルコンクリートの開 発
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.4.1
ページビュー:
89
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23NM0054_NM-104
doi500MHz固体汎用NMRシステムによる高温NMRの開発と応用(2023年度)
装置・プロセス:
NM-101:500MHz固体汎用NMRシステム
ファイル数:
30
ファイルサイズ:
6.39MB
課題番号:
JPMXP1223NM5339
課題名:
高温NMRの開発と応用
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.4.1
ページビュー:
85
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23NM5339_NM-101
doiレーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討(2025年度:SU8240)
装置・プロセス:
WS-012:電界放出型 走査電子顕微鏡
ファイル数:
338
ファイルサイズ:
148.59MB
課題番号:
JPMXP1225WS5002
課題名:
レーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討
実施機関:
早稲田大学
登録日:
2026.3.31
ページビュー:
153
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Fig.1 Dose: 800 mJ/cm2, 5 μm L&S
doiレーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討(2025年度:MLA150)
装置・プロセス:
WS-016:レーザー直接描画装置
ファイル数:
35
ファイルサイズ:
28.22MB
課題番号:
JPMXP1225WS5002
課題名:
レーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討
実施機関:
早稲田大学
登録日:
2026.3.31
ページビュー:
131
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Fig.1 SU-8 2002 膜厚 2 μm Laser 露光条件検討 Focus: 0 μm
doiTEOS Plasma CVD装置における厚膜成膜条件検討(2025年度:iHR320)
装置・プロセス:
WS-026:高性能分光エリプソメータ
ファイル数:
59
ファイルサイズ:
20.8MB
課題番号:
JPMXP1225WS5001
課題名:
TEOS Plasma CVD装置における厚膜成膜条件検討
実施機関:
早稲田大学
登録日:
2026.3.31
ページビュー:
112
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Fig.1 Dependence of refractive index on substrate temperature
doiTEOS Plasma CVD装置における厚膜成膜条件検討(2025年度:PD-220)
装置・プロセス:
WS-030:プラズマCVD装置
ファイル数:
160
ファイルサイズ:
1.19MB
課題番号:
JPMXP1225WS5001
課題名:
TEOS Plasma CVD装置における厚膜成膜条件検討
実施機関:
早稲田大学
登録日:
2026.3.31
ページビュー:
122
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Fig.1 SiO2 film surface formed at various substrate temperature
doiレーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討(2025年度:RIE-10NR)
装置・プロセス:
WS-008:CCP-RIE装置
ファイル数:
4
ファイルサイズ:
32.06KB
課題番号:
JPMXP1225WS5002
課題名:
レーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討
実施機関:
早稲田大学
登録日:
2026.3.31
ページビュー:
108
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doiレーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討(2025年度:PR500)
装置・プロセス:
WS-006:プラズマアッシャー
ファイル数:
4
ファイルサイズ:
29.02KB
課題番号:
JPMXP1225WS5002
課題名:
レーザー描画装置 SU-8 2002 膜厚2 μm L&S作製の検討
実施機関:
早稲田大学
登録日:
2026.3.31
ページビュー:
103
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doi石英基板へのPMER P-HA 1300PM形状転写条件の検討実験
装置・プロセス:
NM-617:ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
ファイル数:
322
ファイルサイズ:
22.75MB
課題番号:
JPMXP1225NM2005
課題名:
技術開発
実施機関:
物質・材料研究機構
登録日:
2026.3.30
ページビュー:
119
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a
doiスパッタによるCo/Cu多層膜作製とAFM評価
装置・プロセス:
NU-203:薄膜X線回折装置
NU-204:原子間力顕微鏡
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
ファイル数:
20
ファイルサイズ:
12.51MB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
165
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06Pa_Cu18nm_S4_flatten.000_Amplitude_data.png
doiスパッタによるCo/Cu多層膜作製
装置・プロセス:
NU-203:薄膜X線回折装置
NU-204:原子間力顕微鏡
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
ファイル数:
12
ファイルサイズ:
195.21KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
168
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doiスパッタによるSiO2成膜
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
ファイル数:
6
ファイルサイズ:
104.83KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
127
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doiスパッタによるO2流量変化したZrO2成膜とレート評価
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
NU-203:薄膜X線回折装置
ファイル数:
9
ファイルサイズ:
147.79KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
141
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doiスパッタによるNi成膜
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
ファイル数:
21
ファイルサイズ:
367.07KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
126
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doiスパッタによる成膜角度変化したZrO2成膜
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
NU-204:原子間力顕微鏡
NU-203:薄膜X線回折装置
ファイル数:
12
ファイルサイズ:
197.3KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
121
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doiスパッタによる成膜角度変化したZrO2成膜とXRD評価
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
NU-203:薄膜X線回折装置
NU-204:原子間力顕微鏡
ファイル数:
12
ファイルサイズ:
4.13MB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
122
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ZrO2_40_deg.png
doiスパッタによるAu成膜
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
ファイル数:
6
ファイルサイズ:
105.19KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
107
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doiスパッタによるBi成膜
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
ファイル数:
6
ファイルサイズ:
104.89KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
126
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doiスパッタによるMo成膜
装置・プロセス:
NU-205:3元マグネトロンスパッタ装置
ファイル数:
3
ファイルサイズ:
52.38KB
課題番号:
JPMXP1223NU5202
課題名:
名古屋大学加工_蓄積データ
実施機関:
名古屋大学
登録日:
2026.3.23
ページビュー:
110
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