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- i線ステッパ露光パターンエッチングおよびパターンサイズ1.0μm以下へのアルミ配線形成状況_CVD
- 装置・プロセス：
-
TU-154：住友精密TEOS PECVD
TU-302：膜厚計
- ファイル数：
- 39
- ファイルサイズ：
- 6.36MB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5004
- 課題名：
- アルミ配線（線幅1.0μm以下）及び絶縁膜（TEOS膜）の形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.25
- ページビュー：
- 104
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Arイオンビームミリング法によるピラー加工形状の基板傾斜角による違いと時間変化- 装置・プロセス：
-
NM-669：イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
- ファイル数：
- 79
- ファイルサイズ：
- 11.98MB
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2010
- 課題名：
- SiO2のドライエッチング
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.2.24
- ページビュー：
- 597
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- イオンビームミリングによるAu薄膜加工
- 装置・プロセス：
-
NM-669：イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
- ファイル数：
- 78
- ファイルサイズ：
- 32.4MB
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2016
- 課題名：
- イオンビームミリングによるAu薄膜加工
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.2.24
- ページビュー：
- 319
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- 成膜装置による膜特性の差異確認(2022年度:PD-220)
- 装置・プロセス：
-
WS-030：プラズマCVD装置
- ファイル数：
- 32
- ファイルサイズ：
- 537.14KB
- 課題番号：
- JPMXP1222WS0004
- 課題名：
- 成膜装置による膜特性の差異確認
- 実施機関：
- 早稲田大学
- 登録日：
- 2026.2.19
- ページビュー：
- 387
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- マイクロギアの試作_DRIE
- 装置・プロセス：
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- 4
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- 530.74KB
- 課題番号：
- JPMXP1224GA0121
- 課題名：
- マイクロギアの試作
- 実施機関：
- 香川大学
- 登録日：
- 2026.2.19
- ページビュー：
- 167
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- SQUID（MPMS-XL7）によるキラル磁性体の磁気物性測定
- 装置・プロセス：
-
MS-219：SQUID（MPMS-XL7）
- ファイル数：
- 23
- ファイルサイズ：
- 10.48MB
- 課題番号：
- JPMXP1222MS1047
- 課題名：
- キラル磁性体の磁気物性
- 実施機関：
- 自然科学研究機構
- 登録日：
- 2026.2.18
- ページビュー：
- 331
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- Ni-GaAsの原子分解能STEM像
- 装置・プロセス：
-
OS-003：200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 40.07MB
- 課題番号：
- JPMXP1223OS0013
- 課題名：
- 化合物半導体デバイスの分析
- 実施機関：
- 大阪大学
- 登録日：
- 2026.2.18
- ページビュー：
- 159
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- 積層配線_Au120_Pt170_Ti30_processflow_
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 27.89KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
- 151
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- 積層配線_Au120_Pt170_Ti30_lithography_
- 装置・プロセス：
-
TU-069：両面アライナ(8")
TU-060：現像ドラフト
TU-211：プラズマクリーナー
TU-306：Tencor 段差計
TU-308：デジタル顕微鏡
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 51.67KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
- 139
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- 積層配線_Au120_Pt170_Ti30_cleaning_liftoff_
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
- ファイル数：
- 11
- ファイルサイズ：
- 113.5KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 129
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- 積層配線_Au220_Pt50_Ti40_processflow_
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 26.52KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
- 130
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- 積層配線_Au220_Pt50_Ti40_lithography_
- 装置・プロセス：
-
TU-069：両面アライナ(8")
TU-060：現像ドラフト
TU-211：プラズマクリーナー
TU-306：Tencor 段差計
TU-308：デジタル顕微鏡
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 51.49KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
- 141
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- 積層配線_Au220_Pt50_Ti40_sputtering_
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-320：4探針測定装置
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 47.66KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
- 132
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- 積層配線_Au220_Pt50_Ti40_cleaning_liftoff_
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
- ファイル数：
- 11
- ファイルサイズ：
- 113.57KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
- 108
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- 積層配線_Au380_Pt80_Ti130_processflow_
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 26.54KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 128
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- 積層配線_Au380_Pt80_Ti130_lithography_
- 装置・プロセス：
-
TU-069：両面アライナ(8")
TU-060：現像ドラフト
TU-211：プラズマクリーナー
TU-306：Tencor 段差計
TU-308：デジタル顕微鏡
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 50.03KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
- 124
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- 積層配線_Au380_Pt80_Ti130_sputtering_
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-320：4探針測定装置
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 47.61KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
- ページビュー：
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- 積層配線_Au380_Pt80_Ti130_cleaning_liftoff_
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
- ファイル数：
- 11
- ファイルサイズ：
- 113.45KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 積層配線_Au620_Pt120_Ti20_processflow_
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 26.54KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
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- 積層配線_Au620_Pt120_Ti20_lithography_
- 装置・プロセス：
-
TU-069：両面アライナ(8")
TU-060：現像ドラフト
TU-211：プラズマクリーナー
TU-306：Tencor 段差計
TU-308：デジタル顕微鏡
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 50KB
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5022
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuPtTi配線形成
- 実施機関：
- 東北大学
- 登録日：
- 2026.2.16
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