課題番号：

JPMXP1223MS8001

実施機関：

自然科学研究機構

要約

我々は神経細胞の異常を解析するための細胞表面に存在する多種多様なイオンチャンネルを解析する装置として、培養型プレーナーパッチクランプ技術を開発し、製品化を目指している。本研究で使用する細胞培養基板では、近接した直径2umおよび直径5umの微細貫通穴の真上に神経細胞を培養し、5um穴から吸引して細胞の密着性を高め、2um穴の裏面から細胞膜を穿孔してパッチクランプ法によってチャンネル電流を計測する。5um穴からの吸引によってパッチクランプ時のシール抵抗を大きく向上させることを目標とする。細胞を培養するシリコン基板に必要な微細構造を形成するために分子研装置開発室のマスクレス露光装置を使用した。
シリコン基板裏面に2um穴および5um穴につながる流路を形成するため、分子研装置開発室の装置を使用してSOI基板裏面をクロムおよびAZレジスト塗布し、マスクレス露光装置でパターニングを行った。別所にてドライエッチング装置で裏面のパターンをSiO2層までエッチングした。その後の工程の微細貫通孔、基板表面の細胞位置固定のための柵構造のパターニングは、非常に精度の高い位置合わせが必要だったため分子研装置開発室のEB露光装置を使用した。