データセット名：グラフェン溶液セルの高効率な作製手法の開発 【HK-406_JPS-9200】
課題名：グラフェン溶液セルの高効率な作製手法の開発
データセット登録者（所属機関）：YAMAZAKI, Tomoya（北海道大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223HK0104
- 実施機関：
- 北海道大学
要約
グラフェンセルの信頼性向上を目的として、原子層堆積法を用いたグラフェン欠陥封止手法の検討を行った。銅薄膜上に成長させたグラフェンに対し、原子層堆積装置を用いてアルミナ、チタニア、ハフニアを成膜し、膜厚計、X線光電子分光装置、透過電子顕微鏡により評価した。その結果、アルミナはグラフェン欠陥部に優先的に不均質成膜することが示唆された一方、少量のチタニアやハフニアでは成膜が確認されなかった。過剰なハフニア成膜では亀裂が生じ、適切な成膜条件の重要性が明らかとなった。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.22
- エンバーゴ解除日：
- 2026.03.31
- データセットID：
- 995d88ca-3ebf-4043-865d-e24472abfb38
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 3
- ファイルサイズ：
- 829.28KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス