データセット名：屈曲/伸縮可能なMEMSデバイスシート(2023年度:MA6)
課題名：屈曲/伸縮可能なMEMSデバイスシート
データセット登録者（所属機関）：IWASE, Eiji （早稲田大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223WS0021
- 実施機関：
- 早稲田大学
要約
伸縮可能な皮膚貼り付け型シート上のMEMSデバイスにおいて、変形に伴う金属配線の断裂を自己修復する機能の研究が行われている。本研究では、金属ナノ粒子の電界トラップによる修復機能を評価するため、人工的な断線部を持つ金属配線を作製した。実験では、厚さ25μmのポリイミドに6μmの銅を積層した基板を用い、紫外線露光装置等で配線幅127μm、断線幅10μmのパターンを描画した。その後、エッチングを行い人工的なギャップを有する試験用配線を作製した。さらに、プラズマアッシャーで配線間に幅100μmの撥油層を形成した。計測の結果、配線幅124μm、断線幅13μmであり、オーバーエッチングの影響が見られた。電圧を印加した際、溶液中のナノ粒子により配線が自己修復することを確認した。ここでは紫外線露光装置の処理条件を示す。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 48
- ダウンロード数：
- 0
データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.23
- エンバーゴ解除日：
- 2026.03.31
- データセットID：
- 69b072eb-224b-4760-9f3c-b03212760767
- データタイル数：
- 2
- ファイル数：
- 8
- ファイルサイズ：
- 79.51KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス