課題番号：

JPMXP1223WS0002

実施機関：

早稲田大学

要約

ダイヤモンド中のSiVセンターは、褪色がなく鋭いスペクトルを持つため、量子通信や生体分子の標識への応用が期待されている。しかし、イオン注入により形成されるSiVセンターは蛍光強度が低いことが課題であった。そこで本研究では、蛍光を補完するため、ダイヤモンド表面へのナノピラー構造の作製を試みた。実験では、SiVセンターの蛍光波長に共鳴する直径250nm、高さ500nmの円柱形状を設計した。具体的なプロセスとして、EB描画、Ti薄膜蒸着、リフトオフ、および酸素プラズマによるドライエッチングを行った。SEM観察により、目標値よりやや大きめではあるがテーパ状のナノピラー配列が形成されたことを確認した。また、分光測定からSiVセンターの形成を確認し、現在は共焦点顕微鏡を用いて光子放出の増強効果を評価中である。ここでは電子ビーム蒸着装置の製膜条件を示す。