データセット名：平面櫛歯型静電アクチュエータ（実習：202308徳島大）_Process flow
課題名：静電アクチュエータ製作の実習
データセット登録者（所属機関）：YAMAGUCHI, Kenzo（徳島大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223TT0021
- 実施機関：
- 豊田工業大学
要約
2023年8月2から4日に平面櫛歯型静電アクチュエータ試作の実習を行った。
本実習では、SOI（Silicon On Insulator）基板の表面でマスクアライナ装置（TT-006、ズースマイクロテック MA6）を用いたフォトリソ、Deep Reactive Ion Etching装置（TT-011、住友精密工業 Multiplex-ASE-SRE-SE）を用いたSi深掘りエッチングを行うSOI-MEMSプロセスで製作した。
なお、元の静電アクチュエータ開発のデータは課題番号JPMXP1223TT0015にて示す。
本データセットは、実習時のプロセスフローを示す。
> 関連データセット：
> 平面櫛歯型静電アクチュエータ（実習：202308徳島大）_Lithography
> 平面櫛歯型静電アクチュエータ（実習：202308徳島大）_DRIE
> JPMXP1223TT0015：平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）製作プロセスフロー
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.27
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.29
- データセットID：
- a03a0edf-837b-4fc3-978f-994d0239f980
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 4
- ファイルサイズ：
- 597.03KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス
装置・プロセス
プロセスフロー