データセット名：平面櫛歯型静電アクチュエータ（実習：202308徳島大）_Lithography
課題名：静電アクチュエータ製作の実習
データセット登録者（所属機関）：YAMAGUCHI, Kenzo（徳島大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223TT0021
- 実施機関：
- 豊田工業大学
要約
2023年8月2から4日に、平面櫛歯型静電アクチュエータ試作の実習を行った。
本実習では、SOI（Silicon On Insulator）基板の表面でマスクアライナ装置（TT-006、ズースマイクロテック MA6）を用いたフォトリソ、Deep Reactive Ion Etching装置（TT-011、住友精密工業 Multiplex-ASE-SRE-SE）を用いたSi深掘りエッチングを行うSOI-MEMSプロセスで製作した。
なお、元の静電アクチュエータ開発のデータは課題番号JPMXP1223TT0015にて示す。
本データセットは、実習時の静電アクチュエータのレジストパターンを形成したLithography工程を示す。
> 関連データセット：
> 平面櫛歯型静電アクチュエータ（実習：202308徳島大）_Process flow
> JPMXP1223TT0015：平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）製作プロセスフロー
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
- ページビュー：
- 48
- ダウンロード数：
- 0
データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.27
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.29
- データセットID：
- 6a4d9913-b6dc-424b-b725-3abb0df2d2be
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 5
- ファイルサイズ：
- 962.53KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス