データセット名：酸化物薄膜の化学結合状態分析(硬X線光電子分光分析装置_BIC-Fitting)_FY2023
課題名：酸化物薄膜の化学結合状態分析
データセット登録者（所属機関）：SUKEGAWA, Hiroaki（NIMS）
- 課題番号：
- JPMXP1223NM5512
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
要約
XPSによる酸化物単結晶薄膜の化学結合状態の分析
単結晶基板上に作製されたTi系酸化物のXPS測定を行うため操作方法の技術指導を受け、テスト試料にて計測が可能であるかを確認を開始した。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 57
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.23
- エンバーゴ解除日：
- 2026.03.31
- データセットID：
- c5f9dad6-6833-4518-a763-3eafb67dcaa6
- データタイル数：
- 10
- ファイル数：
- 86
- ファイルサイズ：
- 21.62MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス