データセット名：中赤外イメージ伝送用光ファイバの評価パターン付き窓材_Lithography
課題名：中赤外イメージ伝送用光ファイバの評価
データセット登録者（所属機関）：SUZUKI, Takenobu（豊田工業大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223TT0030
- 実施機関：
- 豊田工業大学
要約
研究で製作した中赤外イメージ伝送用光ファイバの空間分解能評価のために、ZnSe光学窓上にCr膜微細スリットパターン（スリット幅5 - 35μm）を形成した分解能評価パターン付き窓材を製作した。
ZnSe窓材は、Siやガラス材と比べて傷が入り易いことに注意すると共に、窓材まで削る恐れのあるエッチングではなくリフトオフプロセスでパターンを形成した。マスクアライナ装置（TT-006、ズースマイクロテック MA6）を用いてパターンを転写し、スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置（TT-001、芝浦エレテック CFS-4ES）を用いて狙い膜厚120nmでCrを成膜した。最後に、洗浄ドラフト（TT-008）でリフトオフおよび洗浄を行い、スリットパターンを製作した。
本データセットは、フォトリソを使ってZnSe基板上へスリットパターンを形成したLithography工程を示す。
> 関連データセット：
>中赤外イメージ伝送用光ファイバの評価パターン付き窓材_Process flow
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
- 48
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.27
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.29
- データセットID：
- 17245811-d336-46ba-a5c5-4dcd78ea9d4c
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 6
- ファイルサイズ：
- 833.94KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス
成果発表・成果利用
- 論文等1：
-
Asuka Nakatani, High-resolution mid-infrared image transport by a chalcogenide multi-core fiber, Japanese Journal of Applied Physics, 63, 102001(2024).
DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad82c3