課題番号：

JPMXP1226NM2102

実施機関：

物質・材料研究機構

要約

電子エネルギー損失分光法（EELS）は、エネルギー分散型Ｘ線分光法（EDS）では検出できない、水素（H）、ヘリウム（He）などの軽元素の検出が可能である。
本データは、EELSを用いて、Heを測定した例である。

試料には、直線型プラズマ装置（PSI-2 Jülich, Germany）を用いてHeプラズマ照射を行った、タングステン合金（W）を使用した。
　【プラズマ照射条件】
　　・Incident helium energy : 80 eV
　　・Flux : 1.5×10e22/m2/s
　　・Fluence : 1×10e26/m2
　　・Sample Temperature : 500℃

断面薄膜試料作製には、GaイオンビームのFIB-SEM（Hitachi NB5000）を用いて、最終仕上げは加速電圧20kVで行った。
STEM-EELS分析には、球面収差補正透過型電子顕微鏡（JEOL JEM-ARM200F Cold-FEG）に搭載されたEELS（Gatan GIF Quantum ER）を用いて、加速電圧200kV、STEM収束半角22.9mrad、EELS収集半角44.6mradで測定を行った。

STEM観察によると、試料最表面から約25nmの深さまで、直径数nm～20nm程度のバブルが形成されていたことから、バブルの中心付近と、試料最表面から深さ約100nmの位置で、それぞれEELS測定を行った。
その結果、バブルの中心付近から取得したスペクトルには、21-23eVにかけて、He由来のピークを確認することができた。

試料提供：核融合科学研究所（NIFS）坂本隆一先生
薄膜試料作製とTEM観察：物質・材料研究機構（NIMS）永田大介