データセット名：花粉細胞の個別かつ配列用MEMSノズル_DRIE
課題名：微細加工技術による立体サンプル形成および高度デバイス化
データセット登録者（所属機関）：SASAKI, Minoru （豊田工業大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223TT0003
- 実施機関：
- 豊田工業大学
要約
シリコン基板を両側から垂直エッチングして作る貫通構造を一種のマスクに応用する研究を進めた。加工寸法が数10μm以上の貫通穴アレイ（12x12配置）を花粉を吸着するノズルとして利用する。貫通穴内部には段差部があり、花粉が吸い込まれると段差部に引っ掛かってトラップされる。本構造により、細胞を個別にかつ規則的に配置可能となる。
本構造は、シリコンウェハをマスクアライナ装置（TT-006、ズースマイクロテック MA6）を用いたフォトリソ、及びDeep Reactive Ion Etching装置（TT-011、住友精密工業 Multiplex-ASE-SRE-SE）を用いたSi深掘りエッチングを表裏の順番で両面に行い製作した。
本データセットは、シリコンウェハの両面からノズル製作のSi深掘りエッチングを行ったDRIE工程を示す。
> 関連データセット：
>花粉細胞の個別かつ配列用MEMSノズル_Process flow
> JPMXP1222TT0002：微細貫通穴構造を持つ細胞トラップ用MEMSノズルの製作
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.27
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.29
- データセットID：
- fad93b83-e88d-4dcc-adec-89ff2b244c2c
- データタイル数：
- 2
- ファイル数：
- 9
- ファイルサイズ：
- 858.49KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス