データセット名：ECRスパッタ法を用いた薄膜作製および光電子分光測定技術の習得_PYS_Pt AlN
課題名：ECRスパッタ法を用いた薄膜作製および光電子分光測定技術の習得
データセット登録者（所属機関）：MURAKAMI, Tatsuya（国立大学法人 北陸先端科学技術大学院大学）
- 課題番号：
- JPMXP1225JI2006
- 実施機関：
- 北陸先端科学技術大学院大学
要約
本課題では、次世代デバイスへの応用が期待されるPtおよびAlN薄膜の表面電子状態を解明するため、各単相膜の仕事関数とイオン化ポテンシャルの調査を行った。本データセットには、2025年度・学生研修プログラムの実習で取得した、PtおよびAlN単相膜を対象とする大気中光電子分光法の測定結果を収録している。これらのデータは各材料の構造的・光学的特性を評価するために取得された。成膜条件や表面処理に伴うスペクトルの変化から、表面汚染や結晶性がエネルギー準位に与える影響を明らかにできる。本データは、薄膜界面のバンドオフセット制御やデバイス設計に有用な知見を提供するものである。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 62
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.04.28
- エンバーゴ解除日：
- 2026.04.20
- データセットID：
- 8e09b783-20b1-4976-af4d-f4ac9c35b64b
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 15
- ファイルサイズ：
- 4.22MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス