データセット名：強誘電体光学材料のナノ加工（条件出し）_Ion milling
課題名：強誘電体光学材料のナノ加工
データセット登録者（所属機関）：MATSUI, Takayuki（株式会社豊田中央研究所）
- 課題番号：
- JPMXP1223TT0025
- 実施機関：
- 豊田工業大学
要約
難加工性誘電体基板のナノ加工に関する試作を行った。最小線幅60nm程度のラインや、多重露光による二段階パターンの形成を試した。
本データセットは、イオンミリング装置（TT-012、日立ハイテクフィールディング IM-4-1）を用いてSiウェハ上のLiNの加工条件出しを行ったIon milling工程を示す。
> 関連データセット：
> 強誘電体光学材料のナノ加工（サンプル1）_Process flow
> 強誘電体光学材料のナノ加工（サンプル2）_Process flow
> 強誘電体光学材料のナノ加工（サンプル3）_Process flow
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
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データインデックス
- 登録日：
- 2026.05.07
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.29
- データセットID：
- de3395ce-e04e-4a52-8440-7b00fbaa7398
- データタイル数：
- 2
- ファイル数：
- 10
- ファイルサイズ：
- 1.87MB
- ライセンス：
- ARIMライセンス