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マスクレス露光装置 (Maskless Lithography System)

設備ID
MS-101
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
マスクレス露光装置
メーカー名
ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions)
型番
DL-1000
仕様・特徴
【付帯設備】
精密温度調整機能付クリーンブース
マスクアライナー(ミカサ社製MA-10)
スピンコーター(ミカサ社製MS-A100)
設備状況
稼働中

3次元光学プロファイラーシステム  (3D Optical Profilers)

設備ID
MS-102
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
3次元光学プロファイラーシステム
メーカー名
Zygo (Zygo)
型番
Nexview
仕様・特徴
3次元光学プロファイラーシステム
設備状況
稼働中

電子ビーム描画装置 (Electron Beam Lithgraphy System)

設備ID
MS-103
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
電子ビーム描画装置
メーカー名
エリオニクス (Elionix Inc.)
型番
ELS-G100
仕様・特徴
最大加速電圧100kV, 最小ビーム径1.8nm, 最小描画線幅6nm
設備状況
稼働中

低真空分析走査電子顕微鏡 (Low vacuum analysis scanning electron microscope)

設備ID
MS-202
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
低真空分析走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
SU6600
仕様・特徴
ショットキー形電子銃
空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV)
低真空機能(10~300Pa)
EDS(EDX)(BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6)
設備状況
稼働中

電界放出形透過型電子顕微鏡 (Field emission transmission electron microscope)

設備ID
MS-203
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
電界放出形透過型電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F
仕様・特徴
電子銃 フィールドエミッション
加速電圧 200kV
分解能 0.23nm(粒子像)、0.1nm(格子像)
倍率 X2,000 ~ X1,500,000
試料 3mmφ以内
設備状況
稼働中

走査プローブ顕微鏡 (Scanning probe microscope)

設備ID
MS-204
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
走査プローブ顕微鏡
メーカー名
Bruker (Bruker)
型番
Dimension XR Icon NanoEDimension XR Icon NanoEC
仕様・特徴
形状測定、機械特性測定、電気特性測定、電気化学
大気非暴露ボックス、環境制御ユニット(-35℃~250℃、湿度5%~50%)
設備状況
稼働中

単結晶X線回折(CCD-1) (Single crystal X-ray diffraction (CCD-1))

設備ID
MS-205
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
単結晶X線回折(CCD-1)
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
MERCURY CCD-1・R-AXIS IV
仕様・特徴
X線源 Mo、50kV・100mA(5kW)
検出器 MERCURY CCD
温度可変 100~400K
設備状況
稼働中

単結晶X線回折(CCD-2) (Single crystal X-ray diffraction (CCD-2))

設備ID
MS-206
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
単結晶X線回折(CCD-2)
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
MERCURY CCD-2
仕様・特徴
X線源 Mo、50kV・100mA(5kW)
検出器 MERCURY CCD
温度可変 100~400K
設備状況
稼働中

単結晶X線回折(微小結晶用) (Single crystal X-ray diffraction (for small crystals))

設備ID
MS-207
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
単結晶X線回折(微小結晶用)
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
HyPix-AFC
仕様・特徴
X線源 Mo、50kV・16mA(0.8kW)
検出器 HyPix-6000HE
温度可変 100K~RT、24K~100K
微小結晶対応
設備状況
稼働中

結晶スポンジ法を用いた分子構造解析 (Molecular structure analysis using the crystalline sponge method)

設備ID
MS-208
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
結晶スポンジ法を用いた分子構造解析
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
XtaLAB P200
仕様・特徴
XtaLAB P200
X線源 回転対陰極型、Mo/Cuデュアル線源 Mo: 50 kV・24 mA (1.2 kW) Cu: 40 kV・30 mA (1.2 kW)
検出器 PILATUS 200K
温度可変 100 K〜室温 
設備状況
稼働中
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