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フルオート電子ビーム蒸着装置用SEM (Full automatic electron beam evaporation - Scannning Electron Microscope)
- 設備ID
- OS-130
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- FlexSEM1000Ⅱ
- 仕様・特徴
- 【特徴】
本装置は、「クラス最高分可能4nm」と「卓上顕微鏡のような使いやすさ」を両立した、エネルギー分散型X線分析装置 付き簡易型SEM
【仕様】
1.観察倍率： 10 倍～30 万倍
2.加速電圧： 0.3～120kV (20 段階)
3.低真空圧力設定範囲： 6～100Pa (10 段階)
4.試料ステージ可動域：
1) X 軸 0～50mm
2) Y 軸 0～40mm
3) Z 軸 5～30mm
4) T（傾斜） -15～＋90°
5) R（回転） 0～360°
6) ユーセントリックな回転可能
5.最大試料寸法： 80mmφ
6.二次電子検出器： 高真空環境下で使用可能な二次電子専用検出器、および低真空で使用できる検出器（UVD）を搭載
7.反射電子検出器：5 分割以上の検出器構造
8.観察方法：事前に装置付属のカメラで取り込んだ試料ステージの画像情報をもとに、観察可能
9.モニタリング：フィラメントの状態をモニタリング可能
10.EDS：定量補正計算方法にXPP法を使用
- 設備状況
- 稼働中