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無機ドラフトチャンバー(ダルトン) (Wet bench(DALTON DF-1))
- 設備ID
- TH-101
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- ダルトン (DALTON)
- 型番
- DF-1, ECD-3000BEW
- 仕様・特徴
- RCA洗浄、DHF、BHF、混酸等の調合、昇温、ウェハ処理、DIW水洗、スピン乾燥またはN2ブロー乾燥が可能
- 設備状況
- 稼働中
無機洗浄バッチ層(クレセン) (Wet bench(Clesen))
- 設備ID
- TH-102
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- クレセン (Clesen)
- 型番
- CWC4+4M
- 仕様・特徴
- 4インチウェハ1ケース(25枚)単位でのRCA洗浄およびDHF処理、DIW水洗が可能
- 設備状況
- 稼働中
有機ドラフトチャンバー(ダルトン) (Wet bench(DALTON ECS-1))
- 設備ID
- TH-103
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- ダルトン (DALTON)
- 型番
- ECS-1
- 仕様・特徴
- イエロールーム内に設置
リソグラフィ後の現像、リンス処理が可能な有機薬品用ドラフタ
DIW使用可能
N2ブロー可能
- 設備状況
- 稼働中
マスク加工装置(KES-200NP2) (Mask Fabrication System)
- 設備ID
- TH-151
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- カナメックス (Kanamex)
- 型番
- KES-200NP2
- 仕様・特徴
- マスク乾板製作時のクロムエッチングおよび硫酸過水によるレジスト剥離装置、イエロールーム内に設置。
対応乾板サイズ：5インチ角
- 設備状況
- 稼働中
スピン乾燥機 (Spin Dryer)
- 設備ID
- TH-152
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- セミツール (Semitool)
- 型番
- SRD270(改)
- 仕様・特徴
- 集積回路製造のメタルプロセス前までの、DIW後のウェーハ乾燥に用いることができます。
対応ウェーハサイズ：φ2インチ、φ4インチ
- 設備状況
- 稼働中
超臨界洗浄・乾燥装置(SCRD4) (Supercritical Cleaning and Drying System)
- 設備ID
- TH-153
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- レグザム (Rexxam)
- 型番
- SCRD4
- 仕様・特徴
- MEMS可動構造形成時の水洗後乾燥をCO2超臨界乾燥にて行え、微小可動構造の破損やスティクションを防止。φ4インチウェハサイズまで対応
- 設備状況
- 稼働中
Alスパッタ装置(L-420S) (Metal Deposition System(L-420S))
- 設備ID
- TH-201
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- キヤノンアネルバ (Canon Anelva)
- 型番
- L-420S-FHL
- 仕様・特徴
- 方式：DCスパッタ、フェイスアップ
対応試料：φ4インチ3枚またはφ2インチ6枚まで
材料：純Al、Al-1%Si
- 設備状況
- 稼働中
RF/DCメタルスパッタ装置(E-400S) (Metal Deposition System(E-400S))
- 設備ID
- TH-202
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- キヤノンアネルバ (Canon Anelva)
- 型番
- E-400S
- 仕様・特徴
- 方式：DC/RFスパッタ、フェイスダウン
対応試料：φ4インチ3枚またはチップトレイ
材料：純Al、Al-1%Si、Ti、W、TiN(反応性スパッタにて)
- 設備状況
- 稼働中
汎用メタルスパッタ装置(E-401S) (Metal Deposition System (E-401S))
- 設備ID
- TH-203
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- キヤノンアネルバ (Canon Anelva)
- 型番
- E-401S
- 仕様・特徴
- 方式：RF、フェイスアップ
対応試料：φ4インチ3枚
材料：Al、Al-1%Si、Ti、TiN(反応性スパッタにて)、その他金属持ち込み可能
- 設備状況
- 稼働中
汎用メタルスパッタ装置(Noyes) (Metal Deposition System (Noyes))
- 設備ID
- TH-204
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- ノイエス (Noyes)
- 型番
- RFS-400
- 仕様・特徴
- 方式：RFガン、フェイスダウン
ターゲットサイズ：φ2インチ
対応試料：φ4インチ以下
材料：Ti,Pt,Au,Ir その他金属持ち込み可能
基板回転機構あり
ターゲットサイズが小さいため、貴金属材料の成膜に向く
- 設備状況
- 稼働中