UVオゾンクリーナー・キュア装置
最終更新日：2022年6月9日
| 設備ID | KT-230 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > その他 |
| 設備名称 | UVオゾンクリーナー・キュア装置 (UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | サムコ(株) (Samco Inc.) |
| 型番 | UV-300HKU |
| キーワード | ウェハ表面クリーニング |
| 仕様・特徴 | サムコ株式会社 UV-300HKU UVランプと高濃度オゾナイザを備える Φ8インチウェハ対応 O2、N2ガス ステージ加熱：室温～300℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=KT-230 |
