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産業技術総合研究所に設置されている産学官に完全に公開されたユーザー共用施設NPF（ナノプロセシングファシリティー）において，ナノエレクトロニクス，ナノマテリアル，N&MEMS，フォトニクス，バイオ，環境エネルギー等の異分野融合推進の場として，超微細加工，実装，計測・評価，デバイス試作を可能とする一連の先端機器を産学官研究者に公開し，専門家による技術相談，装置利用，技術支援，成果創出支援サービスを提供するとともに，若手研究者や高度技術者の育成を行っています．NPFには，任意サイズから3～8インチ基板までの各種材料の微細加工を行う装置群が整備されており，高度支援技術者によって装置利用トレーニングをはじめとする手厚いサービスが提供され，特に，充実した人材育成カリキュラムがあることがその研究開発支援の特徴となっています．さらに，ウエハサイズのスケールアップと集積実証を可能とする研究支援サービスもあります．

2021/10/14	マテリアル先端リサーチインフラ オンラインセミナー「原子層堆積技術（ALD）による成膜技術」（12月22日）開催のお知らせ
2021/01/20	電子ビームリソグラフィセミナーⅥ（オンライン）～電子ビーム露光とレーザービーム描画によるグレースケール露光～（2月24日）開催のお知らせ
2020/01/17	【開催中止のお知らせ】NPF特別セミナー～量子コンピュータの実現に向けて～（3月19日）
2019/12/11	薄膜技術実践セミナーＶ（1月22日）開催のお知らせ
2019/10/02	電子ビームリソグラフィセミナーV（11月27日）開催のお知らせ
2019/06/06	光・ナノ計測実践セミナーIV（7月29日）開催のお知らせ
2019/02/07	NPFセミナー　省エネルギー社会に貢献するGaN材料の将来とそのキープロセス技術（3月14日）開催のお知らせ
2018/10/26	薄膜実践セミナーIV（11月30日）開催のお知らせ
2018/09/12	電子ビームリソグラフィ実践セミナーⅣ（10月26日）開催のお知らせ
2018/05/30	光・ナノ計測実践セミナーIII（6月19日）開催のお知らせ

• F-AT-067:i 線露光装置
• F-AT-068:電子ビーム描画装置（CRESTEC）
• F-AT-070:反応性イオンエッチング装置（RIE）
• F-AT-071:集束イオンビーム加工観察装置（FIB）
• F-AT-072:アルゴンミリング装置
• F-AT-073:スパッタ成膜装置（芝浦）
• F-AT-075:電子ビーム真空蒸着装置
• F-AT-077:多目的高速加熱ランプ炉(RTA)
• F-AT-078:ワイヤーボンダー
• F-AT-079:ダイシングソー
• F-AT-080:X線回折装置（XRD）
• F-AT-081:微小部蛍光X線分析装置（XRF）
• F-AT-082:ナノサーチ顕微鏡 SPM3〔SFT-3500〕
• F-AT-083:走査プローブ顕微鏡 SPM2〔SPM-9600/9700〕
• F-AT-084:顕微レーザーラマン分光装置（RAMAN）
• F-AT-085:電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕
• F-AT-086:分光エリプソメータ
• F-AT-087:デバイスパラメータ評価装置
• F-AT-089:多目的エッチング装置（ICP-RIE）
• F-AT-090:薄膜エックス線回折装置〔ATX-G, RIGAKU〕
• F-AT-091:マスクレス露光装置
• F-AT-092:プラズマアッシャー
• F-AT-093:UVオゾンクリーナー
• F-AT-094:抵抗加熱型真空蒸着装置
• F-AT-095:プラズマCVD薄膜堆積装置（TEOS/SiO2）
• F-AT-096:ナノプローバー〔N-6000SS〕
• F-AT-097:原子層堆積装置〔FlexAL〕
• F-AT-098:短波長レーザー顕微鏡〔OLS-4100〕
• F-AT-099:磁気特性測定システム（MPMS）
• F-AT-100:二次イオン質量分析装置（D-SIMS）
• F-AT-101:エックス線光電子分光分析(XPS)装置
• F-AT-102:触針式段差計
• F-AT-103:スピンコ―タ―
• F-AT-104:コンタクトマスクアライナー〔MJB4〕
• F-AT-105:スクライバー
• F-AT-107:ウェハー酸化炉
• F-AT-108:スターラーウォーターバス〔SWB-10L-1〕
• F-AT-109:スマートウォーターバス〔TB-1N〕
• F-AT-110:デバイス容量評価装置
• F-AT-111:反転露光用全面UV照射装置
• F-AT-113:メッキ装置
• F-AT-114:ラッピングマシン(CMP)
• F-AT-115:レーザー顕微鏡〔VK-8510〕
• F-AT-116:研磨機
• F-AT-117:顕微フーリエ変換赤外分光装置 (FT-IR)
• F-AT-118:全焦点顕微鏡
• F-AT-120:走査プローブ顕微鏡 SPM1〔NanoscopeIV/Dimension 3100〕
• F-AT-121:短波長レーザー顕微鏡〔VK-9700〕
• F-AT-122:低真空走査電子顕微鏡
• F-AT-125:オゾンクリーナー（SIMS付属）
• F-AT-126:プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
• F-AT-127:デジタルマイクロスコープ
• F-AT-128:クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
• F-AT-130:四探針プローブ抵抗測定装置
• F-AT-131:化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)
• F-AT-132:赤外線ランプ拡散炉(RTA)
• F-AT-133:物理特性測定装置(PPMS)
• F-AT-134:電界放出形走査電子顕微鏡 [S4500_FE-SEM]
• F-AT-135:高速電子ビーム描画装置 (エリオニクス)
• F-AT-136:解析用PC (CAD及び近接効果補正用)
• F-AT-137:イオンコーター(FIB付帯)
• F-AT-138:マニュアルウェハープローバー(2F)
• F-AT-140:RF・DCスパッタ堆積装置(芝浦)
• F-AT-141:単波長エリプソメータ
• F-AT-142:高圧ジェットリフトオフ装置
• F-AT-143:自動塗布現像装置
• F-AT-144:原子層堆積装置〔AD-100LP〕
• F-AT-145:ECRスパッタ成膜・ミリング装置

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