シリコンナノ加工及びデバイス技術に関する支援 - ナノテクノロジープラットフォーム

シリコンナノ加工及びデバイス技術に関する支援（広島大学）

クラス10のクリーンルームと電子線描画によるナノデバイス試作ラインを用いた高度な微細シリコンデバイス試作支援．10年の支援実績と多数の受賞成果．物理分野の博士研究員を再教育し半導体分野に多数輩出．

【電話，E-mailでのお問合せ】
082-424-6265
nanotech(at)hiroshima-u.ac.jp
(at)を@に書き換えてください．

http://www.nanofab.hiroshima-u.ac.jp/

事業の紹介

広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所のスーパークリーンルームに設置された，電子線描画装置を始めとするデバイス試作ラインを用いて，共同研究，装置利用，技術代行および技術相談を実施します．2インチシリコンウェハを用いて，30nmの超微細加工が可能です．シリコン以外の材料に対しても可能な限り対応します．N&MEMS技術，バイオ関連デバイスに関しても，本学先端物質科学研究科などと連携して異分野融合を推進し高度で多様な支援を提供します．また，学内社会連携推進機構および社会人教育プログラムを通じて産学連携を推進し利用者の拡大に努めています．
これまでの支援成果例として，（１）プリンタ用レーザヘッドの低コスト製造法（エピフィルムボンディング法）の実用化（2007年内閣総理大臣表彰「ものづくり大賞」優秀賞受賞）や（２）シランプラズマ中のダスト微粒子抑制法（2006年日本エアロゾル学会論文賞受賞）などがあります．


超高精度電子線描画装置（ELS-G100, 6nm）	Si用ICP（誘導結合プラズマ）エッチング装置（ユーテック）


RBS測定装置（加速電圧2.5MV H⁺，He⁺，N⁺，e^-等）	世界初，異種材料間の薄膜接合技術を実用レベルで量産化に成功（沖デジタルイメージングに対する支援）

ニュース

2018/10/15	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム「第３回広島大学・山口大学・香川大学・FAIS合同シンポジウム」（12月4日）開催のお知らせ
2018/02/06	広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所「国際ナノデバイステクノロジーワークショップ 2018」（3月2日）開催のお知らせ
2017/01/23	微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」（3月8日）開催のお知らせ
2016/10/12	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業　微細加工プラットフォーム「第2回広島大学・山口大学・香川大学・FAIS合同シンポジウム」（11月22日）開催のお知らせ
2016/09/09	微細加工プラットフォーム「センサー・MEMS実践セミナー」（9月30日）開催のお知らせ
2015/11/18	バイオ・MEMS実践セミナー（12月11日）開催のお知らせ
2015/02/12	平成26年度中国地域ナノテクノロジープラットフォーム事業説明会（2月27日）開催のお知らせ
2013/10/23	第一回広島大学・山口大学・香川大学・FAISの合同シンポジウム（11月20日）開催のお知らせ

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本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31

炭化ケイ素基板への高温リンイオン注入と短時間高温活性化アニールの研究

（広島大学大学院先端物質科学研究科）

2015/11/06		石英基板上への非晶質シリコン薄膜堆積（奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科）
2015/11/06		ラザフォード後方散乱法を用いた低温成長In_xGa_1-xAsの結晶構造の作製及び解析（広島大学大学院先端物質科学研究科）

2014/10/29

DNAをチャネルとするSi半導体MOSFET　～DNAのメモリ機能を発見～

（兵庫県立大学）

2013/10/17		表面プラズモン共鳴を用いたノロウイルスセンサの開発（北海道大学大学院工学研究院）
2013/06/13		超臨界二酸化炭素を利用したポリイミド微細加工技術の開発(XPS) （広島大学大学院工学研究科）

2012/09/20