【電話，E-mailでのお問合せ】
 082-424-6265
  nanotech(at)hiroshima-u.ac.jp
(at)を@に書き換えてください．

広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所のスーパークリーンルームに設置された，電子線描画装置を始めとするデバイス試作ラインを用いて，共同研究，装置利用，技術代行および技術相談を実施します．2インチシリコンウェハを用いて，30nmの超微細加工が可能です．シリコン以外の材料に対しても可能な限り対応します．N&MEMS技術，バイオ関連デバイスに関しても，本学先端物質科学研究科などと連携して異分野融合を推進し高度で多様な支援を提供します．また，学内社会連携推進機構および社会人教育プログラムを通じて産学連携を推進し利用者の拡大に努めています．
これまでの支援成果例として，（１）プリンタ用レーザヘッドの低コスト製造法（エピフィルムボンディング法）の実用化（2007年内閣総理大臣表彰「ものづくり大賞」優秀賞受賞）や（２）シランプラズマ中のダスト微粒子抑制法（2006年日本エアロゾル学会論文賞受賞）などがあります．

2018/10/15	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム「第３回 広島大学・山口大学・香川大学・FAIS合同シンポジウム」（12月4日）開催のお知らせ
2018/02/06	広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所「国際ナノデバイステクノロジー ワークショップ 2018」（3月2日）開催のお知らせ
2017/01/23	微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」（3月8日）開催のお知らせ
2016/10/12	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業　微細加工プラットフォーム「第2回広島大学・山口大学・香川大学・FAIS合同シンポジウム」（11月22日）開催のお知らせ
2016/09/09	微細加工プラットフォーム「センサー・MEMS実践セミナー」（9月30日）開催のお知らせ
2015/11/18	バイオ・MEMS実践セミナー（12月11日）開催のお知らせ
2015/02/12	平成26年度中国地域ナノテクノロジープラットフォーム事業説明会（2月27日）開催のお知らせ
2013/10/23	第一回広島大学・山口大学・香川大学・FAISの合同シンポジウム（11月20日）開催のお知らせ

• F-RO-331:マスクレス露光装置
• F-RO-332:ラザフォード後方散乱 （RBS）測定装置
• F-RO-333:酸化炉
• F-RO-334:LPCVD装置（poly-Si用）
• F-RO-335:LPCVD装置（SiN用）
• F-RO-336:LPCVD装置（SiO2用）
• F-RO-337:常圧SiO2CVD装置
• F-RO-339:スパッタ装置（Al用）
• F-RO-340:エッチング装置（RIE SiO2用）
• F-RO-341:エッチング装置（RIE Al用）
• F-RO-342:エッチング装置（Si 深掘用）
• F-RO-343:燐拡散炉
• F-RO-344:イオン注入装置
• F-RO-345:走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）
• F-RO-347:超高精度電子ビーム描画装置
• F-RO-348:スパッタ装置(汎用)
• F-RO-349:スパッタ装置(Cu用)
• F-RO-350:インプラ後アニール炉
• F-RO-351:二次イオン質量分析機(SIMS)
• F-RO-352:原子間力顕微鏡(AFM)
• F-RO-353:薄膜構造評価X線回析装置
• F-RO-354:蛍光X線分析装置
• F-RO-356:デバイス測定装置
• F-RO-361:エッチング装置(ICP Al用)
• F-RO-362:エッチング装置(CDE SiN用)
• F-RO-363:エッチング装置(レジスト Ashing用)
• F-RO-364:エッチング装置（ICP Poly-Siゲート用）
• F-RO-365:エッチング装置(汎用)
• F-RO-366:ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉
• F-RO-367:干渉式膜厚計
• F-RO-368:分光エリプソメーター
• F-RO-369:表面段差計
• F-RO-370:X線光電子分光装置(XPS)
• F-RO-371:汎用熱処理装置
• F-RO-372:プラズマCVD(PECVD)装置
• F-RO-373:PDMS加工装置
• F-RO-374:光学スペクトル測定装置
• F-RO-375:ダイサー
• F-RO-376:真空蒸着装置
• F-RO-377:レイアウト設計ツール

最新の成果事例

その他の成果事例