北海道大学 微細加工プラットフォーム実施機関  (北海道大学)

本実施機関では光・電子・スピンを制御する新規ナノデバイス創製,バイオテクノロジーや新規マテリアル開発といったナノテクノロジーにより先端研究を加速することが可能な分野への微細加工支援を行います.高精度加工装置群と独自の加工技術に研究者の経験と熱意を結びつけ,最先端の研究開発支援・技術相談サービスを提供します.

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事業の紹介

本実施機関では,学内2カ所のクリーンルームを開放して幅広いユーザーへの研究開発支援を行います.
支援装置としては,加速電圧130kVの超高精度電子線描画装置を含む5台のEB描画装置,レーザー直接描画装置,FIB加工装置,両面マスクアライナーといった微細パターン形成装置群,金属,磁性体,酸化物までを高精度に成膜可能なスパッタ・蒸着装置群,加工素材と精度に合わせて選択できるドライエッチング・イオンミリング装置,作製したデバイスを評価するためのFE-SEMや太陽光シミュレーター等を整備しています.
これらの装置群に加え,多くの研究者がもつ最先端の加工ノウハウと技術職員が積み上げたデータを有効に活用し,ユーザーの研究,技術・製品開発が加速されるようなデバイス創出への積極的なサポートを推進します.

クラス100,クラス10000のクリーンルームシングルナノメートルで制御された
ギャップを持つ金ナノダイマー構造
  
超高精度電子ビーム描画装置(125kV)原子層堆積装置

ニュース

2021/10/14マテリアル先端リサーチインフラ オンラインセミナー「原子層堆積技術(ALD)による成膜技術」(12月22日)開催のお知らせ
2021/05/11北海道大学 微細加工/微細構造解析プラットフォーム 2021年度 第1回施設利用説明会(5月18日)開催のお知らせ
2018/02/13X線回折法による薄膜評価セミナー(2月20日)開催のお知らせ
2017/12/18電子ビームリソグラフィ実践セミナーIII(2月15日)開催のお知らせ
2017/01/23微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」(3月8日)開催のお知らせ
2016/09/09微細加工プラットフォーム「センサー・MEMS実践セミナー」(9月30日)開催のお知らせ
2016/01/19EB描画実践セミナー(2月19日)開催のお知らせ
2015/11/18バイオ・MEMS実践セミナー(12月11日)開催のお知らせ
2014/10/01文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム(NPJ)主催 「平成26年度 第1回 地域セミナー in北海道 「食・農・医に役立つナノテク!」 ~観る/創る/測る 全国のナノテク先端機器と人材があなたの手に!~」 開催(10月31日)のお知らせ
2014/06/11ナノテクノロジープラットフォーム事業説明会及び見学会 (平成26年度第1回光テクノロジー応用懇談会) 開催(7月14日)のお知らせ

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2020/9/3pdf偏光プラズモン場を用いたキラル結晶化の制御
(台湾国立交通大学,奈良先端大)
2020/09/04pdf偏光プラズモン場を用いたキラル結晶化の制御
(台湾国立交通大学,奈良先端大)
2019/06/28pdf巨大誘電率を実現するAl2O3/TiO2 積層膜の検討
a パナソニック株式会社,b 大阪大学 辻田 卓司a,b,森田 幸弘a,b,西谷 幹彦b,北川 雅俊b 北海道大学 大西 広,中野 和佳子,平井 直美,松尾 保孝)
2015/07/02pdfパルス状コヒーレントX 線溶液散乱法のための溶液試料ホルダの開発
(北海道⼤学電⼦科学研究所 ⽊村 隆志,(公財)⾼輝度光科学研究センター 城地 保昌,台湾中央 研究院物理研究所 別所 義隆,北海道⼤学電⼦科学研究所 ⻄野 吉則 北海道⼤学 松尾 保孝,⼤⻄ 広)
2013/07/10pdfバイオミメティックシリコンナノ構造体の作製
(東北大学多元物質科学研究所)

その他の成果事例

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