シリコン・樹脂などの様々な材料を用いた任意の不定形から4インチ基板までの微細加工を行う前・後工程の一連の製造装置群を揃えています．また，装置操作を行う専門技術補助員を複数名配し，さらに，大学組織内の教員を含む研究者群により新たな加工技術と先端デバイス開発・評価を様々な形態で支援する能力を有しています．四国地方では唯一の装置群は，その使いやすさから四国地方を中心とした多数機関の利用実績があります．設備利用，共同研究，技術代行，技術相談など，ユーザーの希望に対応できる体制を構築し，共用設備の運用・研究支援を行っています．

• F-GA-317:電子線描画装置
• F-GA-319:マスクアライナ
• F-GA-321:真空蒸着装置
• F-GA-323:イオンシャワー
• F-GA-324:触針式表面形状測定器
• F-GA-328:ダイシングマシン
• F-GA-329:電子測定器
• F-GA-330:マスクレス露光装置
• F-GA-332:デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
• F-GA-334:走査電子顕微鏡（EDS付き）
• F-GA-335:白色干渉式非接触三次元形状測定器
• F-GA-336:レーザー式非接触三次元形状測定器
• F-GA-338:デジタルマイクロスコープ
• F-GA-339:膜厚測定器

最新の成果事例

2016/10/31		液晶性半導体を用いたフレキシブルデバイスの作製と評価 （香川大学工学部材料創造工学科）
2016/10/31		パン粉の表面形状の研究 （株式会社サヌキフーズ，香川大学農学部）

2015/11/06

窒化シリコン薄膜を用いた超微細デバイス用基板の作製 （香川高等専門学校 電子システム工学科）

2014/10/29

バイオMEMS用低自家蛍光レジストの開発 （株式会社ダイセル）

2013/06/18		マイクロ構造を有したSPRバイオセンサチップの開発 （香川大学，東洋大学）
2013/10/17		環境振動発電を実現する静電櫛歯型マイクロ発電素子の開発 （アオイ電子株式会社）

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