最新鋭の装置群を備えたアンダーワンルーフ型微細加工プラットフォーム  （京都大学）

最新鋭微細加工装置群と8名の専門技術職員を擁する微細加工プラットフォームを駆使して，シンセシス知を創出・蓄積・活用・継承するためのアンダーワンルーフ型研究開発環境と人的交流環境を提供します．

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 075-753-5231
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事業の紹介

低炭素ナノデバイス創製ハブは，皆様の研究の加速を支援する施設として80余種類の装置を提供しています．
1．多種多様な基板・薄膜材料をウエハレベルで加工・評価することができるナノマイクロ試作ラインを提供
・ナノリソグラフィー装置…マスク作製からレジスト現像までの多彩な一連の装置
・ナノ材料加工・創製装置…各種ドライエッチング，薄膜作製などの装置
・ナノ材料分析・評価装置…SEM，AFM，蛍光顕微鏡，電気特性評価装置など
2．開かれた施設として運用
研究支援のための施設として，簡単な手続きで学内外の研究者に広くご利用いただけます．
3．装置ごとに利用時間に応じた料金を設定
1時間当たり，1日当りの料金が設定されています．
4．利用者自らが装置を操作し実験できます
専門の技術職員による支援を受けながら利用できます．
5．技術相談，技術代行サービスも提供
技術職員が加工，評価に関する技術相談を承ります．必要な場合には技術代行も承ります．
イエロールームクリーンルーム
  
加工・評価室利用者用居室（TV会議システム完備）


ニュース

2020/01/17【開催中止のお知らせ】NPF特別セミナー～量子コンピュータの実現に向けて～（3月19日）
2020/01/15【開催中止のお知らせ】（『共用施設から生まれるイノベーション』～ナノテクが拓く未来～ －文部科学省 2019年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム－（3月6日））
2019/12/11薄膜技術実践セミナーＶ（1月22日）開催のお知らせ
2019/10/24「試料最表面の形状・物性を探る」～ナノプローブ表面特性評価技術セミナー～（11月20日）開催のお知らせ
2019/10/08電子デバイスフォーラム京都：大学セッション（10月31日）開催のお知らせ
2019/08/28バイオ研究のためのナノ・マイクロ加工実践セミナー ～微細加工技術を利用したバイオ研究の新展開～（10月9日）開催のお知らせ
2019/06/06光・ナノ計測実践セミナーIV（7月29日）開催のお知らせ
2019/04/22グレイスケールリソグラフィーセミナー&ワークショップ（5月30日，31日）開催のお知らせ
2019/04/05「京大ナノハブでナノの世界を探ろう，操ろう」～ナノハブ所有のAFMと光ピンセットを使ったハンズオンと最新AFMのデモンストレーション～（6月4日，5日）開催のお知らせ
2019/01/18『共用施設から生まれるイノベーション』～ナノテクが拓く未来～ －文部科学省 平成30年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム－（3月8日）開催のお知らせ

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本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf窒化チタンプラズモニックアレイの作製
（京都大学工学研究科）
2016/10/31pdf植物の成長モニタリング用MEMSセンサの開発
（神戸大学工学研究科）
2016/10/31pdf創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイス
（京都大学工学研究科）
2015/11/06pdf非鉛圧電膜の加工技術
（株式会社サイオクス）
2014/10/29pdf接点変調によるチェッカーボード型メタ表面の転移現象
（京都大学大学院工学研究科 電子工学専攻）
2013/10/17pdf高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御
（京都大学 物質‐細胞統合システム拠点，オリンパス，Magill University）
2013/08/28pdfポリマー微小光素子の研究
（大阪市立大学）
2013/08/28pdf次世代グリーンセンサデバイスの開発
（オムロン株式会社）
2013/08/28pdfエレクトロポレーション技術を用いた細胞内物質導入の研究
（東京大学大学院）
2013/08/28pdf細胞操作用マイクロハンドならびに力センサの開発SOIウエハを用いたマイクロハンドのエンドエフェクタ製作
（大阪大学大学院）
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京都大学　ナノテクノロジーハブ拠点
〒606-8501　京都府京都市左京区吉田本町
工学研究科　物理系校舎　327号室
TEL 075-753-5231，FAX 075-753-5650
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