薄膜形成からナノ構造・ナノデバイス作製まで総合支援  （名古屋大学）

半導体，磁性体，誘電体，セラミックス系，有機系材料など広範囲の薄膜材料形成から，リソグラフィー技術，プラズマエッチング技術を利用したナノ材料，ナノ構造形成，ナノデバイス作製などに関してさまざまな支援を行います．

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事業の紹介

名古屋大学は，ナノテクノロジーに関連する広範な技術領域およびそれらに必要となる各種材料群（半導体材料，磁性体材料，誘電体材料，セラミックス系材料，有機系材料など）に対して，最先端の薄膜形成技術，リソグラフィー技術，プラズマエッチング技術を保有しており，ナノ材料形成，ナノ構造形成，ナノデバイス形成などさまざまな支援を行うことができます．具体的には，クリーンルーム等の施設におけるスパッタリングや分子線エピタキシーによる薄膜の形成，フォトリソグラフィや電子線リソグラフィによる微細加工，イオン注入や反応性エッチング装置によるナノプロセス，光電子分光，原子間力顕微鏡，薄膜X線回折による表面分析や構造解析など，多様な装置群の利用とノウハウの提供によって，新規ナノ材料，ナノプロセス，ナノデバイスの研究開発を幅広く支援します．
本事業では，下記の技術および支援を行います．
○ ナノスケール／マイクロスケール微細パターン形成技術
○ ナノ配線・ナノ電極形成技術
○ ナノドット・ナノ構造等の配列技術
○ プラズマを用いた各種材料のエッチングおよび表面処理技術
○ 各種電子・光デバイス構造作製技術
○ MEMS・NEMS構造作製技術
○ 各種材料（半導体材料，磁性材料，金属材料，有機材料，無機材料など）の薄膜形成技術
Si基板上に形成したひずみGe/SiGe微細柱状構造
の走査電子顕微鏡像		円形断面を有する3次元マイクロ流体ネットワーク
  
垂直成長ナノグラフェン
「カーボンナノウォール」の合成例		GMR素子を利用したマイクロ磁気センサ

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2020/9/3pdf窒化物半導体可視光センサの開発に関する研究
（名城大学）
2016/10/25pdfリッジ構造形成によるSi基板上InGaN光共振器の発光特性改善
（名古屋大学大学院工学研究科，名古屋大学未来材料・システム研究所）
2015/11/06pdfハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
（三重大学大学院工学研究科）
2013/10/17pdf超高速操作による細胞計測と自立誘導モニタリング
（名古屋大学工学研究科）
2013/07/02pdf両親媒性ブロック共重合体のリオトロピック相転移による垂直配向メソポーラスシリカ膜の形成
（名古屋大学大学院工学研究科，名古屋大学VBL）
2013/07/02pdf非接触ウェハ温度計測に関する研究
（名古屋大学）
2013/06/28pdf液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成
（NUエコ・エンジニアリング株式会社）
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