多様な材料のナノ構造解析に必要な最先端計測技術群を相補的に提供し，表面・表層からバルクに至る一貫した先端ナノ計測による研究支援を提供する．さらに，アカデミアとの連携を主とした世界トップの最先端研究をサポートするのみならず，産業界の研究者が有する技術的課題を解決するための最先端計測を提供する．ナノテク・材料分野から技術立国日本を下支えするために，産業界との人的交流と連携研究を積極的に推進する．  

2020/11/11	NIMS微細構造解析プラットフォーム 地域セミナー「微細構造解析遠隔支援の現状と課題」（1月8日）開催のお知らせ
2020/10/14	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業　NIMS微細構造解析プラットフォーム 2020年度設備利用講習会（10月29日）開催のお知らせ
2020/08/07	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム 物質・材料研究機構 微細構造解析プラットフォーム 2020年度設備利用講習会（8月31日）開催のお知らせ【走査型プローブ顕微鏡】
2020/08/03	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム 物質・材料研究機構 微細構造解析プラットフォーム 2020年度設備利用講習会（8月28日）オンライン開催のお知らせ【スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡】
2020/07/13	微細構造解析プラットフォームワークショップ2020（8月21日）オンライン開催のお知らせ
2020/07/06	2020A期 NIMS BL15XUナノプラットフォーム課題追加募集のご案内
2020/02/20	【開催延期のお知らせ】NIMS微細構造解析プラットフォーム 地域セミナー「XeプラズマFIBを用いた試料作製とFIB-SEMを軸とした他の分析法との融合」（4月6日）
2020/02/10	【8月21日に開催いたします】微細構造解析プラットフォームワークショップ2020
2020/01/27	文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業　NIMS微細構造解析プラットフォーム 2019年度設備利用講習会（2月5日）開催のお知らせ
2019/11/08	2020A期NIMS　BL15XUナノプラットフォーム課題募集のご案内

• A-NM-024:単原子分析電子顕微鏡
• A-NM-025:実動環境対応物理分析電子顕微鏡
• A-NM-026:原子識別電子顕微鏡
• A-NM-027:冷陰極電界放出形ローレンツ電子顕微鏡
• A-NM-028:冷陰極電界放出形電子顕微鏡
• A-NM-029:200kV電界放出形透過電子顕微鏡
• A-NM-030:微細組織三次元マルチスケール解析装置
• A-NM-031:FIB加工装置
• A-NM-032:FIB加工装置
• A-NM-033:FIB加工装置
• A-NM-036:無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
• A-NM-039:500MHz汎用NMRシステム
• A-NM-040:500MHz固体高分解能NMRシステム
• A-NM-043:極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡
• A-NM-044:走査型ヘリウムイオン顕微鏡
• A-NM-045:飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
• A-NM-048:低加速イオン研磨装置
• A-NM-049:小型精密切断器
• A-NM-050:卓上研磨機
• A-NM-051:標準形デジタルインジケータ
• A-NM-052:ディンプルグラインダ
• A-NM-053:ホットプレート
• A-NM-054:マルチコーター
• A-NM-055:集束イオンビーム加工装置
• A-NM-058:精密イオン研磨装置（PIPS）
• A-NM-059:精密イオン研磨装置（PIPS）
• A-NM-060:精密イオン研磨装置（PIPS）
• A-NM-061:ディンプルグラインダー
• A-NM-062:ディンプルグラインダー
• A-NM-063:楔形研磨装置
• A-NM-064:楔形平面研磨
• A-NM-065:平面研磨装置
• A-NM-066:精密コーティングシステム
• A-NM-067:オスミウムコーター
• A-NM-068:カーボンコーター
• A-NM-069:金コーター
• A-NM-070:白金コーター
• A-NM-071:自動精密切断機
• A-NM-072:自動精密切断機
• A-NM-073:超音波ディスクカッター
• A-NM-074:TEM試料作製補助装置群
• A-NM-075:HRTEM解析システム
• A-NM-076:電子線トモグラフィー解析システム
• A-NM-078:高輝度放射光高分解能粉末X線回折装置
• A-NM-080:精密イオン研磨装置(PIPS)
• A-NM-082:高輝度放射光硬X線光電子分光装置
• A-NM-083:高輝度放射光薄膜・ナノ構造用回折計
• A-NM-084:200kV電界放出形透過電子顕微鏡
• A-NM-085:200kV透過電子顕微鏡
• A-NM-087:FIB加工装置
• A-NM-092:300kV電界放出形透過電子顕微鏡
• A-NM-097:走査電子顕微鏡
• A-NM-098:実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡
• A-NM-099:環境制御型周波数変調方式走査型プローブ顕微鏡
• A-NM-104:低温走査型トンネル顕微鏡
• A-NM-108:スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡 (SPLEEM)
• A-NM-109:ピックアップシステム
• A-NM-110:精密イオン研磨装置(PIPS)
• A-NM-111:試料自動交換システム付放射光硬Ｘ線光電子分光装置

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