NIMS微細加工プラットフォームは,世界最高水準の微細加工プロセッシング装置,およびナノスケール観察・測定評価装置が完備された450m2のクリーンルームを主要施設に微細加工を担う共用施設として4年間運用されてきた.これまで,電子材料・電子素子,光学材料・光学素子,ナノ・マイクロ構造作製,環境・エネルギー,および医工連携・バイオ工学などの多様な分野の研究支援を実施してきた.NIMS微細加工プラットフォームは,半導体材料,酸化物材料,誘電体材料,磁性材料,金属材料,有機材料,生体材料,および複合材料等様々な材料のナノからマイクロスケール,更にはミリスケールにわたる3次元的な微細加工の支援や電子デバイスおよび光デバイスの作製支援を行う.更に,NIMS分子・物質合成プラットフォームとも連携することによって,自然科学から生命科学にわたる学際的融合研究や独法・大学・企業間の共同研究,技術代行,技術補助,技術相談および機器利用を積極的に進める.