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NIMS微細加工プラットフォームは，世界最高水準の微細加工プロセッシング装置，およびナノスケール観察・測定評価装置が完備された450m²のクリーンルームを主要施設に微細加工を担う共用施設として4年間運用されてきた．これまで，電子材料・電子素子，光学材料・光学素子，ナノ・マイクロ構造作製，環境・エネルギー，および医工連携・バイオ工学などの多様な分野の研究支援を実施してきた．NIMS微細加工プラットフォームは，半導体材料，酸化物材料，誘電体材料，磁性材料，金属材料，有機材料，生体材料，および複合材料等様々な材料のナノからマイクロスケール，更にはミリスケールにわたる3次元的な微細加工の支援や電子デバイスおよび光デバイスの作製支援を行う．更に，NIMS分子・物質合成プラットフォームとも連携することによって，自然科学から生命科学にわたる学際的融合研究や独法・大学・企業間の共同研究，技術代行，技術補助，技術相談および機器利用を積極的に進める．

• F-NM-068:125kV電子ビーム描画装置
• F-NM-069:100ｋV電子ビーム描画装置
• F-NM-071:高速マスクレス露光装置
• F-NM-073:マスクアライナー
• F-NM-074:全自動スパッタ装置
• F-NM-075:超高真空スパッタ装置
• F-NM-076:12連電子銃型蒸着装置
• F-NM-078:原子層堆積装置
• F-NM-079:プラズマCVD装置
• F-NM-080:多目的ドライエッチング装置
• F-NM-081:化合物ドライエッチング装置
• F-NM-082:シリコン深堀エッチング装置
• F-NM-083:酸化膜ドライエッチング装置
• F-NM-084:急速赤外線アニール炉
• F-NM-086:走査電子顕微鏡
• F-NM-087:原子間力顕微鏡
• F-NM-088:3次元測定レーザー顕微鏡
• F-NM-089:ダイシングソー
• F-NM-090:自動スクライバー
• F-NM-091:CMP研磨装置
• F-NM-092:室温プローバーシステム
• F-NM-094:ワイヤーボンダー
• F-NM-096:ウエハRTA装置
• F-NM-097:プラズマアッシャー
• F-NM-098:UVオゾンクリーナー
• F-NM-099:多元スパッタ装置 (i-miller)
• F-NM-100:高圧ジェットリフトオフ装置
• F-NM-101:自動エリプソメータ
• F-NM-102:触針式表面段差計
• F-NM-103:イオンスパッタ
• F-NM-104:薄膜応力測定装置
• F-NM-105:液体窒素プローバーシステム
• F-NM-106:ICP原子層エッチング装置

最新の成果事例

2016/10/31

二波長で機能する回折ビームスプリッタの研究 （東洋大学）

2015/11/06

シリコン単結晶吸収体を有する超伝導Ｘ線検出器の開発 （産業技術総合研究所，高エネルギー加速器研究機構）

2013/10/17		グラフェンを用いた超伝導量子干渉計(SQUID)の作製 （東京理科大学，物質・材料研究機構MANA）
2013/06/14		発光波長制御されたIn-flushed量子ドットによる広帯域発光 （和歌山大学，NEC，物質・材料研究機構）

2012/09/20		プレパターニング基板へのプラズマ処理によるダイヤモンドライクカーボン膜被覆パターニング表面の作製 （東邦大医療センター佐倉病院，慶應大学）
2012/09/20		積層型ホールアレイを用いたビーム走査デバイス （(株)豊田中央研究所，物質・材料研究機構，大阪大学，筑波大学）
2012/09/20		常伝導や超伝導金属と結合した量子リング素子作製 （東京理科大学，物質・材料研究機構）
2012/09/20		アモルファスSiを用いたナノ光デバイスの研究 （福井大学，物質・材料研究機構，東洋大学）

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