大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点 (大阪大学)
本拠点では各種量子ビームを用いたナノファブリケーション技術の開発や次世代の露光技術であるEUVリソグラフィ実現の鍵となるレジスト開発と評価,有機/無機/酸化物等の各種素材からなる極微デバイス作製・評価や特異的なナノ構造体の作製の支援を行います.
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