筑波大学微細加工プラットフォーム (筑波大学)
NIMSとAISTとの緊密な連携のもとで,ナノエレクトロニクス分野におけるデバイス・材料の設計から作成,評価までの総合的な技術支援を提供します.特に,デバイスシミュレータによる素子構造の設計,インクジェット型3次元パターン形成技術,FIBによる高精度超微細加工技術等を用いながら高度なデバイス作成技術を支援します.また,北関東地域の公的研究機関や民間企業への技術支援を積極的に行っています.
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国立大学法人 筑波大学数理物質エリア支援室 担当スタッフ
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