参画機関から

　微細加工プラットフォーム（代表機関：京都大学）では，「微細加工プロセス技術セミナー」（オンライン）を1回／月程度の頻度で開催しています．現在，第6回目の技術セミナーの参加募集中です．産学官，様々な研究開発分野より，多くの皆様の御参加をお待ちしております．

【主催】微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

　●セミナー名：第6回 微細加工プロセス技術セミナー
　●日　時：2021年2月17日（水）15:00～17:00
　●開催場所：Zoomによるオンラインセミナー
　●参加費：無料
　●参加申し込み：下記URLより事前登録してください．開催前日にZoomセミナーの招待メールをお送りします．
　　URL：http://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/seminar2020-1-6.html
　●申込期限：2021年2月15日（月）

【プログラム】
15:00～15:10
１．「ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介」　　微細加工PF　代表機関

15:10～15:35　【チュートリアル】
２．「CMOS回路作製の基礎技術」　　北九州産業学術推進機構　安藤　秀幸
　集積回路の作製や評価に必要な基本的な技術を，CMOS技術を例に，回路シミュレーション・プロセス技術・デバイス評価技術の一連の流れを分かりやすく解説します．

15:35～16:00　【プラットフォーム技術紹介】
３．「多様な材料・プロセス開発を叶えるドライエッチング技術」　　物質・材料研究機構　渡辺 英一郎
　物質・材料研究機構は，その名前の通り，様々な材料を使ったデバイスやプロセスの研究開発が行われているため，種々材料に対応可能な装置やプロセス技術を提供しています．本セミナーでは，2020年度から共用開始した原子層エッチング（ALE）装置を用いた微細加工技術について，加工例を交えて紹介します．

16:00～16:10　休憩

16:10～16:35　【プラットフォーム技術紹介】
４．「水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術」　　京都大学　土屋　智由
　シクロオレフィンポリマー（COP）樹脂は耐薬品性，低吸湿性，高光透過性を有し，自家蛍光性の低さからマイクロ流路デバイスのバイオ応用への展開が期待されています．本セミナーではこのCOP製流路を低温接合で作製する技術について紹介します．

16:35～17:00　【プラットフォーム技術紹介】
５．「超高真空スパッタ装置を用いたスピントロニクス素子用薄膜の作製」　　山口大学　浅田 裕法
　スピントロニクスがもたらした新たな知見としてスピンの流れであるスピン流があります．これに用いられる低ダンピング磁性薄膜・多層膜やスピンホール効果用電極薄膜の超高真空スパッタ装置による作製技術について紹介します．

【お問い合せ】微細加工プラットフォーム・コーディネーター
Tel：075-753-5656／E-mail：nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp
※(at)をアットマークに変更してからご使用ください．