微細加工技術は，半導体エレクトロニクスから生まれた技術ではありますが，現在ではMEMSや光デバイスさらにはバイオにまで活用されており，いわば先端の科学技術分野に必須の技術と言えます．それ故，基礎研究から産業応用まで誰もがアクセス可能な技術でなければなりません．
私共，文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工プラットフォーム（PF）は，インフラとしての研究開発を行う場を提供するとともに，高度な加工技術の提供も行っており，公開利用で年度あたり1300件を超える産官学の研究者・開発者に有効活用いただいております．
しかしながら，研究分野が異分野故に活用を逡巡されていたり，微細加工技術へのアクセス方法が不明であること等により，利用の機会を失っていた方々も多いかと存じます．本セミナーを通じて，微細加工技術の基礎及び概要を知っていただき，微細加工PFの共用施設を有効に活用いただくきっかけとしていただくことを狙いとします．研究・開発の加速，並びに課題解決の一助になることを願っております．
【日時】2020年8月～2021年2月
【場所】オンライン
【主催】微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
■開催予定「微細加工技術 実践セミナー」は，全6回の微細加工プロセス技術セミナーと，実習コース（事前に紹介セミナーを開催）から構成されます．セミナー（座学）は全てオンラインで開催します．
１．微細加工プロセス技術セミナー（オンライン）
以下の内容で1回／月程度の頻度で開催します．
・微細加工プロセスの基礎的なチュートリアルセミナー
・微細加工プラットフォーム各拠点の特徴的な技術を紹介するセミナー
※参加は無料です．
２．微細加工技術 実習コース（事前紹介セミナー & 実習）
2.1 実習事前紹介セミナー（オンライン）
事前紹介セミナーを受講することで、下記実習の申込みが出来ます．
日時：10月7日（水）
2.2 実習（全国各拠点にて実施）
（１）基礎的な微細加工プロセス実習（無料）
（２）アドバンス実習（有料）
日程：11月以降 各実習ごとに設定されます．
（尚，実習の開催は，状況により内容等が変更される場合がありますのでご了承ください）
１．微細加工プロセス技術セミナー（オンライン）
第2回 微細加工プロセス技術セミナー
【開催日時】2020年9月30日（水） 15:00～17:00
【開催場所】Zoomによるオンラインセミナー
【参加費】無料
【参加申込】下記URLより事前登録してください．開催前日にZoomセミナーの招待メールをお送りします．
URL：http://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/seminar2020-1-2.html 【申込期限】9/28（月）
【プログラム】 15:00～15:10
１．「ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介」 微細加工PF 代表機関
15:10～15:35
２．「マスクレス・フォトリソグラフィ」 物質・材料研究機構 渡辺 英一郎
近年，研究開発現場ではフォトマスクを使用しないパターン形成プロセスが普及しています．
本セミナーでは，DMD（Digital Micromirror Device）を利用した露光技術を中心に，
マスクレス・フォトリソグラフィの基礎に関して解説いたします．
15:35～16:00
３．「高周波誘導加熱CVD装置によるpoly-Siとepipoly-Siの成膜」 東北大学 渡邉 拓
高周波誘導加熱方式によるポリシリコンCVDのモノシランガスをソース材料とした成膜で，
成膜温度やドーピング条件により膜応力や抵抗率を変化させ，様々な形のデバイス構築条件に
対応する技術について紹介します．
16:00～16:10
休憩
16:10～16:35
４．「微細加工と異種材料接合技術を利用したバイオデバイスへの応用」 早稲田大学 田中 大器
フォトリソを中心とした微細加工技術と樹脂，Si，ガラスなどを組み合わせた異種材料接合技術を
駆使したバイオデバイスの作製に関する支援技術について紹介します．
また，2020年4月に竣工した早稲田大学新研究開発センターについても紹介します．
16:35～17:00
５．「微細加工（CMOS & MEMS）プロセスで新たな可能性を提供」 北九州産業学術推進機構 上野 孝裕
小片から4インチウェハに対応し，基礎研究から試作品作製まで利用可能な，CMOS ICプロセスで，
MEMSに増幅器や制御回路を付加することができる支援技術について紹介します．
（第3回以降のセミナーはプログラムが決まり次第，募集案内を掲載いたします）
２．微細加工技術 実習コース（事前紹介セミナー & 実習） 2.1 実習内容紹介セミナー（オンライン）
【開催日時】2020年10月7日（水）15:00～17:00頃
【場所】ZoomによるWEBセミナー
【内容】1テーマ10分（8分説明，2分質疑の想定）で実習コースの内容をご紹介頂きます．
【参加申込】下記URLより事前登録してください．開催前日にZoomセミナーの招待メールをお送りします．
【申込期限】10/5（月）
2.2 実習プログラム
実習コースの参加申し込みは、「実習内容紹介セミナー」終了後に募集開始予定です。
【お問い合せ】微細加工プラットフォーム・コーディネーター
Tel：075-753-5656／E-mail：nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp
※(at)をアットマークに変更してからご使用ください．
政府・公的機関から
参画機関から
