参画機関から

微細加工 微細加工プラットフォーム 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

「微細加工技術 実践セミナー」~オンライン技術セミナー & 実習コースで微細加工の基礎と共用施設・技術の活用を学ぶ~【第7回 微細加工プロセス技術セミナー(6/30)】開催のお知らせ

 微細加工プラットフォーム(代表機関:京都大学)では,今年度も「微細加工プロセス技術セミナー」(オンライン)を1回/月程度の頻度で開催いたします.現在,第7回目の技術セミナーの参加募集中です.産学官,様々な研究開発分野より,多くの皆様の御参加をお待ちしております.

【主催】微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

 ●セミナー名:第7回 微細加工プロセス技術セミナー
 ●日 時:2021年6月30日(水)15:30~16:40
 ●開催場所:Zoomによるオンラインセミナー
 ●参加費:無料
 ●参加申込:下記URLより事前登録してください.開催前日にZoomセミナーの招待メールをお送りします.
  URL:https://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/seminar2021-1-7.html
 ●申込期限:2021年6月28日(月)

【プログラム】
15:30~15:35
1.「ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介」  微細加工PF 代表機関

15:35~16:00 【チュートリアル】
2.「物理気相成長(PVD)による成膜技術」 名古屋大学 加藤 剛志
 薄膜作製に主に用いられる気相成長法は,化学反応の有無により化学気相成長(CVD)と物理気相成長(PVD)に大別され,目的とする材料,機能性,膜厚制御性などにより適した手法が選択されます。本セミナーでは金属,半導体,酸化物など様々な薄膜形成が可能な物理気相成長について,その原理と特徴を解説します.

16:00~16:20 【PF技術紹介】
3.「集積化センサ/アクチュエータを形成可能なSOI-MEMS技術」 香川大学 高尾 英邦
 SOI(Silicon on Insulator)ウェハを用いるMEMS技術は,単結晶のシリコン厚膜により優れた特性を持つ各種センサ・アクチュエータを実現できる基盤技術です。本講演では,本学固有の加工・組立技術を用いて形成した特徴ある触覚センサデバイス,MEMS分光器などの開発例を紹介します.

16:20~16:40 【PF技術紹介】
4.「高分子マテリアルの微細加工技術」 京都大学 岸村 眞治
 マイクロ流体デバイス,マイクロレンズなどの3次元構造体やフレキシブルデバイスの作製には,厚膜レジストやプラスチックへの微細加工技術が必要です.本セミナーではこれら高分子材料へのデバイス作製技術について紹介します.


【お問い合せ】微細加工プラットフォーム・コーディネーター
Tel:075-753-5656/E-mail:nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp
※(at)をアットマークに変更してからご使用ください.

添付ファイル

Seminar2021.pdf