参画機関から

微細加工 微細加工プラットフォーム 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

「微細加工技術 実践セミナー」~オンライン技術セミナー & 実習コースで微細加工の基礎と共用施設・技術の活用を学ぶ~【第9回 微細加工プロセス技術セミナー(10/29)】開催のお知らせ

 微細加工プラットフォーム(代表機関:京都大学)では,今年度も「微細加工プロセス技術セミナー」(オンライン)を1回/月程度の頻度で開催いたします.現在,第9回目の技術セミナーの参加募集中です.産学官,様々な研究開発分野より,多くの皆様の御参加をお待ちしております.

【主催】微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

 ●セミナー名:第9回 微細加工プロセス技術セミナー
 ●日 時:2021年10月29日(水)15:00~16:40
 ●開催場所:Zoomによるオンラインセミナー
 ●参加費:無料
 ●参加申込:下記URLより事前登録してください.開催前日にZoomセミナーの招待メールをお送りします.
  URL:https://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/seminar2021-1-9.html
 ●申込期限:2021年10月27日(水)

【プログラム】
15:00~15:05
1.「ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介」  微細加工PF 代表機関

15:05~15:30 【チュートリアル】
2.「「連続発振レーザ結晶化とその応用」 広島大学 黒木 伸一郎
 レーザアニール技術は局所的(100μm以下)に短時間(ミリ秒以下)で高温加熱(1000℃以上)が可能であり,基板上の局所加熱や薄膜での結晶成長に有用です.Si薄膜と強誘電体膜を例に結晶成長の例を示し,また結晶面方位制御による電子電界移動度1000cm2/Vsを超える高移動度Si薄膜トランジスタについても解説します.

15:30~15:50 【PF技術紹介】
3.「フェムト秒レーザによる高アスペクト比加工」 名古屋大学 加藤 剛志
 フェムト秒レーザはパルス幅100fs程度のパルスレーザであり,熱影響のない高精細加工や多光子吸収プロセスを利用した微細加工ができるという特徴があります.本講演では,名古屋大学のフェムト秒レーザ加工装置を利用した高アスペクト加工や3次元微細加工の加工例を紹介します.

15:50~16:00 【休憩

16:00~16:20 【PF技術紹介】
4.「デバイスからの放出ガス分析」 山口大学 栗巣 普揮
 デバイスの不具合発生要因などを調べるために,稼働状態のデバイスから放出されるガスを分析することを可能としたダイナミック昇温脱離ガス分析装置について,事例を含め紹介します.

16:20~16:40 【PF技術紹介】
5.「電子線描画装置を利用した金属ナノ構造作製技術」 北海道大学 松尾 保孝
 電子線描画装置を用いたフォトニック・プラズモニックデバイス作製のための基礎技術の説明と,新しい技術導入によるデバイス作製の効率化・高機能化技術について紹介します.

【お問い合せ】微細加工プラットフォーム・コーディネーター
Tel:075-753-5656/E-mail:nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp
※(at)をアットマークに変更してからご使用ください.

添付ファイル

フライヤー.pdf