参画機関から

微細構造解析 産業技術総合研究所 産業技術総合研究所 量子ビーム計測クラブ,先端ナノ計測施設

第4回量子ビーム計測クラブ研究会 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 産総研-微細構造解析プラットフォーム 令和3年度第1回設備利用講習会(12月22日)開催のお知らせ

 概要:産総研・量子ビーム計測クラブ,微細構造解析プラットフォームは,筑波大学・TREMS,UTTAC との共催で,テーマを「次世代半導体開発における陽電子等量子ビームの計測と応用」としまして,陽電子等量子プローブ計測等を用いる研究事例や周辺技術の開発動向を知ることを目的とした研究会を開催いたします.
 皆様の奮ってのご参加をお待ちしております.

【主催】
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター 量子ビーム計測クラブ
国立研究開発法人産業技術総合研究所 先端ナノ計測施設(ANCF)

【共催】
筑波大学・エネルギー物質科学研究センター(TREMS)
筑波大学・応用加速器部門(UTTAC)

【日時】令和3年12月22日(水)13時30分~17時00分

【開催方法】Teamsを用いてオンライン形式で開催します.
【参加費】無料(※登録締切:12/17(金))
【参加申込】産総研 量子ビーム計測クラブ事務局 E-mail: qbeam-club-ml(at)aist.go.jpにメールでお申し込みください.
量子ビーム計測クラブ会員の方は,参加登録は必要ありません.会員の方には,会議室(リンク先)を案内いたしますので開催日時にアクセスしてください.非会員の方は,12月17日までに計測クラブ事務局より会員登録をお願いします.筑波大学関係者の皆様には,別途登録用WEBアドレスの案内が筑波大側より参ります.

 最新情報:量子ビーム計測クラブのHPをご確認ください.
 https://unit.aist.go.jp/nmij/nmijclub/Q-beam/meetings.html


【プログラム】

(前半)(座長:大島 永康)
・13:30~ 挨拶・量子ビーム計測クラブ紹介(10分)
      産総研・分析計測標準研究部門 大島 永康 量子ビーム計測クラブ長
・13:40~ 招待講演1:(30分 + 10分)
     (仮)半導体開発における最近の話題
      東京エレクトロン株式会社 先端データ企画部 野武 晃 研究員
・14:20~ 講演1(25分 + 5分)
      陽電子消滅による配線材料の空孔検出
      筑波大学・数理物質系 上殿 明良 教授
・14:50~ 講演2(25分 + 5分)
      産総研・陽電子プローブ計測技術の紹介
      -微細構造解析プラットフォーム 設備利用講習-
      産総研・分析計測標準研究部門 満汐 孝治 主任研究員

 15:20~ 休憩(10分)

(後半)(座長:上殿 明良)
・15:30~ 招待講演2:特集:マテリアル・インフォマティクスと計測(60分)
     (前半)「データ駆動型材料開発の現状とビーム技術への期待」
     (後半)「材料開発研究における機械学習の応用」
      物質・材料研究機構 統合型材料開発・情報基盤部門
      知京 豊裕 グループリーダー,小山 幸典 主幹研究員
・16:30~ 講演3(25分 + 5分)
     「半導体後工程における量子ビームによる埋もれた層の解析」
      産総研・デバイス技術研究部門 藤野 真久 主任研究員
・17:00~ 閉会挨拶・終了


【問い合わせ先】
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター 量子ビーム計測クラブ事務局
E-mail: qbeam-club-ml(at)aist.go.jp