利用報告書 / User's Reports

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【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.05.06】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24OS0014

利用課題名 / Title

電子デバイスにおけるナノ粒子/薄膜層のモルフォロジーとデバイス特性に関する研究/開発

利用した実施機関 / Support Institute

大阪大学 / Osaka Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)計測・分析/Advanced Characterization(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

電子顕微鏡/ Electronic microscope,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,集束イオンビーム/ Focused ion beam


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

田中 壮太郎

所属名 / Affiliation

シャープ㈱

共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes

高木 空

利用形態 / Support Type

(主 / Main)技術補助/Technical Assistance(副 / Sub),機器利用/Equipment Utilization


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

OS-003:200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ディスプレイデバイスの薄膜有機層の積層元素分布を調査し、デバイス特性向上に繋がる有益な情報を得た。

実験 / Experimental

当社のFIB装置にて薄片加工した断面試料を貴学のJEM-ARM200F(200kV-STEM-EDS装置)にて分析した。

結果と考察 / Results and Discussion

JEM-ARM200Fを用いて200kV-STEM-EDS元素マッピング分析を行い、積層方向にライン抽出した結果を図1に示す。ディスプレイデバイス中の薄膜有機層の積層を区別して確認できた。今回のデータはデバイス特性の向上に有益に寄与するものである。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations


図1 薄膜有機層のEDS元素ライン抽出プロファイル


その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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