【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.05.06】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24OS0014
利用課題名 / Title
電子デバイスにおけるナノ粒子/薄膜層のモルフォロジーとデバイス特性に関する研究/開発
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)計測・分析/Advanced Characterization(副 / Sub)-
【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)
田中 壮太郎
所属名 / Affiliation
シャープ㈱
共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes
高木 空
利用形態 / Support Type
(主 / Main)技術補助/Technical Assistance(副 / Sub),機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ディスプレイデバイスの薄膜有機層の積層元素分布を調査し、デバイス特性向上に繋がる有益な情報を得た。
実験 / Experimental
当社のFIB装置にて薄片加工した断面試料を貴学のJEM-ARM200F(200kV-STEM-EDS装置)にて分析した。
結果と考察 / Results and Discussion
JEM-ARM200Fを用いて200kV-STEM-EDS元素マッピング分析を行い、積層方向にライン抽出した結果を図1に示す。ディスプレイデバイス中の薄膜有機層の積層を区別して確認できた。今回のデータはデバイス特性の向上に有益に寄与するものである。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 薄膜有機層のEDS元素ライン抽出プロファイル
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件