【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24OS1003
利用課題名 / Title
ナノ粒子分散高強度ガラスの評価
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials
キーワード / Keywords
異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology,ナノ粒子/ Nanoparticles,メソポーラス材料/ Mesoporous material
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
篠崎 健二
所属名 / Affiliation
工学研究科ビジネスエンジニアリング専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
OS-113：多元DC/RFスパッタ装置
OS-114：RFスパッタ成膜装置（金属成膜用）
OS-127：レーザーラマン顕微鏡
OS-102：SEM付集束イオンビーム装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ガラスは微細な欠陥に対して敏感なためミクロな欠陥がマクロに多大な影響を与えることが知られており、ミクロな機械的特性を調査するためにマイクロピラーが注目されている。そのため本実験では、ガラス中に金属ナノ粒子を分散させて強化されたサンプルに対してマイクロピラーの作製条件を検討した。
実験 / Experimental
サンプルがガラスで導電性がないため、FIB加工の際にチャージアップが発生し、像のドリフトが起こる可能性がある。チャージアップを防ぐためにガラス表面に150 nm程度のCrを成膜した。その後FIBにて円の内径と外径を設定し、円環上に加工を施すことで中心部にピラー（円柱）状の微小構造物の作製を試みた。
結果と考察 / Results and Discussion
加工条件（ビーム電流の強度や加工時間）を検討したが、Fig. 1 (left)に示すようにつぶれた形のマイクロピラーしかえることができなかった。うまく加工できた場合はFig. 1 (right)のようなマイクロピラーが得られる。本年検討した条件の範囲では精確なピラーの加工には至らなかった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 (left) Micro-pillar sample processed in this application where conditions did not work and (right) micro-pillar sample when processed properly using other faculity.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件