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設備ID設備名
更新日時機関名プラットフォーム
F-NM-110顕微式自動膜厚測定システム
2021/04/22 10:29:47物質・材料研究機構微細加工
F-NM-109赤外線ランプ加熱装置
2021/04/22 10:29:22物質・材料研究機構微細加工
F-NM-108多機能型原子層堆積装置
2021/04/22 10:29:05物質・材料研究機構微細加工
F-NM-107６連自動蒸着装置
2021/04/22 10:28:46物質・材料研究機構微細加工
F-AT-089多目的エッチング装置（ICP-RIE）
2021/04/09 17:11:14産業技術総合研究所微細加工
F-AT-131化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)
2021/04/09 17:10:13産業技術総合研究所微細加工
F-IT-164クライオ共焦点顕微鏡
2021/04/02 17:42:20東京工業大学微細加工
F-IT-163マイクロ波プラズマCVD装置
2021/04/02 17:39:49東京工業大学微細加工
F-IT-162リアクティブイオンエッチング装置
2021/04/02 17:32:11東京工業大学微細加工
S-MS-111熱分析（示差走査型カロリメーター/溶液）
2021/04/01 11:17:30分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-122熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液）
2021/04/01 11:17:10分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-117高磁場NMR(600MHz溶液)
2021/04/01 11:16:43分子科学研究所分子・物質合成
A-NM-112精密イオン研磨装置（PIPS）
2021/03/30 13:44:59物質・材料研究機構微細構造解析
S-MS-134X線光電子分光
2021/03/29 10:20:43分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-133絶対PL量子収率測定装置
2021/03/29 10:19:12分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-132走査プローブ顕微鏡
2021/03/29 10:18:21分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-115円二色性分散
2021/03/26 15:36:13分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-112MALDI-TOF質量分析
2021/03/26 15:23:57分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-095機能性材料バンド構造顕微分析システム
2021/03/26 15:18:56分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-088有機FET
2021/03/26 13:41:41分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-1003次元光学プロファイラーシステム
2021/03/26 13:36:02分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-093マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き
2021/03/26 13:35:03分子科学研究所分子・物質合成
S-NM-067卓上SEM TM-4000
2021/03/25 13:37:05物質・材料研究機構分子・物質合成
A-NM-075HRTEM解析システム
2021/03/23 10:04:54物質・材料研究機構微細構造解析
F-OS-322高速大面積電子ビームリソグラフィー装置
2021/02/19 12:18:10大阪大学微細加工
F-AT-145ECRスパッタ成膜・ミリング装置
2020/12/01 13:15:11産業技術総合研究所微細加工
F-AT-144原子層堆積装置〔AD-100LP〕
2020/12/01 12:23:06産業技術総合研究所微細加工
S-OS-144走査型電子顕微鏡
2020/11/19 21:21:15大阪大学分子・物質合成
S-OS-136RFスパッタ装置
2020/11/19 21:17:57大阪大学分子・物質合成
F-IT-161共焦点ラマン顕微鏡
2020/10/29 14:11:53東京工業大学微細加工
S-MS-083FT遠赤外分光
2020/10/27 15:58:12分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-082顕微ラマン分光
2020/10/27 15:56:45分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-123熱分析（固体、粉末）
2020/10/27 15:55:06分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-107SQUID型磁化測定（MPMS-XL7）
2020/10/27 15:51:37分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-106SQUID型磁化測定(MPMS-7）
2020/10/27 15:50:27分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-105電子スピン共鳴（Bruker E500）
2020/10/27 15:49:01分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-104電子スピン共鳴（Bruker EMX Plus）
2020/10/27 15:47:47分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-103電子スピン共鳴（Bruker E680 ）
2020/10/27 15:46:10分子科学研究所分子・物質合成
F-RO-378ICP - CVD装置
2020/10/09 14:23:31広島大学微細加工
F-RO-379CCP - CVD装置
2020/10/09 14:23:14広島大学微細加工
F-RO-380リモートPECVD装置
2020/10/09 14:23:02広島大学微細加工
F-RO-381EBSD解析装置
2020/10/09 14:22:40広島大学微細加工
F-RO-382連続発振レーザアニール装置 （レーザ結晶化装置）
2020/10/09 14:22:19広島大学微細加工
F-RO-385ウェル拡散炉
2020/10/09 14:20:19広島大学微細加工
F-RO-350インプラ後アニール炉
2020/10/09 14:13:12広島大学微細加工
F-RO-383Rapid Thermal Anneal装置(RTA)
2020/10/06 13:46:32広島大学微細加工
S-MS-119ピコ秒レーザー
2020/10/05 14:30:43分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-116紫外・可視・近赤外分光光度計
2020/10/05 14:29:16分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-121単結晶X線回折（微小結晶）
2020/10/05 13:41:40分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-130電界放出形透過電子顕微鏡
2020/10/05 13:36:57分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-094低真空分析走査電子顕微鏡
2020/10/05 13:26:38分子科学研究所分子・物質合成
S-CT-035示差走査熱量計(DSC)
2020/10/05 13:16:28千歳科学技術大学分子・物質合成
S-MS-099金属錯体
2020/10/05 12:56:54分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-087太陽電池
2020/10/05 12:02:53分子科学研究所分子・物質合成
S-MS-118装置開発
2020/10/05 11:36:12分子科学研究所分子・物質合成
F-RO-384ホール効果測定装置
2020/09/25 10:11:25広島大学微細加工
S-CT-001NMR（核磁気共鳴装置）
2020/09/24 15:38:37千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-028触針式表面形状測定器
2020/09/24 15:35:37千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-002透過型電子顕微鏡（TEM）
2020/09/24 13:02:48千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-004紫外可視近赤外分光計
2020/09/24 13:02:24千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-005走査型近接場光学顕微分光システム（SNOM）
2020/09/24 13:02:04千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-006薄膜形成支援装置群
2020/09/24 13:01:44千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-007高分子計測装置群
2020/09/24 12:58:16千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-008FZ炉（赤外線加熱単結晶製造装置）
2020/09/24 12:57:27千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-009機能性分子・高分子合成
2020/09/24 12:56:51千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-0103D測定レーザ顕微鏡
2020/09/24 12:53:21千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-011顕微ラマン分光
2020/09/24 12:52:21千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-012走査型プローブ顕微鏡
2020/09/24 12:51:16千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-013クロマトグラフィー装置群
2020/09/24 12:50:38千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-014FTIR
2020/09/24 12:49:51千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-015分光蛍光光度計
2020/09/24 12:49:29千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-020顕微赤外測定システム
2020/09/24 12:48:21千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-021X線回折装置
2020/09/24 12:48:03千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-022表面分析装置（大気下光電子分光装置）
2020/09/24 12:47:35千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-024X線小角散乱装置
2020/09/24 12:47:02千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-026電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
2020/09/24 12:17:33千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-029ラマンイメージング
2020/09/24 12:16:18千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-030スピンコーター
2020/09/24 12:15:18千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-034熱重量測定装置(TGA)
2020/09/24 12:14:36千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-033表面物性測定装置群
2020/09/24 12:13:47千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-037ジェットミル
2020/09/24 12:12:01千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-038あわとり練太郎
2020/09/24 12:09:57千歳科学技術大学分子・物質合成
S-CT-039クロスセクションポリシャ
2020/09/24 12:09:39千歳科学技術大学分子・物質合成
F-RO-375ダイサー
2020/09/23 11:56:31広島大学微細加工
F-RO-370X線光電子分光装置(XPS)
2020/09/20 14:59:50広島大学微細加工
F-RO-354蛍光X線分析装置
2020/09/20 14:57:37広島大学微細加工
F-RO-353薄膜構造評価X線回析装置
2020/09/20 14:54:44広島大学微細加工
F-RO-332ラザフォード後方散乱 （RBS）測定装置
2020/09/20 14:52:59広島大学微細加工
F-RO-369表面段差計
2020/09/20 14:51:44広島大学微細加工
F-RO-368分光エリプソメーター
2020/09/20 14:50:28広島大学微細加工
F-RO-367干渉式膜厚計
2020/09/20 14:49:18広島大学微細加工
F-RO-352原子間力顕微鏡(AFM)
2020/09/20 14:47:53広島大学微細加工
F-RO-376真空蒸着装置
2020/09/20 14:45:11広島大学微細加工
F-RO-337常圧SiO2CVD装置
2020/09/20 14:43:17広島大学微細加工
F-RO-372プラズマCVD(PECVD)装置
2020/09/20 14:34:23広島大学微細加工
F-RO-336LPCVD装置（SiO2用）
2020/09/20 14:33:06広島大学微細加工
F-RO-335LPCVD装置（SiN用）
2020/09/20 14:32:03広島大学微細加工
F-RO-334LPCVD装置（poly-Si用）
2020/09/20 14:31:06広島大学微細加工
F-RO-348スパッタ装置(汎用)
2020/09/20 14:30:03広島大学微細加工
F-RO-349スパッタ装置(Cu用)
2020/09/20 14:28:57広島大学微細加工

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