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大分類:透過電子顕微鏡
研究機関:大阪大学
研究分野:微細構造解析

透過電子顕微鏡

英語名:Transmission Electron Microscope, TEM.観察対象に電子線をあてて透過した電子線を電子レンズ系で拡大・結像させて物質の構造を分子・原子レベルで直接観察,あるいは微小領域の組成分析を行う顕微鏡.試料は薄片化が必要.空間分解能は電子の加速電圧が200 kVのとき,0.2 nm程度である.分析には電子線によって試料から発生する二次電子や特性X線などを利用する.

該当する中分類件数:4件

超高圧透過電子顕微鏡

英語名:Ultra-high Voltage Transmission Electron Microscope.加速電圧が1000kV以上の透過電子顕微鏡.電子線の透過能の向上によって従来の透過型電子顕微鏡と比べて10倍程度の厚さ(約5μm)の切片を観察することができる.

電界放出型透過電子顕微鏡

英語名:Field-Emission Transmission Electron Microscope, FE TEM.熱陰極電子銃に代わり,超高真空環境で尖鋭な陰極先端に高電界を印加して電子放出させる電界放射電子銃を用いた透過電子顕微鏡.電子線の直径が小さいため解像度が高い.

収差補正透過電子顕微鏡

英語名:Spherical Aberration Corrected Transmission Electron Microscope, Cs-TEM.球面収差補正機構が照射系や結像系に組み込まれることによって,空間分解能を向上させ,単原子レベルでの位置特定や元素識別を可能とした透過電子顕微鏡.

汎用透過電子顕微鏡

英語名:Transmission Electron Microscope, TEM.試料に電子線を照射し,透過してきた電子を電子レンズ系により拡大して観察する電子顕微鏡で汎用的に用いられるもの.多くの特別な機能を付加しない一般的なTEMをここに分類している.