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大分類:透過電子顕微鏡
研究機関:分子科学研究所
研究分野:分子・物質合成

透過電子顕微鏡

英語名:Transmission Electron Microscope, TEM.観察対象に電子線をあてて透過した電子線を電子レンズ系で拡大・結像させて物質の構造を分子・原子レベルで直接観察,あるいは微小領域の組成分析を行う顕微鏡.試料は薄片化が必要.空間分解能は電子の加速電圧が200 kVのとき,0.2 nm程度である.分析には電子線によって試料から発生する二次電子や特性X線などを利用する.

該当する中分類件数:1件

電界放出型透過電子顕微鏡

英語名:Field-Emission Transmission Electron Microscope, FE TEM.熱陰極電子銃に代わり,超高真空環境で尖鋭な陰極先端に高電界を印加して電子放出させる電界放射電子銃を用いた透過電子顕微鏡.電子線の直径が小さいため解像度が高い.