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大分類:走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡

英語名:Scanning Electron Microscope, SEM.電子線を加速・集束して得た電子プローブを試料表面に照射・走査し,対象物から放出される二次電子,反射電子,透過電子,X線,蛍光,内部起電力等を検出,その映像を拡大表示して対象を観察する顕微鏡.通常は二次電子像が利用される.像の分解能は電子線の直径で決まり,直径は熱陰極電子銃で2~10 nm,電界放射電子銃で0.5~2 nm.

該当する中分類件数:2件

電界放出型走査電子顕微鏡

英語名:Field-Emission Scanning Electron Microscope, FESEM.超高真空環境で尖鋭な陰極先端に高電界を印加して電子放出させる電子銃を用いた走査電子顕微鏡で,電子線の直径が小さいため高い空間分解能が得られる.

電子線マイクロアナライザ

英語名:Electron Probe Micro-Analyzer, EPMA.X線マイクロアナライザ(X-ray Micro-Analyzer, XMA)ともいう.直径1μm以下に絞った電子線を走査して対象物に照射し,発生した特性X線の波長と強度から表面の構成元素を分析する電子マイクロプロ-ブ(EMP)装置.2次元可視化も可能.