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大分類:試料作製装置
研究機関:産業技術総合研究所
研究分野:微細加工

試料作製装置

英語名:Equipment for Sample Preparation.電子顕微鏡観察用試料など測定・観察試料の作製・加工に用いる装置.切削,切断,研磨等の加工を全面,領域限定,微細寸法等,作製・加工方法を目的に応じて選択する.

該当する中分類件数:1件

集束イオンビーム(FIB)

英語名:Focused Ion Beam, FIB.加工の基本的な原理はイオンミリングと同一である.イオンビームを集束レンズによって数nmから数100nm径に集束させるのでナノメートル領域の加工ができる.加速電圧,電流密度の高いほど加工速度は速くなるが加工表面近傍の損傷は大きくなる.通常Gaイオンが用いられる.