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大分類:表面分析装置
研究機関:千歳科学技術大学
研究分野:分子・物質合成

表面分析装置

英語名:Equipment for Surface Analysis.物質表面の原子を電子線やX線で励起した際に放出される光電子やイオンを検出し分析することにより,物質表面の電子状態及び電子状態等を分析する装置.励起に用いる電子線等の試料内への侵入深さが小さいため,表面のみの情報を得ることができる.

該当する中分類件数:2件

エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)

英語名:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDSもしくはEDX.物質に電子線やX線等を照射して発生する特性X線もしくは蛍光X線をエネルギー分散型検出器にて検出・分析して,物質を構成する元素と濃度を調べる方法で,電子顕微鏡の付加機能としても提供される.短時間にホウ素からウランまでの元素の検出が可能.

X線回折(XRD)

英語名:X-ray Diffraction, XRD.X線を物質に照射し,物質中の原子・分子の配列に応じて生じる回折パターンを分析して,原子・分子の配列パターンを求める方法.格子定数や結晶構造の対称性などを決定できる.X線は物質の表面数百nm程度しか侵入しないため,マクロな物質の表面に限定した構造解析が可能.