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大分類:表面分析装置
研究機関:分子科学研究所
研究分野:分子・物質合成

表面分析装置

英語名:Equipment for Surface Analysis.物質表面の原子を電子線やX線で励起した際に放出される光電子やイオンを検出し分析することにより,物質表面の電子状態及び電子状態等を分析する装置.励起に用いる電子線等の試料内への侵入深さが小さいため,表面のみの情報を得ることができる.

該当する中分類件数:1件

X線光電子分光(XPS)

英語名:X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS),もしくはElectron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA).物質にX線を照射して物質構成原子の電子を励起し,外部に放出された光電子の持つエネルギーから原子の結合エネルギーを求め,物質中の元素を特定する.酸化による結合エネルギーの変化を利用して酸化状態の特定も可能.