文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

中分類検索結果

大分類:表面分析装置
地域:九州・沖縄

表面分析装置

英語名:Equipment for Surface Analysis.物質表面の原子を電子線やX線で励起した際に放出される光電子やイオンを検出し分析することにより,物質表面の電子状態及び電子状態等を分析する装置.励起に用いる電子線等の試料内への侵入深さが小さいため,表面のみの情報を得ることができる.

該当する中分類件数:2件

X線光電子分光(XPS)

英語名:X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS),もしくはElectron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA).物質にX線を照射して物質構成原子の電子を励起し,外部に放出された光電子の持つエネルギーから原子の結合エネルギーを求め,物質中の元素を特定する.酸化による結合エネルギーの変化を利用して酸化状態の特定も可能.

二次イオン質量分析(SIMS)

英語名:Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS).固体試料の表面にビーム状のイオン(一次イオン)を照射し,そのイオンと試料表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(二次イオン)を質量分析計で検出することにより元素分析を行う表面計測法.イオンミリングと組み合わせることにより深さ方向分析も可能.