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大分類:シミュレーション CAD
研究機関:東京工業大学
研究分野:微細加工

シミュレーション CAD

CAD(Computer Aided Design)は,ハードウエアで起こる事柄をソフトウエアでシミュレートし,電子計算機の力を使って設計の最適化や,ハードウエアで経験できないところをソフトウエアで代替したりするものである.デバイスシミュレーションやプロセスシミュレーションがあり,これを結びつけたTCAD(technology CAD)と称するソフトウエア プログラムもある.

該当する中分類件数:1件

プロセスシミュレータ

プロセスシミュレータは化学プロセスの挙動を計算機を使ってシミュレートするソフトウエアプログラムである.半導体では,イオン注入,拡散,酸化,エッチング/デポジション,リソグラフィ,ストレス形成等のプロセスをシミュレートする.