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中分類検索結果

大分類:形状・形態観察、分析
研究機関:東北大学
研究分野:微細構造解析

形状・形態観察、分析

材料やデバイス研究開発の過程では,形状・形態観察,物理分析が必要となる.形状・形態観察に関しては光・電子の各種顕微鏡類,プローブ顕微鏡,膜厚測定などの各種装置が揃っている.分析についても,分光分析で各種波長の電磁波,イオン,プラズマを活用するシステムが存在する.これらの機器・装置の多くは微細構造解析プラットフォームの機器・装置と共通である.

該当する中分類件数:1件

走査電子顕微鏡(SEM)

SEM(Scanning Electron Microscope)は,電子線を加速・集束して得た電子プローブを試料表面に照射・走査し,対象物から放出される二次電子,反射電子,透過電子,X線,蛍光,内部起電力等を検出,その映像を拡大表示して対象を観察する顕微鏡.通常は二次電子像が利用される.像の分解能は電子線の直径で決まり,直径は熱陰極電子銃で2~10 nm,電界放射電子銃で0.5~2 nm.