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大分類:表面分析装置

表面分析装置

英語名:Equipment for Surface Analysis.試料表面の物性を測定する装置.ここでは,操作型電子顕微鏡,電子分光(XPS, UPS, AES),イオン散乱分光装置を指す.これ等装置によって,物質表面の原子を電子線やX線で励起した際に放出される光電子やイオンを検出し分析することにより,物質表面の電子状態及び原子状態等を分析する.励起に用いる電子線等の試料内への侵入深さが小さいため,表面のみの情報を得ることができる.

該当する中分類件数:1件

走査型電子顕微鏡

英語名:Scanning Electron Microscope, SEM.電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し,対象物から放出される二次電子,反射電子,透過電子,X線,カソードルミネッセンス(蛍光),内部起電力等を検出する事で対象を観察する.通常は二次電子像が利用される.観察試料は高真空中(10-3Pa以上)に置かれ,この表面を電界や磁界で絞った電子線(焦点直径1~100nm程度)で走査する.走査は直線的だが,走査軸を順次ずらしていく事で試料表面全体の情報を得る.