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機関名：豊田工業大学

	豊田工業大学研究支援部　研究協力グループ シリコン系のプロセスラインを軸に，III-V族，カーボン，磁気材料も含めたマイクロ・ナノ加工に対応可能．太陽電池，ナノ構造素子，MEMSに関する研究者を備え，技術指導や委託加工に対応できる．実習・講習会，企業向け支援に実績がある．