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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-111
分類 放射光計測装置 > X線光電子分光法(XPS)
設備名 試料自動交換システム付放射光硬X線光電子分光装置
(Hard X-ray Photoelectron Spectrometer with Automatic Sample Changer)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

固体薄膜試料の電子状態を調べるための光電子分光スペクトルをSPring-8の高輝度放射光X線を用いて測定することができます。高分解能X線分光器と高分解能半球型電子分光器の使用により、高いエネルギー分解能測定(240 meV以下)が可能です。バルクや表面および埋もれた界面の化学結合状態、電子状態の解析が可能です。光電子の脱出角度依存性から深さ方向に関する電子状態も測定可能です。6〜10 keVのX線を利用できます。試料への電圧印加が可能でオペランド測定に対応できます。室温での測定にのみ対応できます。

A-NM-111

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